JPS59208849A - 板状物の位置合わせ方法および装置 - Google Patents
板状物の位置合わせ方法および装置Info
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- JPS59208849A JPS59208849A JP8267183A JP8267183A JPS59208849A JP S59208849 A JPS59208849 A JP S59208849A JP 8267183 A JP8267183 A JP 8267183A JP 8267183 A JP8267183 A JP 8267183A JP S59208849 A JPS59208849 A JP S59208849A
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- section
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
- H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、切欠部を有する円板状の板状物を無接触で位
置決めするのに好適な板状物の位置合わせ方法および装
置に関するものである。
置決めするのに好適な板状物の位置合わせ方法および装
置に関するものである。
一般に、シリコンウェハ等のように円板状の一部に切欠
部を有する板状物の位置合わせをする場合、基準となる
位置に対して、回転方向の位置合わせ（切欠部の位置合
わせ）および板状物が含まれる平面上位置合わせ（ｘ、
ｙ座標の位置合わせ）を正確に行なわなければならない
。
部を有する板状物の位置合わせをする場合、基準となる
位置に対して、回転方向の位置合わせ（切欠部の位置合
わせ）および板状物が含まれる平面上位置合わせ（ｘ、
ｙ座標の位置合わせ）を正確に行なわなければならない
。
第１図は、従来の板状物の位置合わせ方法の一例の説明
図である。
図である。
この従来例は、板状物の周縁部を固定基準に突き当てて
位置合わせをするものである。
位置合わせをするものである。
まず、切欠部１０Ａを有する円板状の板状物１０を固定
された基準用のローラ１および回転駆動用のローラ２Ａ
、 、 ２Ｂ 、 ２Ｃのいずれかに押し当てる。
された基準用のローラ１および回転駆動用のローラ２Ａ
、 、 ２Ｂ 、 ２Ｃのいずれかに押し当てる。
この時、ローラ５は、アクチュエータ９によってレバー
６が押されているので、ビン７を中心として図中左上の
位置にある（破線で示す）。
６が押されているので、ビン７を中心として図中左上の
位置にある（破線で示す）。
したがって、ローラ５は板状物１０の周縁部には接触し
ていない。
ていない。
板状物１０をローラ１．２Ａ、２Ｂ、２Ｃに押し当てた
後、アクチーエータ９の励磁を解除し、ローラ５を板状
物１００周縁部に押し当てる。この時のローラ５の押し
当てる力は弾性体８の付与力による。
後、アクチーエータ９の励磁を解除し、ローラ５を板状
物１００周縁部に押し当てる。この時のローラ５の押し
当てる力は弾性体８の付与力による。
次に、プーリ５を回転駆動してベルト４を駆動する。ベ
ルト４は、各ローラ２Ａ 、 ２Ｂ 、 ２Ｃを回転駆
動するようになっている。
ルト４は、各ローラ２Ａ 、 ２Ｂ 、 ２Ｃを回転駆
動するようになっている。
ローラ５を板状物１００周縁部（（押し当てた段階では
、ローラ２Ａ 、 ２Ｂは周縁部に接触しておらず、ロ
ーラ２Ｃのみが周縁部に接触している。ローラ２Ｃの回
転により、板状物１０は図中矢印方向ｖ′ｃ回転を始め
、切欠部１ｏＡが１０Ａの位置になった時、ローラ２Ｃ
は周縁部と接触しなくなり、ローラ２Ａ、２Ｂのみが接
触している。
、ローラ２Ａ 、 ２Ｂは周縁部に接触しておらず、ロ
ーラ２Ｃのみが周縁部に接触している。ローラ２Ｃの回
転により、板状物１０は図中矢印方向ｖ′ｃ回転を始め
、切欠部１ｏＡが１０Ａの位置になった時、ローラ２Ｃ
は周縁部と接触しなくなり、ローラ２Ａ、２Ｂのみが接
