JPS60183442U - 集積回路測定治具 - Google Patents
集積回路測定治具Info
- Publication number
- JPS60183442U JPS60183442U JP7207084U JP7207084U JPS60183442U JP S60183442 U JPS60183442 U JP S60183442U JP 7207084 U JP7207084 U JP 7207084U JP 7207084 U JP7207084 U JP 7207084U JP S60183442 U JPS60183442 U JP S60183442U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- measurement jig
- circuit measurement
- jig
- probe needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の固定プローブのプローブ針周辺を示す平
面図、第２図はこの考案の一実施例を示す平面図である
。 図中、１はＩＣチップ、２はパッド部、３はプローブ部
、４はモールド、５はプローブ針である。なお、図中の
同一符号は同一または相当部分を示す。
面図、第２図はこの考案の一実施例を示す平面図である
。 図中、１はＩＣチップ、２はパッド部、３はプローブ部
、４はモールド、５はプローブ針である。なお、図中の
同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- ウェハ上の各チップにプローブ針をそれぞれ接触せしめ
て測定装置からのゲルビン方式による電気信号により集
積回路をチップの状態で各種の測定を行う測定治具にお
いて、前記各チップのうち被測定チップの近傍において
前記プローブ針に他のプローブ針を接続したことを特徴
とする集積回路測定治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207084U JPS60183442U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 集積回路測定治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207084U JPS60183442U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 集積回路測定治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60183442U true JPS60183442U (ja) | 1985-12-05 |
| JPH0121562Y2 JPH0121562Y2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=30610138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7207084U Granted JPS60183442U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 集積回路測定治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60183442U (ja) |
-
1984
- 1984-05-15 JP JP7207084U patent/JPS60183442U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0121562Y2 (ja) | 1989-06-27 |
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