JPS6370856U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6370856U JPS6370856U JP16595386U JP16595386U JPS6370856U JP S6370856 U JPS6370856 U JP S6370856U JP 16595386 U JP16595386 U JP 16595386U JP 16595386 U JP16595386 U JP 16595386U JP S6370856 U JPS6370856 U JP S6370856U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- processing apparatus
- grindstone
- grinds
- external shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
第1図は本考案の半導体ウエハ加工装置の一実
施例の説明図、第2図は同じくロツク部の説明図
、第3図は本装置で加工されたウエハの平面図と
断面図、第4図は従来の半導体ウエハ加工装置の
説明図、第5図は従来装置によるウエハの平面図
と断面図である。 1:ウエハ、2:倣いモデル、4:倣いローラ
、5:砥石、6:可動支持台、9:プレート、1
0:ロツク部。
施例の説明図、第2図は同じくロツク部の説明図
、第3図は本装置で加工されたウエハの平面図と
断面図、第4図は従来の半導体ウエハ加工装置の
説明図、第5図は従来装置によるウエハの平面図
と断面図である。 1:ウエハ、2:倣いモデル、4:倣いローラ
、5:砥石、6:可動支持台、9:プレート、1
0:ロツク部。
Claims (1)
- 所望の外形を備え半導体ウエハを取付けて運動
する倣いモデルと、該倣いモデルに追随して運動
し前記半導体ウエハを研削する砥石とを有し、前
記半導体ウエハを所定の外形に研削し面取り加工
する半導体ウエハ加工装置において、前記半導体
ウエハの面取り加工時に前記砥石の運動を停止状
態および稼動状態に調整するロツク部が設けてあ
ることを特徴とする半導体ウエハ加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16595386U JPS6370856U (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16595386U JPS6370856U (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6370856U true JPS6370856U (ja) | 1988-05-12 |
Family
ID=31096470
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16595386U Pending JPS6370856U (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6370856U (ja) |
-
1986
- 1986-10-29 JP JP16595386U patent/JPS6370856U/ja active Pending