JPS61164042U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61164042U JPS61164042U JP4056685U JP4056685U JPS61164042U JP S61164042 U JPS61164042 U JP S61164042U JP 4056685 U JP4056685 U JP 4056685U JP 4056685 U JP4056685 U JP 4056685U JP S61164042 U JPS61164042 U JP S61164042U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- mounting surface
- electromagnet
- test device
- attracted
- Prior art date
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図は本考案による一実施例の試験装置のステー
ジ部を示す模式図である。 １：半導体ウエハ、２：磁性加工面、３：ステ
ージ、４：電磁石、５：スイツチ。
ジ部を示す模式図である。 １：半導体ウエハ、２：磁性加工面、３：ステ
ージ、４：電磁石、５：スイツチ。
Claims (1)
- 半導体ウエハの搭載面を備えた試験装置におい
て、搭載面に、表面が平坦に形成された電磁石を
設けてなり、裏面に磁性加工が施こされた半導体
ウエハを磁力で吸着保持することを特徴とする半
導体ウエハ試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056685U JPS61164042U (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4056685U JPS61164042U (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164042U true JPS61164042U (ja) | 1986-10-11 |
Family
ID=30549573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4056685U Pending JPS61164042U (ja) | 1985-03-20 | 1985-03-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164042U (ja) |
-
1985
- 1985-03-20 JP JP4056685U patent/JPS61164042U/ja active Pending
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