JPS63132434U - - Google Patents

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JPS63132434U
JPS63132434U JP2440587U JP2440587U JPS63132434U JP S63132434 U JPS63132434 U JP S63132434U JP 2440587 U JP2440587 U JP 2440587U JP 2440587 U JP2440587 U JP 2440587U JP S63132434 U JPS63132434 U JP S63132434U
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JP
Japan
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wafer
chip
circuit operation
holding
chuck
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JP2440587U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本考案の一実施例を示し
、第1図は平面図、第2図は断面図である。第3
図は従来のチヤツク板を示す断面図である。 1…ウエーハ、2…チツプ、3…パツシベーシ
ヨン膜、4,5…電極、10…チヤツク板、11
…吸着孔、12…突出部、15…ガイド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウエーハ上の配列された各チツプ内の回路動作
    を試験し、前記チツプの良、不良を判別する回路
    動作試験装置において、前記ウエーハを保持する
    チヤツク板であつて、前記チヤツク板の前記ウエ
    ーハの各チツプ部分に対応する箇所に突出部を備
    え、前記ウエーハを保持した際に前記突出部が各
    チツプと当接せしめることを特徴とするウエーハ
    プローバのチヤツク板。
JP2440587U 1987-02-20 1987-02-20 Pending JPS63132434U (ja)

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JP2440587U JPS63132434U (ja) 1987-02-20 1987-02-20

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2440587U JPS63132434U (ja) 1987-02-20 1987-02-20

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JPS63132434U true JPS63132434U (ja) 1988-08-30

Family

ID=30823603

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2440587U Pending JPS63132434U (ja) 1987-02-20 1987-02-20

Country Status (1)

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JP (1) JPS63132434U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011067888A (ja) * 2009-09-25 2011-04-07 Shin Etsu Polymer Co Ltd 半導体ウェーハ用チャックテーブル及び半導体ウェーハの加工方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011067888A (ja) * 2009-09-25 2011-04-07 Shin Etsu Polymer Co Ltd 半導体ウェーハ用チャックテーブル及び半導体ウェーハの加工方法

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