触している。
ここで、ローラ２Ａ、２Ｂは、相互に逆向きに回転して
いるので、板状物１０は回転を停止し、切欠部１０Ａの
方向が一定に保たれることになる。
いるので、板状物１０は回転を停止し、切欠部１０Ａの
方向が一定に保たれることになる。
また、板状物１０は、ローラ５により、基準用のローラ
１および駆動用のローラ２Ａ、２Ｂに押し当てられてい
るので、上記平面内（Ｘ、Ｙ軸方向）の位置決めも行な
われることになる。
１および駆動用のローラ２Ａ、２Ｂに押し当てられてい
るので、上記平面内（Ｘ、Ｙ軸方向）の位置決めも行な
われることになる。
以上に説明した従来方法によれば、板状物１００周縁部
に多数のローラを押し当てて回転させるので、板状物１
００周縁部を破損し、または板状物全体を割り、また、
上記の破損１割れに伴なう破片が板状物１００表面に付
着し傷を付ける等のおそれがある。
に多数のローラを押し当てて回転させるので、板状物１
００周縁部を破損し、または板状物全体を割り、また、
上記の破損１割れに伴なう破片が板状物１００表面に付
着し傷を付ける等のおそれがある。
さらに、周縁部の状態により、摩擦力が変動して回転動
作の不安定等の問題があり、また、板状物１００回転方
回の位置出しを、相反する方向に回転する２個のローラ
のバランスによって行うので、回転方向の位置合わせ精
度が悪いという欠点もあった。
作の不安定等の問題があり、また、板状物１００回転方
回の位置出しを、相反する方向に回転する２個のローラ
のバランスによって行うので、回転方向の位置合わせ精
度が悪いという欠点もあった。
したがって、位置出し後、最終的に顕微鏡を使用して板
状物の位置合わせをする作業も必要であり、煩雑で非能
率的で、また信頼性も充分でなかった。
状物の位置合わせをする作業も必要であり、煩雑で非能
率的で、また信頼性も充分でなかった。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、板
状物の表面および周縁部罠は接触せず、基準位置からの
位置ずれ量および回転方向のずれ量を検出して位置合わ
せを行う板状物の位置合わせ方法および装置を提供する
ことにある。
状物の表面および周縁部罠は接触せず、基準位置からの
位置ずれ量および回転方向のずれ量を検出して位置合わ
せを行う板状物の位置合わせ方法および装置を提供する
ことにある。
本発明に係る板状物の位置合わせ方法の構成は、切欠部
を有する円板状の板状物を、その中心近傍を軸として回
転させながら、その周縁部に関する撮像画像信号につい
て画像認識処理を行うことにより、上記切欠部を検出し
て上記板状物の回転方向の位置合わせな行なった後、再
び上記板状物の周縁部について交互に上記平面内の直交
方向の画像認識処理を行なうことにより、上記板状物が
含まれるべき平面内の基準位置からの位置ずれ量を算出
し、それに基づいて上記平面内の直交方向に上記板状物
を交互に移動させて位置合わせを行なうようにするもの
である。
を有する円板状の板状物を、その中心近傍を軸として回
転させながら、その周縁部に関する撮像画像信号につい
て画像認識処理を行うことにより、上記切欠部を検出し
て上記板状物の回転方向の位置合わせな行なった後、再
び上記板状物の周縁部について交互に上記平面内の直交
方向の画像認識処理を行なうことにより、上記板状物が
含まれるべき平面内の基準位置からの位置ずれ量を算出
し、それに基づいて上記平面内の直交方向に上記板状物
を交互に移動させて位置合わせを行なうようにするもの
である。
同じく、板状物の位置合わせ装置の構成は、切入部を有
する円板状の板状物を保持し、その中心近傍を軸として
回転させる回転ステージとこれを上記板状物が含まれる
平面内で交互に直交方向に移動させる平面移動ステージ
と、上記板状物の周縁部を撮像する撮像装置と、その撮
像画像信号に基づいて上記板状物の回転方向のずれ量お
よび上記平面内の基準位置に関して直父方向の各位置ず
れ量を算出する画像処理装置と、その出力に基づいて上
記の回転ステージおよび平面移動ステージの位置合わせ
