JPS5948041U - 半導体マスク保持装置 - Google Patents

半導体マスク保持装置

Info

Publication number
JPS5948041U
JPS5948041U JP12928183U JP12928183U JPS5948041U JP S5948041 U JPS5948041 U JP S5948041U JP 12928183 U JP12928183 U JP 12928183U JP 12928183 U JP12928183 U JP 12928183U JP S5948041 U JPS5948041 U JP S5948041U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
holding device
mask holding
semiconductor mask
case
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP12928183U
Other languages
English (en)
Inventor
隆一 船津
Original Assignee
株式会社日立製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
Priority to JP12928183U priority Critical patent/JPS5948041U/ja
Publication of JPS5948041U publication Critical patent/JPS5948041U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のマスク保持機構を示す平面図、第２図は
そのＡ−Ａ断面図、・第３図は本考案によるマスク保持
装置の一実施例を示す斜視図、第４図はマスクケースの
一例及びその位置決め機構を示す斜視図、第５図は該実
施例におけるマスク装着状況を示す断面図、第６図はマ
スクケースの位置決め機構を説明する平面図である。 ２２・・・マスク、２３・・・ベース、３１・・・保持
フレート、３２・・・バックアッププレート、３７・・
・マスクケース、３７ｂ、　３７Ｃ−・・案内縁、４７
ａ−−４７Ｃ・・・位置決めピン、５４・・・押圧用ロ
ーラ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マスクを固定してハンドリングするためのマスクケース
    と、該マスクケースを横方向にスライドして交換する機
    構とを備え、これによりマスクケースを介してマスクを
    ハンドリングする構成とするとともに、該マスクケース
    をスライドさせることによってマスクをマスクケースか
    ら取出し・供給する構成としたことを特徴とする半導体
    マスク保持装置。
JP12928183U 1983-08-23 1983-08-23 半導体マスク保持装置 Pending JPS5948041U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12928183U JPS5948041U (ja) 1983-08-23 1983-08-23 半導体マスク保持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12928183U JPS5948041U (ja) 1983-08-23 1983-08-23 半導体マスク保持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5948041U true JPS5948041U (ja) 1984-03-30

Family

ID=30292980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12928183U Pending JPS5948041U (ja) 1983-08-23 1983-08-23 半導体マスク保持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5948041U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5111766B1 (ja) * 1970-07-06 1976-04-14
JPS52143774A (en) * 1976-05-26 1977-11-30 Hitachi Ltd Negative positioning mechanism in reduction projecting and printing apparatus
JPS52143773A (en) * 1976-05-26 1977-11-30 Hitachi Ltd Reduction projecting and printing apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5111766B1 (ja) * 1970-07-06 1976-04-14
JPS52143774A (en) * 1976-05-26 1977-11-30 Hitachi Ltd Negative positioning mechanism in reduction projecting and printing apparatus
JPS52143773A (en) * 1976-05-26 1977-11-30 Hitachi Ltd Reduction projecting and printing apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5948041U (ja) 半導体マスク保持装置
JPS58102052U (ja) バイス
JPS58170830U (ja) 描画用マスクホルダとマスク基板との導通機構
JPS5911207U (ja) 電子レンジ用のトレイ
JPS6029099U (ja) 事務用パンチ
JPS6027432U (ja) リ−ドフレ−ム用マガジン
JPS59107192U (ja) 回路ブロツクの放熱構造
JPS5876749U (ja) サ−マルヘツドの自動当り調整機構
JPS58142980U (ja) 機器などのケ−スにおける側枠
JPS6094832U (ja) 半導体素子
JPS5933647U (ja) バイメタルサ−モスタツトの取付機構
JPS60138007U (ja) スライドロツク機構
JPS5892690U (ja) 操作部材の支持機構
JPS5912677U (ja) 設計用紙ホルダ
JPS5910185U (ja) カセツトテ−プ
JPS5979612U (ja) ボルト
JPS6011448U (ja) 半導体装置
JPS6117781U (ja) ケ−ブル保持構造
JPS5989335U (ja) 一眼レフレツクスカメラのミラ−ボツクス
JPS59192103U (ja) 光学要素保持機構
JPS59115690U (ja) 可動基板支持構造
JPS59164238U (ja) 混成集積回路装置
JPS599483U (ja) コネクタ−の保持装置
JPS5822727U (ja) コンデンサの製造治具
JPS6065736U (ja) 撮枠の引板係止装置