JPS58164235U - 半導体装置の試験装置 - Google Patents

半導体装置の試験装置

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JPS58164235U
JPS58164235U JP6242082U JP6242082U JPS58164235U JP S58164235 U JPS58164235 U JP S58164235U JP 6242082 U JP6242082 U JP 6242082U JP 6242082 U JP6242082 U JP 6242082U JP S58164235 U JPS58164235 U JP S58164235U
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JP
Japan
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semiconductor device
device testing
testing equipment
semiconductor
socket
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Pending
Application number
JP6242082U
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English (en)
Inventor
高原　正「よし」
Original Assignee
クラリオン株式会社
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Publication date
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Publication of JPS58164235U publication Critical patent/JPS58164235U/ja
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のプローブカードの平面図、第２図は従来
の試験装置の側面図、第３図は電極パッドと測定端子の
位置関係を示す平面図、第４図は本考案による試験装置
の平面図、第５図は第４図に示す装置の側面図である。 １・・・プローブ・カード、２・・・測定端子、３・・
・プローバ・ステージ、４・・・被検査ウェハ、５・・
・電極パッド、６・・・基板電極、７・・・基板、８・
・・支柱、９・・・マザー・ボード、１０・・・ＩＣソ
ケット、１１・・・配線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一方の面側に半導体素子の電極と接続をとるために必要
    な測定端子を有する治具が、他方の面側に組み立てられ
    た半導体製品との接続をとるための基板、およびＩＣソ
    ケットとの配線端子を備えていることを特徴とする半導
    体装置の試験装置。
JP6242082U 1982-04-27 1982-04-27 半導体装置の試験装置 Pending JPS58164235U (ja)

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JPS58164235U true JPS58164235U (ja) 1983-11-01

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