JPH0121562Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0121562Y2 JPH0121562Y2 JP7207084U JP7207084U JPH0121562Y2 JP H0121562 Y2 JPH0121562 Y2 JP H0121562Y2 JP 7207084 U JP7207084 U JP 7207084U JP 7207084 U JP7207084 U JP 7207084U JP H0121562 Y2 JPH0121562 Y2 JP H0121562Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- probe needle
- probe
- pad
- integrated circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 31
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- RFAFBXGYHBOUMV-UHFFFAOYSA-N calcium chromate Chemical compound [Ca+2].[O-][Cr]([O-])(=O)=O RFAFBXGYHBOUMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
この考案は、集積回路かウエハ状態にある時、
そのウエハ上の各チツプの各種の測定をする集積
回路測定治具に関するものである。
そのウエハ上の各チツプの各種の測定をする集積
回路測定治具に関するものである。
従来、この種の測定治具としては第１図に示す
ものがあつた。この測定治具は普通固定プローブ
カードと呼ばれている。第１図において、１はウ
エハ上のICチツプ、２は前記ICチツプ１上に配
置されたパツド部と呼ばれる電極（以下パツド部
という）、３はプローブ針で、その先端がパツド
部２に接触されており、プローブ針３を通して測
定系との電気信号のやりとりをする。４は前記プ
ローブ針３を固定するモールド部である。プロー
ブ針３は通常パツド部２の数ぶんだけ配置され
る。
ものがあつた。この測定治具は普通固定プローブ
カードと呼ばれている。第１図において、１はウ
エハ上のICチツプ、２は前記ICチツプ１上に配
置されたパツド部と呼ばれる電極（以下パツド部
という）、３はプローブ針で、その先端がパツド
部２に接触されており、プローブ針３を通して測
定系との電気信号のやりとりをする。４は前記プ
ローブ針３を固定するモールド部である。プロー
ブ針３は通常パツド部２の数ぶんだけ配置され
る。
次に作用について説明する。パツド部２に接触
しているプローブ針３の先端と反対側の端には、
測定系（集積回路測定装置：以下テスタと呼ぶ）
からの電気信号がきており、例えばテスタから
5Vの電圧が送られてくると、ICチツプ１のパツ
ド部２に約5Vの電圧が印加され、そこからICチ
ツプ１上の回路の各部分に電圧が加わることにな
る。電流の場合も同様である。もちろん、逆に
ICチツプ１内の電圧・電流をパツド部２、プロ
ーブ針３を介してテスタの方へ送ることも可能で
ある。
しているプローブ針３の先端と反対側の端には、
測定系（集積回路測定装置：以下テスタと呼ぶ）
からの電気信号がきており、例えばテスタから
5Vの電圧が送られてくると、ICチツプ１のパツ
ド部２に約5Vの電圧が印加され、そこからICチ
ツプ１上の回路の各部分に電圧が加わることにな
る。電流の場合も同様である。もちろん、逆に
ICチツプ１内の電圧・電流をパツド部２、プロ
ーブ針３を介してテスタの方へ送ることも可能で
ある。
従来の固定プローブカードは以上のように構成
されているので、ICチツプ１の各入出力端子ま
たは電源端子およびグランド端子に対応する個々
のパツド部２に対して、１本のプローブ針３が接
触しているだけなので、テスタからのケルビン方
式での電気信号（センスラインとフオースライン
とに分れている）が、ICチツプ１のパツド部２
よりテスタ側に近い所でセンスラインとフオース
ラインが短絡接続され、センスラインとして使用
したりフオースラインとして使用する形になり、
実際にICチツプ１のパツド部２に印加される電
圧がテスタから送られてきた電圧と異なつてしま
い、正確な測定ができにくいなどの欠点があつ
た。
されているので、ICチツプ１の各入出力端子ま
たは電源端子およびグランド端子に対応する個々
のパツド部２に対して、１本のプローブ針３が接
触しているだけなので、テスタからのケルビン方
式での電気信号（センスラインとフオースライン
とに分れている）が、ICチツプ１のパツド部２
よりテスタ側に近い所でセンスラインとフオース
ラインが短絡接続され、センスラインとして使用
