JPH01118370U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01118370U JPH01118370U JP1144688U JP1144688U JPH01118370U JP H01118370 U JPH01118370 U JP H01118370U JP 1144688 U JP1144688 U JP 1144688U JP 1144688 U JP1144688 U JP 1144688U JP H01118370 U JPH01118370 U JP H01118370U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- measurement
- probe card
- insulating substrate
- periphery
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すプローブカー
ドの断面図、第２図は従来のプローブカードの一
例を示す断面図である。 １……絶縁基板、２，３……探針。
ドの断面図、第２図は従来のプローブカードの一
例を示す断面図である。 １……絶縁基板、２，３……探針。
Claims (1)
- ＩＣ測定用のプローブカードにおいて、中央に
開口部を有する絶縁基板の前記開口部周縁の上面
及び下面のそれぞれに配列して実装した測定用の
探針を有することを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1144688U JPH01118370U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1144688U JPH01118370U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118370U true JPH01118370U (ja) | 1989-08-10 |
Family
ID=31220008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1144688U Pending JPH01118370U (ja) | 1988-01-29 | 1988-01-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01118370U (ja) |
-
1988
- 1988-01-29 JP JP1144688U patent/JPH01118370U/ja active Pending