JPS63132434U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63132434U JPS63132434U JP2440587U JP2440587U JPS63132434U JP S63132434 U JPS63132434 U JP S63132434U JP 2440587 U JP2440587 U JP 2440587U JP 2440587 U JP2440587 U JP 2440587U JP S63132434 U JPS63132434 U JP S63132434U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chip
- circuit operation
- holding
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図および第2図は本考案の一実施例を示し
、第1図は平面図、第2図は断面図である。第3
図は従来のチヤツク板を示す断面図である。 1…ウエーハ、2…チツプ、3…パツシベーシ
ヨン膜、4,5…電極、10…チヤツク板、11
…吸着孔、12…突出部、15…ガイド。
、第1図は平面図、第2図は断面図である。第3
図は従来のチヤツク板を示す断面図である。 1…ウエーハ、2…チツプ、3…パツシベーシ
ヨン膜、4,5…電極、10…チヤツク板、11
…吸着孔、12…突出部、15…ガイド。
Claims (1)
- ウエーハ上の配列された各チツプ内の回路動作
を試験し、前記チツプの良、不良を判別する回路
動作試験装置において、前記ウエーハを保持する
チヤツク板であつて、前記チヤツク板の前記ウエ
ーハの各チツプ部分に対応する箇所に突出部を備
え、前記ウエーハを保持した際に前記突出部が各
チツプと当接せしめることを特徴とするウエーハ
プローバのチヤツク板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2440587U JPS63132434U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2440587U JPS63132434U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63132434U true JPS63132434U (ja) | 1988-08-30 |
Family
ID=30823603
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2440587U Pending JPS63132434U (ja) | 1987-02-20 | 1987-02-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63132434U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011067888A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハ用チャックテーブル及び半導体ウェーハの加工方法 |
-
1987
- 1987-02-20 JP JP2440587U patent/JPS63132434U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011067888A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハ用チャックテーブル及び半導体ウェーハの加工方法 |
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