したりフオースラインとして使用する形になり、
実際にICチツプ１のパツド部２に印加される電
圧がテスタから送られてきた電圧と異なつてしま
い、正確な測定ができにくいなどの欠点があつ
た。
上記のような従来のものの欠点を除去するため
に、例えば各パツド部に２本のプローブ針を接触
させる方法があるが、実際のパツド部の面積がプ
ローブ針を２本立てることは困難であつたり、パ
ツド部に２つ以上のプローブ針跡を残すことで
IC自体の信頼性を損ねる等の二次的な欠点を生
じてしまう。
に、例えば各パツド部に２本のプローブ針を接触
させる方法があるが、実際のパツド部の面積がプ
ローブ針を２本立てることは困難であつたり、パ
ツド部に２つ以上のプローブ針跡を残すことで
IC自体の信頼性を損ねる等の二次的な欠点を生
じてしまう。
この考案は、上記のような従来のものの欠点を
除去しつつ、かつ二次的な欠点をも生じさせない
ようにして、正確な測定を行わせることを目的と
した集積回路測定治具を提供するものである。以
下この考案の一実施例を第２図について説明す
る。
除去しつつ、かつ二次的な欠点をも生じさせない
ようにして、正確な測定を行わせることを目的と
した集積回路測定治具を提供するものである。以
下この考案の一実施例を第２図について説明す
る。
第２図において、１，２，３，４は第１図のそ
れと同じものである。この考案における特長は、
プローブ針５にある。すなわち、この考案の場
合、パツド部２に直接針跡を残す形で接触するの
は一方のプローブ針３だけで、この考案によるプ
ローブ針５はパツド部２の極近傍においてプロー
ブ針３に接続されている。
れと同じものである。この考案における特長は、
プローブ針５にある。すなわち、この考案の場
合、パツド部２に直接針跡を残す形で接触するの
は一方のプローブ針３だけで、この考案によるプ
ローブ針５はパツド部２の極近傍においてプロー
ブ針３に接続されている。
次に、上記のように構成されたこの考案の作用
を説明する。１つのパツド部２に対し極近傍まで
プローブ針３，５がきていれば、その２本のプロ
ーブ針３，５をテスタからの電気信号のセンスラ
インとフオースラインとに使い分けることができ
る。その結果、テスタからの電気信号が従来方法
より精度よくICチツプ１上に印加され、測定精
度の向上が期待できる。
を説明する。１つのパツド部２に対し極近傍まで
プローブ針３，５がきていれば、その２本のプロ
ーブ針３，５をテスタからの電気信号のセンスラ
インとフオースラインとに使い分けることができ
る。その結果、テスタからの電気信号が従来方法
より精度よくICチツプ１上に印加され、測定精
度の向上が期待できる。
通常、テスタは前述したように電気信号をケル
ビン方式と呼ばれる形式でセンスラインとフオー
スラインの２つのラインに分けて伝送してくる。
この２つの電気信号をICチツプ１上で短絡でき
ればよいが、前述したような２次的欠点のため、
必ずしもICチツプ１上で短絡はできない。
ビン方式と呼ばれる形式でセンスラインとフオー
スラインの２つのラインに分けて伝送してくる。
この２つの電気信号をICチツプ１上で短絡でき
ればよいが、前述したような２次的欠点のため、
必ずしもICチツプ１上で短絡はできない。
しかし、この考案によれば測定精度を向上させ
た測定治具が得られる。
た測定治具が得られる。
なお、上記実施例では、１本のプローブ針３に
他のプローブ針５を接続し、パツド部２へ精度の
よい電気信号を与えることを示したが、電気信号
の必要に応じて第２図におけるプローブ針３以外
のプローブ針にも同様の処置を行えば、それだけ
測定精度をさらに向上できる。
他のプローブ針５を接続し、パツド部２へ精度の
よい電気信号を与えることを示したが、電気信号
の必要に応じて第２図におけるプローブ針３以外
のプローブ針にも同様の処置を行えば、それだけ
測定精度をさらに向上できる。
以上説明したように、この考案はパツド部に接
触したプローブ針に他のプローブ針を前記パツド
部の極近傍で接続せしめたので、１つのラインで
しかICチツプに電気信号を印加できなかつたも
のを、パツド部への影響等を変えずに測定精度を
向上できる効果がある。特に集積回路の電源用信
号ラインやグランド用信号ラインへの適用が最も
効果が大きいものである。
触したプローブ針に他のプローブ針を前記パツド
部の極近傍で接続せしめたので、１つのラインで
しかICチツプに電気信号を印加できなかつたも
のを、パツド部への影響等を変えずに測定精度を
向上できる効果がある。特に集積回路の電源用信
号ラインやグランド用信号ラインへの適用が最も
効果が大きいものである。
第１図は従来の固定プローブのプローブ針周辺
を示す平面図、第２図はこの考案の一実施例を示
す平面図である。 図中、１はICチツプ、２はパツド部、３はプ
