JPS5846442U - 平面位置出し装置 - Google Patents
平面位置出し装置Info
- Publication number
- JPS5846442U JPS5846442U JP14048481U JP14048481U JPS5846442U JP S5846442 U JPS5846442 U JP S5846442U JP 14048481 U JP14048481 U JP 14048481U JP 14048481 U JP14048481 U JP 14048481U JP S5846442 U JPS5846442 U JP S5846442U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning device
- plane positioning
- plane
- pin
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は半導体ウェハの平面位置出し、及び露光装置の
概略図、第２図は従来の平面位置出し装ｊ 置を示す
斜視図、第３図は第２図における位置出し工程を示す縦
断面図、第４図は本考案の平面位、 置出し装置の平
面図、第５図は第４図における位置出し工程を示す縦断
面図である。 １・・・ウェハ、９−１．９−２．９−３・・・位置決
めピン、１５・・・プレート。
概略図、第２図は従来の平面位置出し装ｊ 置を示す
斜視図、第３図は第２図における位置出し工程を示す縦
断面図、第４図は本考案の平面位、 置出し装置の平
面図、第５図は第４図における位置出し工程を示す縦断
面図である。 １・・・ウェハ、９−１．９−２．９−３・・・位置決
めピン、１５・・・プレート。
Claims (1)
- 平面をプレートに立設された３本のピンの先端に接触さ
せて、該平面の位置出しを行う装置において、各ピンを
保持する部分をレバー状に切り欠いてそれぞれの上下方
向の剛性を等しくしたことを特徴とする平面位置出し装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14048481U JPS5846442U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 平面位置出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14048481U JPS5846442U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 平面位置出し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5846442U true JPS5846442U (ja) | 1983-03-29 |
Family
ID=29933642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14048481U Pending JPS5846442U (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 平面位置出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5846442U (ja) |
-
1981
- 1981-09-24 JP JP14048481U patent/JPS5846442U/ja active Pending
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