JPS58148933U - 集積回路測定装置 - Google Patents

集積回路測定装置

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JPS58148933U
JPS58148933U JP4574982U JP4574982U JPS58148933U JP S58148933 U JPS58148933 U JP S58148933U JP 4574982 U JP4574982 U JP 4574982U JP 4574982 U JP4574982 U JP 4574982U JP S58148933 U JPS58148933 U JP S58148933U
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JP
Japan
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integrated circuit
measurement equipment
probe
circuit measurement
tip
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JP4574982U
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JPS6141232Y2 (ja
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恒夫 飯塚
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富士通株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のプローブカードの背面図、第２図は第１
図のプローブカードを用いる従来の集積回路測定装置の
側断面図、−第３図と第４図は本考−案実施例の第１図
と第２図に類似の図である。 １・・・・・・プローブカード、２・・・・・・固定体
、３，３′・・・・・・プローブニードル、４・・・・
・・端子、５・・・・・・ウェハ、６・・・・・・ステ
ージ、７・・・・・・チップ、８・・・・・・支持体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 、複数のプローブニードルをプローブカードに固定し、
    当該プローブニードルの針先を半導体ウェハに形成され
    たデバイスに゛設けたパッドと接触せしめて集積回路の
    測定をなす装置において、前記プローブカードに固定さ
    れたプローブニードルの先端に近い部分が他の支持体に
    より固定されたことを特徴とする集積回路測定装置。　
    。
JP4574982U 1982-03-31 1982-03-31 集積回路測定装置 Granted JPS58148933U (ja)

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JP4574982U JPS58148933U (ja) 1982-03-31 1982-03-31 集積回路測定装置

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Publication Number Publication Date
JPS58148933U true JPS58148933U (ja) 1983-10-06
JPS6141232Y2 JPS6141232Y2 (ja) 1986-11-25

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ID=30056759

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