JPS63128A - ステム位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔所業上の利用分野〕 この発明は、半導体装置の組立装置、特に半導体ベレッ
トがボンディングされるステムの位置決めに関するもの
である。

〔従来の技術〕

第２図は、従来のステム位置決め装置を示す斜示図であ
り、図において、Ｉｌｌはステム、（２１はステム１］
）の脚部が挿入される複数の図示しない孔部が所定の間
隔で複数個設けられると共に前記ステム１１１が移送さ
れるキャリアベルト、＋３１はベレットで　あり、ステ
ムｉｌ＋の頭部にボンディングされる。（１０）はステ
ム移載装置であり、中心軸（１０ａ）とこのまわりに設
けられ９０’回転しうるｗ　（１０１））およびこの腕
（ｌＯｂ）の先端部下部に設けられたステム吸着部（１
υＣ）からなる。

Ｘ１１）はワークステージであって、その中央部にステ
ム（１１の押部が挿入される孔部（１１ａ）とステム１
１１の頭部を押圧する位置決め爪（ｌｌｂ）とこの位置
決め爪（ｌｌｂ）とによってステムＩＩ＋の頭部を位置
決めする固定ブロック（ｌｌｃ）からなる。

次に動作について説明する。

キャリアベルト（２）に塔載されたステム巾は、ステム
移！！装置１１０）の吸着パッド（１０ｃ）により位置
決め固定機＆’に持ったワークステージ（１１）に吸着
し、かつ移載され、位置決め爪（ｌｌｂ）がステム１！
１ヲ押圧することＫよって位置決め固定してから、ベレ
ット（３１をボンディングし、再び、キャリア、ベルト
（２）に移載される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のステム位置決め装置は、以上のように構成されて
いるので、ステムにペレットをボンディングする際に、
ステムをステム移載装置−によって、位置決め機能を持
ったワークステージＯ匂に移載することが必要であり、
半導体装置全欧産するうえで、移載時間が多大となり、
非能率的であった。

また、従来の位置決め装置は、位置決め爪Ｈがステムを
押す力が、水平方向のみに働く機舗になっており、位置
決め固定の際、第３図に示すようにステムが浮き上がる
ことがあり、ペレットをボンディングする時に、不都合
が生じるなどの問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、良好なボンディングが行える正確かつ迅速
に位置できるステム位置決め装置を得ることを目的とす
る＠ 〔問題点を解決するための手段〕 との発明に係るステム位置決め装置は、キャリアベルト
の孔部と押部が挿入されたステムの頭部を斜下方向に押
圧しながら位置決めする位置決め手段を設けたものであ
る。

〔作用〕

この発明におけるステム位置決め装置は位置決め手段に
より、ステムの移載に要する時間を皆無にすると共に、
ステムの位置決めに際して生ずるステムの浮上りを防止
することができる。

〔発明の実施例〕

以下この発明の一実施例を図につｈて説明する。第１図
はこの発明の一実施例によるステム位置決め装置を示す
斜示図であり、図中、第２図と同一符号は同一または相
当部分であり説明は省略する。

第１図において、１４】はステム１１１の頭部を彎下方
向に押圧する固定することにより位置決めする位置決め
爪、（６１は位置決め爪（４１がその上端に取り付けら
れ、位置決め爪１４１ヲ往復させる揺動アーム、（６１
はこの揺動アーム（５）を駆動するためのカム、（７）
は揺動アーム＋５１の下端に取付けられカム（６）と係
合するカムフォロア、（８）は揺動アーム＋６１の上端
部近傍に位置決め爪（４１の押圧方向に引張力を児える
引張バネ、（９）は揺動アーム＋５１を支承する支点で
ある。

上記のように構成されたステム位置決め装置においては
、キャリアベルト（２）に塔載されたステム…が、所定
の位置まで来ると、カム（６）が回転しカムフォロア（
７）が、カムの曲面に追従して左右に幼くことにより揺
動アーム（５１が揺動し、位置決め爪；４）がステム１
１１　ｉ　（＝）め上方から位置決め固定する。

以上のようにキャリアベルト（２）にステム１１１　ｉ
塔載した′１ま位置決め爪（４１ヲ斜上方から押圧する
ので第２図に示す従来のもののようにステム…をワーク
ステージへ移載する時間を皆無にすることができる。

また、ステム１１１の上方から位置決め爪を押し下げる
ので、押す力が水平方向と、水垂方向に働き、ステムが
浮き上がるのを防止できる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、キャリアベルトの孔
部に＋１部が挿入されたステムの頭部を譜下方向に押圧
しながら位置決めする位置決め手段を設けたのでステム
を正確かつ迅速に位置できるという優れた幼果を有する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例によるステム位置決め装
置を示す斜示図、第２図は、従来のステム位ｉ６決め装
置を示す斜示図、第８図は、従来の位置決め装置のワー
クステージにおいて位置決め固定爪がステムを水平方向
に押した時、ステムが、浮き上がる時の状態を示した断
面図である。 図において、（１１はステム、（２１はキャリアベルト
、＋３１はベレン）、＋４１は位置決め爪、（６）は揺
動アーム、１６）はカム、（７）はカムフォロア、（８
）は引張ば糧、（９）は支点である。 なお、６図中同−符号は同一またｒｉ柑歯当部分示す。 第１図 に才教初アーム ６；ｎム ７：　７７ムフオロア Ｊ：、？＋、％気仄冬 ２：支然 手続補正書（自発） ２、発明の名称 ステム位置決め装置 ３、補正をする者 代表者志岐守哉 ４、代理人 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明および図面の簡単な説明の欄
６、補正の内容 明細書をつぎのとおり訂正する。 ｉ　　ｉ　　　′

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体チップがボンディングされる頭部とこの頭部に結
   合される複数の却部からなる複数のステムを移送するキ
   ャリアベルトと、このキャリアベルトに設けられ前記ス
   テムの脚部が挿入される複数の孔部と、前記孔部に前記
   脚部が挿入されたステムの頭部を斜下方向に押圧しなが
   ら位置決めする手段とを備えたことを特徴とするステム
   位置決め装置。