駆動の制御をするコントローラとからなるようにしたも
のである。
する円板状の板状物を保持し、その中心近傍を軸として
回転させる回転ステージとこれを上記板状物が含まれる
平面内で交互に直交方向に移動させる平面移動ステージ
と、上記板状物の周縁部を撮像する撮像装置と、その撮
像画像信号に基づいて上記板状物の回転方向のずれ量お
よび上記平面内の基準位置に関して直父方向の各位置ず
れ量を算出する画像処理装置と、その出力に基づいて上
記の回転ステージおよび平面移動ステージの位置合わせ
駆動の制御をするコントローラとからなるようにしたも
のである。
以下、本発明の実施例を図に基づいて、その方法および
装置について合わせて説明する。
装置について合わせて説明する。
第２図は、本発明に係る板状物の位置合わせ装置の一実
施例の構成図、第５図は、その回転方向の位置合わせ方
法の説明図、第４図は、同水平面内の位置合わせ方法の
説明図、第５図は、同フローチャートである。
施例の構成図、第５図は、その回転方向の位置合わせ方
法の説明図、第４図は、同水平面内の位置合わせ方法の
説明図、第５図は、同フローチャートである。
ここで、１０は切欠部１０Ａを有する円板状の板状物（
例えばシリコンウェハ）、１１は駆動用モータ１１Ａで
駆動される回転ステージ（以下、θステージという。）
、１２は、平面移動ステージに係り、駆動用モータ１２
Ａで駆動されるＸステージ、１３は、同じく、駆動用モ
ータ１３Ａで駆動されるＸステージ、１４は駆動用モー
タ１４Ａで駆動される上下移動ステージ、１５は撮像装
置（例えばＴＶカメラ）、１６は画像処理装置、１７は
コントローラである。
例えばシリコンウェハ）、１１は駆動用モータ１１Ａで
駆動される回転ステージ（以下、θステージという。）
、１２は、平面移動ステージに係り、駆動用モータ１２
Ａで駆動されるＸステージ、１３は、同じく、駆動用モ
ータ１３Ａで駆動されるＸステージ、１４は駆動用モー
タ１４Ａで駆動される上下移動ステージ、１５は撮像装
置（例えばＴＶカメラ）、１６は画像処理装置、１７は
コントローラである。
第２図において、板状物１０は、θステージ１１上に真
空吸着で保持されるようになっており、また、このθス
テージ１１の駆動用モータ１１Ａは一１Ｘステージ１２
上に固定されている。
空吸着で保持されるようになっており、また、このθス
テージ１１の駆動用モータ１１Ａは一１Ｘステージ１２
上に固定されている。
Ｘステージ１２の駆動用モータ１２Ａは、Ｘステージ１
３上に取り付けられている。Ｘステージ１３は、その駆
動用モータ１６ＡによってＹ軸方向（水平面内）に摺動
ができるようになっている。
３上に取り付けられている。Ｘステージ１３は、その駆
動用モータ１６ＡによってＹ軸方向（水平面内）に摺動
ができるようになっている。
一方、上下移動ステージ１４は、その駆動用モータ１４
Ａによって上下動するようになっており、板状物１０に
接触する部分は、真空吸着ができる構造となっている。
Ａによって上下動するようになっており、板状物１０に
接触する部分は、真空吸着ができる構造となっている。
画像処理装置１６は、ＴＶ右カメラ５から取り込んだ撮
像画像信号に基づいて板状物１０の位置ずれ量を算出す
る画像認識処理を行ない、コントローラ１７に算出結果
を送信するようになっている。
像画像信号に基づいて板状物１０の位置ずれ量を算出す
る画像認識処理を行ない、コントローラ１７に算出結果
を送信するようになっている。
コントローラ１７．は、画像処理装置１６から送信され
たデータに基づいて、各ステージ１１ 、１２ 。
たデータに基づいて、各ステージ１１ 、１２ 。
１３ 、１４の駆動用モータ１１Ａ、１２Ａ、１３Ａ、
１４Ａ。
１４Ａ。
の位置決め制御ができるものである。
一般に、板状物１ｏをθステージ１１上に載せた場合、
板状物１ｏの中心とθステージ１１の中心軸とは必ずし
も合致しない。したがって、本発明による板状物の位置
合わせ方法においては、第６図（ａｔに示すように、板
