JPH0316069U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0316069U JPH0316069U JP7669389U JP7669389U JPH0316069U JP H0316069 U JPH0316069 U JP H0316069U JP 7669389 U JP7669389 U JP 7669389U JP 7669389 U JP7669389 U JP 7669389U JP H0316069 U JPH0316069 U JP H0316069U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- test
- probe card
- sensor
- card
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例を示す平面図、ｂ
は同側面図、ｃは針先の拡大図、第２図ａは従来
のプローブカードを示す平面図、ｂは同側面図で
ある。 １０１……プリント基板、１０２……テスト用
探針、１０３……ウエハー状態のチツプ、１０４
……センサ用探針、２０４……センサ用探針。
は同側面図、ｃは針先の拡大図、第２図ａは従来
のプローブカードを示す平面図、ｂは同側面図で
ある。 １０１……プリント基板、１０２……テスト用
探針、１０３……ウエハー状態のチツプ、１０４
……センサ用探針、２０４……センサ用探針。
Claims (1)
- ウエハー状態の半導体集積回路の端子に押しあ
ててテスト信号及び電源を供給するテスト用探針
と、前記テスト用探針とチツプとのコンタクト状
態チエツクするセンサ用探針と、プローブカード
の使用可能をチエツクするセンサ用探針とを有す
ることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7669389U JPH0316069U (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7669389U JPH0316069U (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0316069U true JPH0316069U (ja) | 1991-02-18 |
Family
ID=31618393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7669389U Pending JPH0316069U (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0316069U (ja) |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP7669389U patent/JPH0316069U/ja active Pending