JPS60192441U - 集積回路試験装置 - Google Patents

集積回路試験装置

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JPS60192441U
JPS60192441U JP7951484U JP7951484U JPS60192441U JP S60192441 U JPS60192441 U JP S60192441U JP 7951484 U JP7951484 U JP 7951484U JP 7951484 U JP7951484 U JP 7951484U JP S60192441 U JPS60192441 U JP S60192441U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
integrated circuit
circuit testing
testing equipment
pin connection
wafer
Prior art date
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Pending
Application number
JP7951484U
Other languages
English (en)
Inventor
勝彦 岡田
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
Priority to JP7951484U priority Critical patent/JPS60192441U/ja
Publication of JPS60192441U publication Critical patent/JPS60192441U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図乃至第４図は従来の集積回路試験装置を説明する
ための図、第５図は本考案による集積回路試験装置を説
明するための図、第６図は他の実、流側を説明するため
の図である。 図面において、２０はカードソケット、２１はポゴピン
、２２はター逅ナルメスピン、２４はプローブカード、
２５はターミナルオスピン、２６は平面ターミナル、２
７はプローブピン、２９は取付ねじをそれぞれ示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハープローバーを有する集積回路試験装置ニオいて
    、ウェハープロパーのプローブカードとカードソケット
    との電気的接続を、ターミナルピンによる接続とポゴピ
    ンによる接続を併用したことを特徴とする集積回路試験
    装置。
JP7951484U 1984-05-31 1984-05-31 集積回路試験装置 Pending JPS60192441U (ja)

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JPS60192441U true JPS60192441U (ja) 1985-12-20

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6355948A (ja) * 1986-08-26 1988-03-10 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS63190350A (ja) * 1987-02-02 1988-08-05 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS6448439A (en) * 1987-08-18 1989-02-22 Tokyo Electron Ltd Mounting structure of probing card
JPH01170876A (ja) * 1987-12-25 1989-07-05 Tokyo Electron Ltd プローブ装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6355948A (ja) * 1986-08-26 1988-03-10 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS63190350A (ja) * 1987-02-02 1988-08-05 Tokyo Electron Ltd プロ−ブ装置
JPS6448439A (en) * 1987-08-18 1989-02-22 Tokyo Electron Ltd Mounting structure of probing card
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