状物１ｏの周縁部の４箇所（中心近傍で直交する２直線
、例えばＸ軸。
板状物１ｏの中心とθステージ１１の中心軸とは必ずし
も合致しない。したがって、本発明による板状物の位置
合わせ方法においては、第６図（ａｔに示すように、板
状物１ｏの周縁部の４箇所（中心近傍で直交する２直線
、例えばＸ軸。
Ｙ軸上の各対向部分） １ｓＡ、 １ｓＢ、１９Ａ、１
９Ｂの画像信号を取り込んで位置ずれ量を算出した後、
各ステージの位置合わせ駆動をすることによって板状物
の位置補正を行う。
９Ｂの画像信号を取り込んで位置ずれ量を算出した後、
各ステージの位置合わせ駆動をすることによって板状物
の位置補正を行う。
まず、回転方向の位置ずれ検出および切欠部１０Ａの位
置決め方法・動作釦ついて説明する。
置決め方法・動作釦ついて説明する。
周縁部１９Ａの箇所がＴＶ右カメラ５に映し出されるよ
うに、コントローラ１７がらＸ、Ｘステージ１２ 、１
３を制御する。その移動データは、あらかじめコントロ
ーラ１７内のメモリに格納されているものとする。
うに、コントローラ１７がらＸ、Ｘステージ１２ 、１
３を制御する。その移動データは、あらかじめコントロ
ーラ１７内のメモリに格納されているものとする。
画像処理装置１６は、周縁部１８Ａの箇所の画像信号を
取り込みながら、その画像認識処理をして、θテーブル
１１を回転（位置合わせ駆動）させ、切欠部１ｏＡを検
出する。すなわち、第３図（ｂｌ〜（ｄｌに示すように
、画像取込範囲（図中１８への部分）のうち、図に示す
２箇所の範囲Ａ、Ｂを横切る板状物１０の周縁部の差２
０が０になった時、つまり切欠部１０Ａが最も手前の位
置（回転方向の規定位置）にきた時にθテーブル１１を
停止させる。
取り込みながら、その画像認識処理をして、θテーブル
１１を回転（位置合わせ駆動）させ、切欠部１ｏＡを検
出する。すなわち、第３図（ｂｌ〜（ｄｌに示すように
、画像取込範囲（図中１８への部分）のうち、図に示す
２箇所の範囲Ａ、Ｂを横切る板状物１０の周縁部の差２
０が０になった時、つまり切欠部１０Ａが最も手前の位
置（回転方向の規定位置）にきた時にθテーブル１１を
停止させる。
次に、板状物１０が含まれる平面内（通常、水平面内）
の位置合わせ方法・動作について説明する。
の位置合わせ方法・動作について説明する。
第４図（ａｔに示すように、Ｘ 、 Ｙ、＜データ１２
゜１３を移動（位置合わせ駆動）させ、周辺部１８Ａの
箇所の画像をＴＶ右カメラ５で取り込む。
゜１３を移動（位置合わせ駆動）させ、周辺部１８Ａの
箇所の画像をＴＶ右カメラ５で取り込む。
画像処理装置１６は、その画像データから板状物１０の
周縁部の最も右側の位置を計則しく図中、Ｘｌの値を求
める）、続いてＸ、Ｘステージ１２゜１３を再移動させ
て、周縁部１８Ｂの箇所の画像について板状物１０の最
も左側の位置を計測する（図中、ｘ２の値を算出する）
。これらの左右の周縁部の位置テークＸ４ 、 Ｘ２か
らＸ軸方向の位置ずれ量へＸは、 Δｘ ＝ （ｘｌ−ｘ２）／２ となる。
周縁部の最も右側の位置を計則しく図中、Ｘｌの値を求
める）、続いてＸ、Ｘステージ１２゜１３を再移動させ
て、周縁部１８Ｂの箇所の画像について板状物１０の最
も左側の位置を計測する（図中、ｘ２の値を算出する）
。これらの左右の周縁部の位置テークＸ４ 、 Ｘ２か
らＸ軸方向の位置ずれ量へＸは、 Δｘ ＝ （ｘｌ−ｘ２）／２ となる。
位置補正方法として、まずθステージ１１の真空吸着を
解除し、次に上下移動ステージ１４を上昇させ、板状物
１０の裏面を真空吸着しながら板状物１０をθステージ
１１から離す。その状態で、前述した算出位置ずれ量△
ＸだけＸステージ１２の位置補正をし、その後、上下移
動ステージ１４を下降させて板状物１０を再びθステー
ジ１１上に載せて真空吸着をする。最後に位置補正前の
位置にＸ、ｘ、ｆ−ジ１２を戻すことにより、板状物１
０ノ位置合わせが終了する（図中、破線の位置に位置決
めされる）。
解除し、次に上下移動ステージ１４を上昇させ、板状物
１０の裏面を真空吸着しながら板状物１０をθステージ
