JPS61136542U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61136542U JPS61136542U JP1993185U JP1993185U JPS61136542U JP S61136542 U JPS61136542 U JP S61136542U JP 1993185 U JP1993185 U JP 1993185U JP 1993185 U JP1993185 U JP 1993185U JP S61136542 U JPS61136542 U JP S61136542U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- probes
- integrated circuit
- measuring characteristics
- holding plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 3
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例の探針を特性測定
のウエーハに接触している状態の探針保持板を透
視して示す平面図、同図ｂは探針保持板を含む側
面図、第２図は多ピンペレツトに対する探針接触
を示す本考案の実施例の使用例を示す平面図、第
３図ａは第１図ａに対応する従来のプローブカー
ドの平面図、同図ｂは第１図ｂに対応する従来例
の断面図、第４図は４個のペレツト同時測定の従
来のプローブカードと測定ウエーハを示す平面図
である。 １，１１……探針保持板、２ａ，２ｂ，３……
探針、４……ウエーハ、Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３
，Ｐ４……ペレツト。
のウエーハに接触している状態の探針保持板を透
視して示す平面図、同図ｂは探針保持板を含む側
面図、第２図は多ピンペレツトに対する探針接触
を示す本考案の実施例の使用例を示す平面図、第
３図ａは第１図ａに対応する従来のプローブカー
ドの平面図、同図ｂは第１図ｂに対応する従来例
の断面図、第４図は４個のペレツト同時測定の従
来のプローブカードと測定ウエーハを示す平面図
である。 １，１１……探針保持板、２ａ，２ｂ，３……
探針、４……ウエーハ、Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３
，Ｐ４……ペレツト。
Claims (1)
- 半導体集積回路ウエーハ上のボンデイングパツ
ドに電気的接続をとるために接触させる多数の探
針が探針保持板に植設された集積回路の特性測定
用治具において、前記探針は二重以上の同心円の
円周上に植設されていることを特徴とする集積回
路の特性測定用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993185U JPS61136542U (ja) | 1985-02-14 | 1985-02-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993185U JPS61136542U (ja) | 1985-02-14 | 1985-02-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61136542U true JPS61136542U (ja) | 1986-08-25 |
Family
ID=30509956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993185U Pending JPS61136542U (ja) | 1985-02-14 | 1985-02-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61136542U (ja) |
-
1985
- 1985-02-14 JP JP1993185U patent/JPS61136542U/ja active Pending
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