JPH0715136Y2 - ウエハ回転装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、例えばイオン注入装置のオリエンテーショ
ンフラット合せ装置等に用いられるウエハ回転装置に関
する。

〔従来の技術〕

イオン注入装置等においては、ウエハの処理に際して通
常はそのオリエンテーションフラットが基準にされるた
め、その位置合せを行うオリエンテーションフラット合
せ装置が設けられる場合がある。

このオリエンテーションフラット合せ装置は、簡単に言
えば、第４図に示すように、ウエハ回転装置の回転台４
によってウエハ２を回転させ、そのオリエンテーション
フラット2aが所定位置に来たことをセンサ６で検出して
その回転を止めることにより、オリエンテーションフラ
ット2aの位置合せをするものである。

これに用いられているウエハ回転装置の従来例を第５図
に示す。

即ち、この例では真空容器８の内側に受け台10が取り付
けられており、その先端部に、内周面が上に広がる円錐
状（即ちすり鉢状）をしたセンタリングカップ14が設け
られている。このセンタリングカップ14の底面には、前
述したような回転台４が入る穴が設けられている。

受け台10内には、軸受12によって回転および直動可能に
支持された軸18が通されており、その上端部には、ウエ
ハ２（第６図等参照）を乗せるための回転台４であって
その上面の周縁部にウエハ２の滑り止め材であるＯリン
グ16を有するものが設けられている。また、この回転台
４および軸18と上記センタリングカップ14とは同軸状に
配置されている。

回転台４は、軸18の下端部に連結された、例えばエアシ
リンダのようなシリンダ20によって昇降させられ、かつ
例えばパルスモータのようなモータ22によって回転させ
られる。

動作例を説明すると、まず、ウエハ２が図示しないハン
ドリング機構等によってこのウエハ回転装置の上部まで
運ばれて来ると、第６図に示すように、回転台４はシリ
ンダ20によって押し上げられてウエハ２を受け取る。

次いで、回転台４が降下させられ、それと共にウエハ２
はセンタリングカップ14の内周面を滑り落ち、その結果
第７図に示すように、ウエハ２の中心がセンタリングカ
ップ14の中心、即ち当該ウエハ回転装置の中心と一致す
る。

次いで、回転台４が再び上昇させられ、かつモータ22に
よって回転させられ、これによって第４図で説明したよ
うにしてウエハ２のオリエンテーションフラット2aの位
置合せが行われる。

〔考案が解決しようとする課題〕

所が、ウエハ２の中心がセンタリングカップ14の中心か
ら大きくずれて運ばれて来ると、上記のような構造で
は、回転台４のＯリング16の摩擦力が大きいために、ウ
エハ２の下がった方の底面がＯリング16に引っ掛かり、
その結果例えば第８図に示すように、ウエハ２がセンタ
リングカップ14内で斜めの状態になったりして、ウエハ
２の中心がセンタリングカップ14の中心と一致しないこ
とが起こるという問題がある。

ちなみにそのような状態でウエハ２を上昇させて回転さ
せると、ウエハ２の中心と回転中心とがずれているた
め、第４図で説明したようなオリエンテーションフラッ
ト2aの位置合せが正確に行えなくなったり、当該ウエハ
２の後の搬送に支障を来したりする。

そこでこの考案は、ウエハの中心がセンタリングカップ
の中心から大きくずれて運ばれて来たような場合でも、
両者の中心を確実に一致させることができるようにした
ウエハ回転装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この考案のウエハ回転装置は、前述したようなセンタリ
ングカップの底面に、回転台の滑り止め材よりもウエハ
に対する摩擦係数が小さい材質から成る複数本のピンを
設け、かつこれらのピンの上面が、センタイングカップ
の内径がウエハの外径に一致する高さにほぼ揃うように
し、かつ回転台を、その上面がセンタリングカップの上
面より上になる位置とピンの上面より下になる位置との
間で昇降させるようにしたことを特徴とする。

〔作用〕

上記構造によれば、ウエハの中心がセンタリングカップ
の中心から大きくずれて運ばれて来たような場合、回転
台が降下すると、ウエハは、その一端がセンタリングカ
ップの内周面に接触し、斜めになりながら降下して行
く。

