JPH01133738U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01133738U JPH01133738U JP2965288U JP2965288U JPH01133738U JP H01133738 U JPH01133738 U JP H01133738U JP 2965288 U JP2965288 U JP 2965288U JP 2965288 U JP2965288 U JP 2965288U JP H01133738 U JPH01133738 U JP H01133738U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- centering cup
- wafers
- rotation device
- pins
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第１図は実施例に係るウエハ回転装置を示すも
のであり、Ａはその縦断面図、Ｂは片側を省略し
た平面図である。第２図および第３図は、それぞ
れ、第１図の装置の動作状態の例を示す部分断面
図である。第４図は、ウエハのオリエンテーシヨ
ンフラツトの位置合せの原理を説明するための図
である。第５図は従来のウエハ回転装置の一例を
示すものであり、Ａその縦断面図、Ｂは片側を省
略した平面図である。第６図ないし第８図は、そ
れぞれ、第５図の装置の動作状態の例を示す部分
断面図である。 ２……ウエハ、４……回転台、１４……センタ
リングカツプ、１６……Ｏリング、２４……ピン
。
のであり、Ａはその縦断面図、Ｂは片側を省略し
た平面図である。第２図および第３図は、それぞ
れ、第１図の装置の動作状態の例を示す部分断面
図である。第４図は、ウエハのオリエンテーシヨ
ンフラツトの位置合せの原理を説明するための図
である。第５図は従来のウエハ回転装置の一例を
示すものであり、Ａその縦断面図、Ｂは片側を省
略した平面図である。第６図ないし第８図は、そ
れぞれ、第５図の装置の動作状態の例を示す部分
断面図である。 ２……ウエハ、４……回転台、１４……センタ
リングカツプ、１６……Ｏリング、２４……ピン
。
Claims (1)
- 内周面が上に広がる円錐状をしたセンタリング
カツプと同軸状に、ウエハを乗せるための回転か
つ昇降可能な回転台であつてその上面の周縁部に
滑り止め材を有するものを配置した構造のウエハ
回転装置において、前記センタリングカツプの底
面に、回転台の滑り止め材よりもウエハに対する
摩擦係数が小さい材質から成る複数本のピンを設
け、かつこれらのピンの上面が、センタリングカ
ツプの内径がウエハの外径に一致する高さにほぼ
揃うようにしたことを特徴とするウエハ回転装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2965288U JPH0715136Y2 (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | ウエハ回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2965288U JPH0715136Y2 (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | ウエハ回転装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01133738U true JPH01133738U (ja) | 1989-09-12 |
| JPH0715136Y2 JPH0715136Y2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=31254046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2965288U Expired - Lifetime JPH0715136Y2 (ja) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | ウエハ回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0715136Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003168717A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Yaskawa Electric Corp | ウェハ搬送フォーク |
| JP2008187172A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Suss Microtec Test Systems Gmbh | 電子部品の試験方法とその方法を実施するための試験装置 |
| JP2011083829A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワークの芯出し装置 |
-
1988
- 1988-03-05 JP JP2965288U patent/JPH0715136Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003168717A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Yaskawa Electric Corp | ウェハ搬送フォーク |
| JP2008187172A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | Suss Microtec Test Systems Gmbh | 電子部品の試験方法とその方法を実施するための試験装置 |
| JP2011083829A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワークの芯出し装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0715136Y2 (ja) | 1995-04-10 |