JPS6379641U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6379641U JPS6379641U JP17296486U JP17296486U JPS6379641U JP S6379641 U JPS6379641 U JP S6379641U JP 17296486 U JP17296486 U JP 17296486U JP 17296486 U JP17296486 U JP 17296486U JP S6379641 U JPS6379641 U JP S6379641U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- chip
- internal wiring
- electrically connected
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 3
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案の微小パツドに測定プローブが
接触する状態を示す斜視図である。第2図は本考
案の微小パツドの平面図、第3図は従来の微小パ
ツドに測定プローブが接触する状態を示す斜視図
である。 図において、1はパツド、2は測定プローブ、
3はチツプ、4は内部配線(内部信号ライン)で
ある。
接触する状態を示す斜視図である。第2図は本考
案の微小パツドの平面図、第3図は従来の微小パ
ツドに測定プローブが接触する状態を示す斜視図
である。 図において、1はパツド、2は測定プローブ、
3はチツプ、4は内部配線(内部信号ライン)で
ある。
Claims (1)
- 内部配線と電気的に接続され、かつ占有面積内
に中心部を含んで凹凸を有する形状に除去された
中空部をもつ金属被膜よりなることを特徴とする
ICチツプのパツド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17296486U JPS6379641U (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17296486U JPS6379641U (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6379641U true JPS6379641U (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=31109985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17296486U Pending JPS6379641U (ja) | 1986-11-11 | 1986-11-11 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6379641U (ja) |
-
1986
- 1986-11-11 JP JP17296486U patent/JPS6379641U/ja active Pending