JPH0247138U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0247138U JPH0247138U JP12482588U JP12482588U JPH0247138U JP H0247138 U JPH0247138 U JP H0247138U JP 12482588 U JP12482588 U JP 12482588U JP 12482588 U JP12482588 U JP 12482588U JP H0247138 U JPH0247138 U JP H0247138U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- groove
- circular table
- hat
- radially
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の第１の実施例を示
すウエーハチヤツクの平面図及び断面図、第３図
及び第４図ａ，ｂは本考案による他の実施例を示
すウエーハチヤツクの平面図及び断面図、第５図
は従来の一例を示すウエーハチヤツクの平面図で
ある。 １……台、２……第１の溝、３……排気孔、４
，４ａ……第２の溝、５……ウエーハ、６……部
材。
すウエーハチヤツクの平面図及び断面図、第３図
及び第４図ａ，ｂは本考案による他の実施例を示
すウエーハチヤツクの平面図及び断面図、第５図
は従来の一例を示すウエーハチヤツクの平面図で
ある。 １……台、２……第１の溝、３……排気孔、４
，４ａ……第２の溝、５……ウエーハ、６……部
材。
Claims (1)
- 円形状の台の一主面上にウエーハが載置される
領域内に同心円状あるいは放射状に形成された第
１の溝と、前記第１の溝内に設けられた複数の排
気孔とを備えたウエーハチヤツクにおいて、前記
円形状の台上に載置される前記ウエーハの外周の
内側まで延長されて形成された所定の寸法の第２
の溝を少なくとも一つを備えることを特徴とする
ウエーハチヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12482588U JPH0247138U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12482588U JPH0247138U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247138U true JPH0247138U (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=31374892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12482588U Pending JPH0247138U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0247138U (ja) |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP12482588U patent/JPH0247138U/ja active Pending