JPS63131133U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63131133U JPS63131133U JP2315887U JP2315887U JPS63131133U JP S63131133 U JPS63131133 U JP S63131133U JP 2315887 U JP2315887 U JP 2315887U JP 2315887 U JP2315887 U JP 2315887U JP S63131133 U JPS63131133 U JP S63131133U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- substrate
- vacuum chuck
- semiconductor
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Description
第1図aは本考案の一実施例に係る回転可能な
真空チヤツクにウエーハを保持させた状態を示す
概略の平面図、同図bは概略の側面図である。 1……回転可能な真空チヤツク、2……ウエー
ハ位置検出センサ、3……被処理ウエーハ、3a
……オリエンテーシヨンフラツト。
真空チヤツクにウエーハを保持させた状態を示す
概略の平面図、同図bは概略の側面図である。 1……回転可能な真空チヤツク、2……ウエー
ハ位置検出センサ、3……被処理ウエーハ、3a
……オリエンテーシヨンフラツト。
Claims (1)
- 半導体基板を真空チヤツクで吸着保持した後、
前記チヤツクと共に半導体基板で回転させて該基
板にレジストの塗布、現像、スクライバなどの処
理を施すことを含む半導体装置の製造装置におい
て、さらに前記真空チヤツクが前記半導体基板を
保持した際に、前記半導体基板の中心が前記真空
チヤツクのほぼ中心に一致して保持されているか
どうかを検出する検出装置が設けられていること
を特徴とする半導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2315887U JPS63131133U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2315887U JPS63131133U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63131133U true JPS63131133U (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=30821200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2315887U Pending JPS63131133U (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63131133U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59208849A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-11-27 | Hitachi Ltd | 板状物の位置合わせ方法および装置 |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP2315887U patent/JPS63131133U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59208849A (ja) * | 1983-05-13 | 1984-11-27 | Hitachi Ltd | 板状物の位置合わせ方法および装置 |