ローブ部、４はモールド、５はプローブ針であ
る。なお、図中の同一符号は同一または相当部分
を示す。
を示す平面図、第２図はこの考案の一実施例を示
す平面図である。 図中、１はICチツプ、２はパツド部、３はプ
ローブ部、４はモールド、５はプローブ針であ
る。なお、図中の同一符号は同一または相当部分
を示す。
Claims (1)
- ウエハ上の各チツプにプローブ針をそれぞれ接
触せしめて測定装置からのゲルビン方式による電
気信号により集積回路をチツプの状態で各種の測
定を行う測定治具において、前記各チツプのうち
被測定チツプの近傍において前記プローブ針に他
のプローブ針を接続したことを特徴とする集積回
路測定治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207084U JPS60183442U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 集積回路測定治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7207084U JPS60183442U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 集積回路測定治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60183442U JPS60183442U (ja) | 1985-12-05 |
| JPH0121562Y2 true JPH0121562Y2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=30610138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7207084U Granted JPS60183442U (ja) | 1984-05-15 | 1984-05-15 | 集積回路測定治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60183442U (ja) |
-
1984
- 1984-05-15 JP JP7207084U patent/JPS60183442U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60183442U (ja) | 1985-12-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1429089A (en) | Method of determining misalignment between two objects | |
| JPH0429561Y2 (ja) | ||
| JP2002176140A (ja) | 半導体集積回路ウェハ | |
| JPH0121562Y2 (ja) | ||
| JP2858390B2 (ja) | 縦型半導体装置の特性測定方法 | |
| JPH05144895A (ja) | プローブカード | |
| JPS60107773U (ja) | 回路板と回路テスターとの接続確認装置 | |
| JP2847309B2 (ja) | プローブ装置 | |
| JP2767845B2 (ja) | プローブカード | |
| KR100396344B1 (ko) | 모니터용 저항 소자 및 저항 소자의 상대적 정밀도의 측정방법 | |
| JP2657315B2 (ja) | プローブカード | |
| JPS6278842A (ja) | プロ−ブカ−ドの検査方法 | |
| KR200145298Y1 (ko) | 탐침 확인용 패드(pad)가 내장된 반도체 칩 | |
| JPH03190148A (ja) | 半導体ウェハーのプローブ針あわせ方法 | |
| JPH04288847A (ja) | 半導体試験装置 | |
| JPH01278033A (ja) | 半導体集積回路のパッド配置構造 | |
| JPS5942707Y2 (ja) | ハンドリング装置の電極子 | |
| JPH04115545A (ja) | プローブカード | |
| JPH0736415B2 (ja) | ウエハテスト装置 | |
| JPS6137776B2 (ja) | ||
| JPH05160216A (ja) | 半導体回路装置 | |
| JPH0541420A (ja) | プローブカード | |
| JPH05175291A (ja) | 半導体回路装置 | |
| JPH04129239A (ja) | ウェーハ・スケール・メモリおよびその製造方法 | |
| JPH02130942A (ja) | Ｉｃの高周波発振周波数測定装置 |