JPS61188358U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61188358U JPS61188358U JP7279885U JP7279885U JPS61188358U JP S61188358 U JPS61188358 U JP S61188358U JP 7279885 U JP7279885 U JP 7279885U JP 7279885 U JP7279885 U JP 7279885U JP S61188358 U JPS61188358 U JP S61188358U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- abutment
- transfer device
- abutment surface
- positioning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す搬送装置の平面
図、第２図は従来の搬送装置の平面図、第３図は
第２図の正面図、第４図は第１図の正面図、第５
図１，２は第１図中の搬送装置の位置決め装置を
表わす図で、第５図１はその平面図、第５図２は
その正面図、第６図は本考案の変形例を示す位置
決め装置の平面図である。 ２……半導体ウエハ、１３……スピンテーブル
、１４……キヤリア、１９……位置決め装置、２
０Ａ，２０Ｂ……突当て面、２３……移送装置、
２５Ａ，２５Ｂ……整置面。
図、第２図は従来の搬送装置の平面図、第３図は
第２図の正面図、第４図は第１図の正面図、第５
図１，２は第１図中の搬送装置の位置決め装置を
表わす図で、第５図１はその平面図、第５図２は
その正面図、第６図は本考案の変形例を示す位置
決め装置の平面図である。 ２……半導体ウエハ、１３……スピンテーブル
、１４……キヤリア、１９……位置決め装置、２
０Ａ，２０Ｂ……突当て面、２３……移送装置、
２５Ａ，２５Ｂ……整置面。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエハに対応する円弧状の突当て面を有
し該突当て面へ半導体ウエハを当接させることに
より位置決めする位置決め装置と、前記突当て面
に対応する整置面を有し位置決め後の半導体ウエ
ハを前記整置面にて整置しつつ次工程へ移送する
移送装置とを備えた半導体ウエハの搬送装置にお
いて、 前記位置決め装置は、径の異なる複種の半導体
ウエハのそれぞれに対応する複数の突当て面を有
しかつその各突当て面を上下位置調整可能に構成
すると共に、 前記移送装置には、前記突当て面のそれぞれに
対応する複数の整置面を形成したことを特徴とす
る半導体ウエハの搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279885U JPS61188358U (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7279885U JPS61188358U (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61188358U true JPS61188358U (ja) | 1986-11-25 |
Family
ID=30611548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7279885U Pending JPS61188358U (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61188358U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63142817A (ja) * | 1986-12-05 | 1988-06-15 | Tokyo Electron Ltd | 基板の処理装置 |
-
1985
- 1985-05-16 JP JP7279885U patent/JPS61188358U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63142817A (ja) * | 1986-12-05 | 1988-06-15 | Tokyo Electron Ltd | 基板の処理装置 |
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