JPS6351446U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6351446U JPS6351446U JP14604586U JP14604586U JPS6351446U JP S6351446 U JPS6351446 U JP S6351446U JP 14604586 U JP14604586 U JP 14604586U JP 14604586 U JP14604586 U JP 14604586U JP S6351446 U JPS6351446 U JP S6351446U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disc part
- gas outlet
- baffle plate
- tapered surface
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第３図は本考案の一実施例の半導体製造治具の
平面図、第４図は正面図、第５図は下面図で、第
１図および第２図はそれぞれ第５図の―線お
よび―線に沿う拡大断面図である。第６図ａ
，ｂ，ｃはそれぞれベルヌーイチヤツクを使用し
た半導体製造装置の要部斜視図である。第７図お
よび第８図はそれぞれ従来のベルヌーイチヤツク
の断面図であり、第９図および第１０図はそれぞ
れ第７図および第８図のベルヌーイチヤツクを用
いた場合の半導体ウエハー上面の状態を示す平面
図である。 ２０……円筒部、２１……円板部、２３……気
体の吹出し口、２５……凹入部、２６……平坦部
、２７……下向きのテーパー面、２８……上向き
のテーパー面、２９……ストツパ、３０……気体
の抜け孔、３１……邪魔板。
平面図、第４図は正面図、第５図は下面図で、第
１図および第２図はそれぞれ第５図の―線お
よび―線に沿う拡大断面図である。第６図ａ
，ｂ，ｃはそれぞれベルヌーイチヤツクを使用し
た半導体製造装置の要部斜視図である。第７図お
よび第８図はそれぞれ従来のベルヌーイチヤツク
の断面図であり、第９図および第１０図はそれぞ
れ第７図および第８図のベルヌーイチヤツクを用
いた場合の半導体ウエハー上面の状態を示す平面
図である。 ２０……円筒部、２１……円板部、２３……気
体の吹出し口、２５……凹入部、２６……平坦部
、２７……下向きのテーパー面、２８……上向き
のテーパー面、２９……ストツパ、３０……気体
の抜け孔、３１……邪魔板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 円板部と、この円板部の下面中央に設けられた
気体の吹出し口と、円板部の下面周辺部に設けら
れた下向きのテーパー面と、円板部の下面外周縁
に設けられたストツパとを有するものにおいて、 前記気体の吹出し口の下方に邪魔板を配設した
ことを特徴とする半導体製造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14604586U JPS6351446U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14604586U JPS6351446U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6351446U true JPS6351446U (ja) | 1988-04-07 |
Family
ID=31058146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14604586U Pending JPS6351446U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6351446U (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09148260A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-06 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 半導体ウエハーの加熱処理装置 |
| WO2002047155A1 (fr) * | 2000-12-05 | 2002-06-13 | Nippon Pneumatics/Fluidics System Co., Ltd. | Support |
| KR100498779B1 (ko) * | 1998-05-29 | 2005-07-01 | 제츠 아게 | 판 모양의 기판을 비접촉 지지하기 위한 공구 |
| JP2008177239A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
| JP2010093189A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP4735272B2 (ja) * | 2006-01-13 | 2011-07-27 | 日本精工株式会社 | 露光装置 |
| JP2015521373A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-07-27 | インテヴァック インコーポレイテッド | 真空プロセスのためのシステム構成 |
| JP5908136B1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-04-26 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
| JP2020044603A (ja) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | 東洋自動機株式会社 | 物品移送方法及び物品移送装置 |
| JP2021130162A (ja) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP14604586U patent/JPS6351446U/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09148260A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-06 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 半導体ウエハーの加熱処理装置 |
| KR100498779B1 (ko) * | 1998-05-29 | 2005-07-01 | 제츠 아게 | 판 모양의 기판을 비접촉 지지하기 위한 공구 |
| WO2002047155A1 (fr) * | 2000-12-05 | 2002-06-13 | Nippon Pneumatics/Fluidics System Co., Ltd. | Support |
| JPWO2002047155A1 (ja) * | 2000-12-05 | 2004-04-08 | 日本空圧システム株式会社 | 保持具 |
| JP4766824B2 (ja) * | 2000-12-05 | 2011-09-07 | 日本空圧システム株式会社 | 保持具 |
| JP4735272B2 (ja) * | 2006-01-13 | 2011-07-27 | 日本精工株式会社 | 露光装置 |
| JP4564022B2 (ja) * | 2007-01-16 | 2010-10-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
| JP2008177239A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 |
| JP2010093189A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2015521373A (ja) * | 2012-04-26 | 2015-07-27 | インテヴァック インコーポレイテッド | 真空プロセスのためのシステム構成 |
| JP5908136B1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-04-26 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
| WO2016140171A1 (ja) * | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
| US10189166B2 (en) | 2015-03-03 | 2019-01-29 | Harmotec Co., Ltd. | Suction equipment |
| JP2020044603A (ja) * | 2018-09-18 | 2020-03-26 | 東洋自動機株式会社 | 物品移送方法及び物品移送装置 |
| JP2021130162A (ja) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |