JPS6313642U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6313642U JPS6313642U JP10617386U JP10617386U JPS6313642U JP S6313642 U JPS6313642 U JP S6313642U JP 10617386 U JP10617386 U JP 10617386U JP 10617386 U JP10617386 U JP 10617386U JP S6313642 U JPS6313642 U JP S6313642U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- master
- substrate
- grindstone
- processing apparatus
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Machine Tool Copy Controls (AREA)
Description
第1図は本考案の半導体基板加工装置の一実施
例の説明図、第2図はマスター基板の平面図、第
3図は第1図の装置により加工された基板平面図
、第4図は第3図の面取り加工部横断面図、第5
図は面取りのない第3図フラツト部横断面図、第
6図は従来の面取り加工装置の説明図、第7図は
第6図に用いられるマスター基板平面図、第8図
は第7図の面取り加工部の横断面図である。 1,1′:マスター基板、2:被加工基板、3
,3′:ガイドローラ、4:砥石。
例の説明図、第2図はマスター基板の平面図、第
3図は第1図の装置により加工された基板平面図
、第4図は第3図の面取り加工部横断面図、第5
図は面取りのない第3図フラツト部横断面図、第
6図は従来の面取り加工装置の説明図、第7図は
第6図に用いられるマスター基板平面図、第8図
は第7図の面取り加工部の横断面図である。 1,1′:マスター基板、2:被加工基板、3
,3′:ガイドローラ、4:砥石。
Claims (1)
- マスター基板と、砥石とを備え、前記砥石を前
記マスター基板の形状に倣つて駆動し、被加工基
板を前記マスター基板と同じ形状に研削および面
取り加工する半導体基板加工装置において、前記
マスター基板が形状の異なる複数のマスター基板
を有し、該複数のマスター基板により前記砥石の
倣い駆動を切換える手段が設けてあることを特徴
とする半導体基板加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10617386U JPS6313642U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10617386U JPS6313642U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6313642U true JPS6313642U (ja) | 1988-01-29 |
Family
ID=30981291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10617386U Pending JPS6313642U (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6313642U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57155621U (ja) * | 1981-03-25 | 1982-09-30 |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP10617386U patent/JPS6313642U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57155621U (ja) * | 1981-03-25 | 1982-09-30 |
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