１１から離す。その状態で、前述した算出位置ずれ量△
ＸだけＸステージ１２の位置補正をし、その後、上下移
動ステージ１４を下降させて板状物１０を再びθステー
ジ１１上に載せて真空吸着をする。最後に位置補正前の
位置にＸ、ｘ、ｆ−ジ１２を戻すことにより、板状物１
０ノ位置合わせが終了する（図中、破線の位置に位置決
めされる）。
同様に、上記水平面内のＸ軸方向の位置合わせも、第４
図ｉｂｌに示すように、周縁部１９Ａ、１９Ｂの２箇所
の画像に基づいて位置ずれ敢△Ｙ−（Ｙ＋ Ｙ２ ）
／２を算出し、各ステージを動作させ、板状物を移し替
えて位置補正を行う。
図ｉｂｌに示すように、周縁部１９Ａ、１９Ｂの２箇所
の画像に基づいて位置ずれ敢△Ｙ−（Ｙ＋ Ｙ２ ）
／２を算出し、各ステージを動作させ、板状物を移し替
えて位置補正を行う。
以上に説明した位置合わせのフローチャートを第５図に
示す。
示す。
以上の説明で明らかなよ５Ｋ、本実施例の位置合わせ装
置・方法では、板状物１０の裏面以外の個所には全く接
触することはない。また板状物１０を高精度で位置決め
ができるので、顕微鏡等による位置合わせ作業を省くこ
とができ、板状物１０へ４ｇ）回路焼き付けや検査等の
品質安定化・高信頼化を図ることができる。
置・方法では、板状物１０の裏面以外の個所には全く接
触することはない。また板状物１０を高精度で位置決め
ができるので、顕微鏡等による位置合わせ作業を省くこ
とができ、板状物１０へ４ｇ）回路焼き付けや検査等の
品質安定化・高信頼化を図ることができる。
以上の説明によって明らかなごとく、本発明によれば、
板状物の表面および周縁部に接触することなく、基準位
置からの板状物の水平面内および回転方向の位置ずれ量
を検出し、板状物の補正位置決めができるので、板状物
周縁部等の破損および破片による表面の汚染の防止、位
置合わせ精度の向上、さらに動作の安定化ができる等の
顕著な効果が得られる。
板状物の表面および周縁部に接触することなく、基準位
置からの板状物の水平面内および回転方向の位置ずれ量
を検出し、板状物の補正位置決めができるので、板状物
周縁部等の破損および破片による表面の汚染の防止、位
置合わせ精度の向上、さらに動作の安定化ができる等の
顕著な効果が得られる。
第１図は、従来の板状物の位置合わせ方法の一例の説明
図、第２図は、本発明に係る板状物の位置合わせ装置の
一実施例の構成図、第６図は、その回転方向の位置合わ
せ方法の説明図、第４図は、同水平面内の位置合わせ方
法の説明図、第５図は、同フローチャートである。 １０・・・板状物、ＩＯＡ・・・切欠部、１１・・・θ
ステージ、１２・・・Ｘステージ、１３・・・Ｙステー
ジ、１４・・・上下移動ステージ、１５・・ＴＶカメラ
、１６・・・画像処理装置、１７・・・コントローラ。 第２図 第３図 （α） 、１５４図 （ｃＬ） ０Ａ （ｂ） ／９Ｂ 第５図
図、第２図は、本発明に係る板状物の位置合わせ装置の
一実施例の構成図、第６図は、その回転方向の位置合わ
せ方法の説明図、第４図は、同水平面内の位置合わせ方
法の説明図、第５図は、同フローチャートである。 １０・・・板状物、ＩＯＡ・・・切欠部、１１・・・θ
ステージ、１２・・・Ｘステージ、１３・・・Ｙステー
ジ、１４・・・上下移動ステージ、１５・・ＴＶカメラ
、１６・・・画像処理装置、１７・・・コントローラ。 第２図 第３図 （α） 、１５４図 （ｃＬ） ０Ａ （ｂ） ／９Ｂ 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 切欠部を有する円板状の板状物を、その中心近傍を
軸として回転させながら、その周縁部忙関する撮像画像
信号について画像認識処理を行うことにより、上記切欠
部を検出して上記板状物の回転方向の位置合わせな行っ
た後、再び上記板状物の周縁部について交互に上記平面
内の直交方向の画像認識処理を行うことにより、上記板
状物が含まれるべき平面内の基準位置からの位置ずれ量
を算出し、それに基づいて上記平面内の直交方向に上記
板状物を交互忙移動させて位置合わせを行うようにする
