JPS5942707Y2 - ハンドリング装置の電極子 - Google Patents
ハンドリング装置の電極子Info
- Publication number
- JPS5942707Y2 JPS5942707Y2 JP9979180U JP9979180U JPS5942707Y2 JP S5942707 Y2 JPS5942707 Y2 JP S5942707Y2 JP 9979180 U JP9979180 U JP 9979180U JP 9979180 U JP9979180 U JP 9979180U JP S5942707 Y2 JPS5942707 Y2 JP S5942707Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- measured
- handling device
- tip
- electrodes
- Prior art date
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は検査装置と接続して半導体集積回路（以下ＩＣ
と称す）の検査及び選別を行な５ノ・ンドリンク装置（
以下ハンドラーと称す）の電極子に関するものである。
と称す）の検査及び選別を行な５ノ・ンドリンク装置（
以下ハンドラーと称す）の電極子に関するものである。
＝般にＩＣの検査選別に用いるオートハンドラ等のハン
ドリング装置では、検査装置（以下テスタと称す）と被
測定ＩＣとを電気的に接続する為の電極子を有しており
、テスタからの各信号は中継板（以下スタッチメントボ
ードと称す）を介して電極子の各ピンに接続されている
。
ドリング装置では、検査装置（以下テスタと称す）と被
測定ＩＣとを電気的に接続する為の電極子を有しており
、テスタからの各信号は中継板（以下スタッチメントボ
ードと称す）を介して電極子の各ピンに接続されている
。
第１図は従来の電極子による検査方法を示すブロック図
である。
である。
従来、電源、ノイズを押える為のバイパスコンデンサ４
は、アタッチメントボード２上においてテスタ１からの
電源ラインとグランドラインとの間に挿入されていたが
、電源ラインに流れる電流が変動した場合、アタッチメ
ントボード２から被測定ＩＣＩ Ｏに接続する電極子３
ａの先端までの間に存在する電極子のインダクタンス５
によりノイズを生ずる事があり、このノイズの程度如何
によれば被測定ＩＣの持つ本来の電気的特性が変動し安
定した測定がむずかしくなる。
は、アタッチメントボード２上においてテスタ１からの
電源ラインとグランドラインとの間に挿入されていたが
、電源ラインに流れる電流が変動した場合、アタッチメ
ントボード２から被測定ＩＣＩ Ｏに接続する電極子３
ａの先端までの間に存在する電極子のインダクタンス５
によりノイズを生ずる事があり、このノイズの程度如何
によれば被測定ＩＣの持つ本来の電気的特性が変動し安
定した測定がむずかしくなる。
本考案はかかる問題点を改良し、ハンドリング装置によ
るＩＣ検査の場合にも電気的に安定した測定を可能とす
る電極子の提供にある。
るＩＣ検査の場合にも電気的に安定した測定を可能とす
る電極子の提供にある。
以下、本考案による電極子の一実施例を図を参照して具
体的に説明する。
体的に説明する。
第２図は本考案の電極子による検査方法を示すブロック
図、第３図は本考案による電極子が’ＮＩＪ定ＩＣと非
接触の状態を示す図であり、第４図は本考案による電極
子が被測定ＩＣと接触した時の状態を示す図である。
図、第３図は本考案による電極子が’ＮＩＪ定ＩＣと非
接触の状態を示す図であり、第４図は本考案による電極
子が被測定ＩＣと接触した時の状態を示す図である。
本考案におけるハンドリング装置の電極子は、被測定Ｉ
Ｃｌ０の１電源端子当り第１及び第２の電極子３，７か
ら構成され、それぞれ絶縁物８を介してほぼ平行に重ね
合わせて取付板９に植立され、第１の電極子３はアタッ
チメントボード２を介して、テスタ１の電源ラインに接
続されその先端は被測定■Ｃ１０の電源端子１１に接触
する長さに設けられ、又第２の電極子Ｔは先端がやや短
く形成されて被測定ＩＣ１０とは直接接触をとらず且つ
テスタ１からのグランドラインに接続され、該第２の電
極子７の先端の第１の電極子との対向面には、被測定Ｉ
Ｃ１０の電源端子１１に接触しない程度に出来るだけ近
付けてチップコンデンサ６を取り付け、第１の電極子３
が被測定ＩＣ１０と接触をとった時、被測定■Ｃ１０の
電源端子１１に対応する番１の電極子３と第２の電極子
７とは、チップコンデンサ６を介して第１の電極子３の
先端に出来るだけ近い部分で接続される構造の為、アタ
ッチメントボード２と第１の電極子３の先端までの間に
存在する型針のインダクタンス５によるノイズは、第２
の電極子Ｔの先端でグランドラインに接地されることと
なり、第１の電極子３の先端ではノイズの少ない安定し
た測定が期待出来る。
Ｃｌ０の１電源端子当り第１及び第２の電極子３，７か
ら構成され、それぞれ絶縁物８を介してほぼ平行に重ね
合わせて取付板９に植立され、第１の電極子３はアタッ
チメントボード２を介して、テスタ１の電源ラインに接
続されその先端は被測定■Ｃ１０の電源端子１１に接触
する長さに設けられ、又第２の電極子Ｔは先端がやや短
く形成されて被測定ＩＣ１０とは直接接触をとらず且つ
テスタ１からのグランドラインに接続され、該第２の電
極子７の先端の第１の電極子との対向面には、被測定Ｉ
Ｃ１０の電源端子１１に接触しない程度に出来るだけ近
付けてチップコンデンサ６を取り付け、第１の電極子３
が被測定ＩＣ１０と接触をとった時、被測定■Ｃ１０の
電源端子１１に対応する番１の電極子３と第２の電極子
７とは、チップコンデンサ６を介して第１の電極子３の
先端に出来るだけ近い部分で接続される構造の為、アタ
ッチメントボード２と第１の電極子３の先端までの間に
存在する型針のインダクタンス５によるノイズは、第２
