JPH045634U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示し、第１図及び第２
図は貼付装置の全体の構成を示す平面からみた説
明図及び側面からみた説明図、第３図及び第４図
はそれぞれウエーハの正面図、第５図は主として
ウエーハのプツシヤー部分の側面図、以下拡大し
て示し第６図はセンタリング爪の一部切欠斜視図
、第７図はセンタリング装置の平面図、第８図は
軸受部分の断面図、第９図はセンタリング装置及
びチヤツク部分の一部を断面した側面図、第１０
図はチヤツクのフオトセンサ部分の平面図、第１
１図はチヤツクの一部省略側面図である。 １……貼付板、５……ウエーハ、８……センタ
リング装置、９……チヤツク、１２……接着剤塗
布部、２９……センタリング爪、３０……弧状面
。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエーハキヤリアからウエーハを取出して位置
   決めし、接着剤塗布部へ移送手段で送り、上面に
   薄く接着剤を塗布したウエーハを反転し、貼付板
   に連続的に貼付けるようにしたウエーハ貼付装置
   において、上記ウエーハキヤリアに隣接してウエ
   ーハの外形に沿う形状の弧状面を有する一対のセ
   ンタリング爪を接離可能に対設し、該センタリン
   グ爪間で上記ウエーハキヤリアから取出されたウ
   エーハを挾着しセンタリングを行い、該センタリ
   ング爪の下方に上記ウエーハを受取つて上記移送
   手段へ移し替えるよう昇降可能にチヤツクを設け
   、該チヤツクで上記ウエーハを回転し位置決めす
   るよう上記チヤツクにウエーハのオリエンテーシ
   ヨンフラツト又はノツチを検出するフオトセンサ
   を設け、ウエーハを上記ウエーハキヤリアから上
   記接着剤塗布部へ水平状態で移送しながらセンタ
   リング及び位置決めをするようにしたことを特徴
   とするウエーハ貼付装置。