JPS58142938U - プロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS58142938U JPS58142938U JP3914982U JP3914982U JPS58142938U JP S58142938 U JPS58142938 U JP S58142938U JP 3914982 U JP3914982 U JP 3914982U JP 3914982 U JP3914982 U JP 3914982U JP S58142938 U JPS58142938 U JP S58142938U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring pattern
- rectangular opening
- probe card
- synthetic resin
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
、第１図および第２図は従来のプローブカードの平面図
およびその断面図、第３図、第４図は検査用パッドに測
定端子が接触する゛状態を示す図、第５図、第６図は本
考案のプロ亡ブカードの一実施例を示す平面図である。 図において１．１２は合成樹脂円板、２．１１は開孔部
、３，１４．１７は導電性のパターン、４．１８は端子
ピン、５，１６はチップ、６は測定台、７．１５は測定
端子、８は検査用パッド、１３は絶縁板、Ａは測定台の
移動方向を示す矢印である。
およびその断面図、第３図、第４図は検査用パッドに測
定端子が接触する゛状態を示す図、第５図、第６図は本
考案のプロ亡ブカードの一実施例を示す平面図である。 図において１．１２は合成樹脂円板、２．１１は開孔部
、３，１４．１７は導電性のパターン、４．１８は端子
ピン、５，１６はチップ、６は測定台、７．１５は測定
端子、８は検査用パッド、１３は絶縁板、Ａは測定台の
移動方向を示す矢印である。
Claims (1)
- 中央に方形の開口部が形成された合成樹脂板の表面に放
射状に延びた配線パターンと該配線パターンの周辺端部
より垂直方向に延びて検査測定器と接続するピンが形成
され、前記合成樹脂板の裏面には前記表面の配線パター
ンとスルーホールを介して接続された放射状の配線パタ
ーンが方形の開口部の四辺に対応するように四分割され
て端部が放物線状になるようにして合成樹脂板の中央で
集結され、該四分割された放物線状の端部に検査すべき
半導体チップの検査パッドに接触する測定端子が方形の
開孔部の四辺上を垂直にまたぐようにして接続されてい
ることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3914982U JPS58142938U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3914982U JPS58142938U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | プロ−ブカ−ド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58142938U true JPS58142938U (ja) | 1983-09-27 |
| JPS6210998Y2 JPS6210998Y2 (ja) | 1987-03-16 |
Family
ID=30050452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3914982U Granted JPS58142938U (ja) | 1982-03-18 | 1982-03-18 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58142938U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149688A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS56135938A (en) * | 1980-03-28 | 1981-10-23 | Yoshie Hasegawa | Fixed probe board |
-
1982
- 1982-03-18 JP JP3914982U patent/JPS58142938U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149688A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS56135938A (en) * | 1980-03-28 | 1981-10-23 | Yoshie Hasegawa | Fixed probe board |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6210998Y2 (ja) | 1987-03-16 |
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