の電極子Ｔの先端でグランドラインに接地されることと
なり、第１の電極子３の先端ではノイズの少ない安定し
た測定が期待出来る。
本考案による電極子によれば、第２図の如く第１の電極
子３が被測定ＩＣｌ０と接触した状態では、第２の電極
子７に取り付けられたチップコンデンサ６が第１の電極
子３と接続される構造の為アタッチメントボード２と第
１の電極子３の先端までの間に存在するインダクタンス
５によって生じたノイズは、第１の電極子３の先端でチ
ップコンデンサ６を介してグランドに接続されるので第
１の電極子３の先端ではノイズの少ない安定した測定が
可能となる。
子３が被測定ＩＣｌ０と接触した状態では、第２の電極
子７に取り付けられたチップコンデンサ６が第１の電極
子３と接続される構造の為アタッチメントボード２と第
１の電極子３の先端までの間に存在するインダクタンス
５によって生じたノイズは、第１の電極子３の先端でチ
ップコンデンサ６を介してグランドに接続されるので第
１の電極子３の先端ではノイズの少ない安定した測定が
可能となる。
また第１の電極子３が被測定ＩＣ１０と排接触の場合に
は、第３図の如くチップコンデンサ６は第１の電極子３
とは接触をとらず、第４図の如く第１の電極子３が被測
定ＩＣ１０と接触する場合にのみ第１の電極子３と接触
する構造なので、機械的疲労もなく信頼性の高い構造と
なっている。
は、第３図の如くチップコンデンサ６は第１の電極子３
とは接触をとらず、第４図の如く第１の電極子３が被測
定ＩＣ１０と接触する場合にのみ第１の電極子３と接触
する構造なので、機械的疲労もなく信頼性の高い構造と
なっている。
以上説明した如く、本考案による電極子を用いれば、ハ
ンドリング装置によるＩＣの検査時にも被測定ＩＣ本来
の特性を損なう事なく電気的に安定した測定を行なう事
が出来る。
ンドリング装置によるＩＣの検査時にも被測定ＩＣ本来
の特性を損なう事なく電気的に安定した測定を行なう事
が出来る。
又チップコンデンサを第１の電極子に取り付けても同様
な効果が得られることは勿論である。
な効果が得られることは勿論である。
第１図は従来の電極子による検査方法を示すブロック図
、第２図は本考案の電極子による検査方法を示すブロッ
ク図、第３図及び第４図はそれぞれ本考案による電極子
の機能を説明する図である。 １・・・・・・テスタ、２・・・・・・アタッチメント
ボード、３ａ・・・・・・従来の電極子、３・・・・・
・第１の電極子、４・・・・・・バイパスコンデンサ、
５・・・・・−Ｍ １ ’）電極子ノもつインダクタン
ス、６・・・・・・チップコンデンサ、７・−・・・・
第２の電極子、８・−・・・・絶縁物、９・・間第１、
第２の電極子を取り付ける為の取付板、１゜・・・・・
・被測定ＩＣ１１１・・・・・・被測定ＩＣの電源端子
。
、第２図は本考案の電極子による検査方法を示すブロッ
ク図、第３図及び第４図はそれぞれ本考案による電極子
の機能を説明する図である。 １・・・・・・テスタ、２・・・・・・アタッチメント
ボード、３ａ・・・・・・従来の電極子、３・・・・・
・第１の電極子、４・・・・・・バイパスコンデンサ、
５・・・・・−Ｍ １ ’）電極子ノもつインダクタン
ス、６・・・・・・チップコンデンサ、７・−・・・・
第２の電極子、８・−・・・・絶縁物、９・・間第１、
第２の電極子を取り付ける為の取付板、１゜・・・・・
・被測定ＩＣ１１１・・・・・・被測定ＩＣの電源端子
。
Claims (1)
- 被測定集積回路と検査装置との電気的接続を行なうハン
ドリング装置の電極子において、前記被測定集積回路の
ｌ電極端子当りほぼ平行する第１及び第２の電極子から
なり、第１の電極子は被測定集積回路の電源端子に接触
する長さに設けられ、第２の電極子は第１の電極子より
短く形成され、両電極子の対向面のいずれか一方にチッ
プコンデンサを取り付け、第１の電極子が前記電源端子
に接触した時、第２の電極子の先端部近傍で両電極子が
前記チップコンデンサを介して電気的に接続する構造を
有する事を特徴とするハンドリング装置の電極子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9979180U JPS5942707Y2 (ja) | 1980-07-15 | 1980-07-15 | ハンドリング装置の電極子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9979180U JPS5942707Y2 (ja) | 1980-07-15 | 1980-07-15 | ハンドリング装置の電極子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5722062U JPS5722062U (ja) | 1982-02-04 |
| JPS5942707Y2 true JPS5942707Y2 (ja) | 1984-12-14 |
Family
ID=29461422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9979180U Expired JPS5942707Y2 (ja) | 1980-07-15 | 1980-07-15 | ハンドリング装置の電極子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942707Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-07-15 JP JP9979180U patent/JPS5942707Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5722062U (ja) | 1982-02-04 |
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