そして更に回転台が降下すると、ウエハの下がった方の
底面がピンの上に乗り、ウエハは回転台上の滑り止め材
の摩擦力から開放される。

その結果ウエハは、摩擦係数の小さいピンの上を滑り、
その中心とセンタリングカップの中心とが一致する位置
に滑り込んで止まる。

このようにして、ウエハの中心がセンタリングカップの
中心から大きくずれて運ばれて来たような場合でも、両
者の中心が確実に一致する。

〔実施例〕

第１図は実施例に係るウエハ回転装置を示すものであ
り、（Ａ）はその縦断面図、（Ｂ）は片側を省略した平
面図である。

第５図の従来例との相違点を主に説明すると、この実施
例においては、前述したようなセンタリングカップ14の
底面に、４本のピン24を中心に対して互いに等角度、等
距離の位置にねじ込む等して立設している。もっとも、
ピン24の数は３本以上であれば任意である。

このピン24には、前述したＯリング16（材質は例えばゴ
ム）よりもウエハ２に対する摩擦係数が小さい材質の例
として、この例ではステンレスを用いているか、例えば
テフロンあるいはそれ以外の材質でも良いのは勿論であ
る。

そして、これらのピン24の上面が、センタリングカップ
14の内径がウエハ２の外径に一致する高さＨ（第３図参
照）にほぼ揃うにようにしている。

なお、上記回転台４は、その回転中心がセンタリングカ
ップ14の内周面の中心と同軸上に位置するように配置さ
れている。また、当該回転台４は、その上面がセンタリ
ングカップ14の上面より上になる位置と上記ピン24の上
面より下になる位置との間で昇降させられる。

上記構造によれば、ウエハ２の中心がセンタリングカッ
プ14の中心から大きくずれて運ばれて来たような場合、
回転台４がシリンダ20によって降下させられると、ウエ
ハ２は、その一端がセンタリングカップ14の内周面に接
触し、斜めになりながら降下して行く。

そして更に回転台４が降下すると、第２図に示すよう
に、ウエハ２の下がった方の底面がピン24の上に乗り、
ウエハ２は回転台４上のＯリング16の摩擦力から開放さ
れる。

その結果ウエハ２は、第２図中に矢印で示すように、Ｏ
リング16よりも摩擦係数の小さいピン24の上を滑り、そ
の中心とセンタリングカップ14の中心とが一致する位置
に滑り込んで止まり、第３図に示すような状態になる。

このようにして、ウエハ２の中心がセンタリングカップ
14の中心から大きくずれて運ばれて来たような場合で
も、両者の中心が確実に一致する。勿論、ウエハ２の中
心がセンタリングカップ14の中心からあまりずれずに運
ばれて来た場合も同様にして両者の中心は確実に一致す
る。

従ってこのようなウエハ回転装置を例えば前述したよう
なオリエンテーションフラット合せ装置に用いれば、ウ
エハ２のオリエンテーションフラット2aの位置合せの性
能（精度）を向上させることができると共に、当該ウエ
ハ２のその後の搬送に支障を来すようなことも無くな
る。

〔考案の効果〕

以上のようにこの考案によれば、ウエハの中心がセンタ
リングカップの中心から大きくずれて運ばれて来たよう
な場合でも、両者の中心を確実に一致させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例に係るウエハ回転装置を示すものであ
り、（Ａ）はその縦断面図、（Ｂ）は片側を省略した平
面図である。第２図および第３図は、それぞれ、第１図
の装置の動作状態の例を示す部分断面図である。第４図
は、ウエハのオリエンテーションフラットの位置合せの
原理を説明するための図である。第５図は従来のウエハ
回転装置の一例を示すものであり、（Ａ）その縦断面
図、（Ｂ）は片側を省略した平面図である。第６図ない
し第８図は、それぞれ、第５図の装置の動作状態の例を
示す部分断面図である。 ２……ウエハ、４……回転台、14……センタリングカッ
プ、16……Ｏリング、24……ピン。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】内周面が上に広がる円錐状をしたセンタリ
   ングカップの中心部に、ウエハを乗せるための回転かつ
   昇降可能な回転台であってその上面の周縁部に滑り止め
   材を有するものを、センタリングカップの内周面の中心
   と当該回転台の回転中心とが同軸上に位置するように配
   置した構造のウエハ回転装置において、前記センタリン
   グカップの底面に、回転台の滑り止め材よりもウエハに
   対する摩擦係数が小さい材料から成る複数本のピンを設
   け、かつこれらのピンの上面が、センタリングカップの
   内径がウエハの外径に一致する高さにほぼ揃うように
   し、かつ回転台を、その上面がセンタリングカップの上
   面より上になる位置とピンの上面より下になる位置との
   間で昇降させるようにしたことを特徴とするウエハ回転
   装置。