板状物の位置合わせ方法。 ２、 切欠部を有する円板状の板状物を保持し、その中
止近傍を軸として回転させる回転ステージと、これを上
記板状物が含まれる平面内で交互に直交方向に移動させ
る平面移動ステージと、上記板状物の周縁部を撮像する
撮像装置と、その撮像画像信号に基づいて上記板状物の
回転方向のずれ量および上記平面内の基準位置に関して
直交方向の各位置ずれ量を算出する画像処理装置と、そ
の出力に基づいて上記の回転ステージおよび平面移動ス
テージの位置合わせ駆動の制御をするコントローラとか
ら構成した板状物の位置合わせ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8267183A JPS59208849A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 板状物の位置合わせ方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8267183A JPS59208849A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 板状物の位置合わせ方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59208849A true JPS59208849A (ja) | 1984-11-27 |
Family
ID=13780884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8267183A Pending JPS59208849A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 板状物の位置合わせ方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59208849A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6276643A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Mitaka Koki Kk | ウエハの非接触位置決め装置 |
| JPS63131133U (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-26 | ||
| JPH01193150A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-08-03 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ワークの位置決め方法 |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP8267183A patent/JPS59208849A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6276643A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Mitaka Koki Kk | ウエハの非接触位置決め装置 |
| JPH0224380B2 (ja) * | 1985-09-30 | 1990-05-29 | Mitaka Koki Kk | |
| JPS63131133U (ja) * | 1987-02-18 | 1988-08-26 | ||
| JPH01193150A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-08-03 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | ワークの位置決め方法 |
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