JPH0252341U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0252341U JPH0252341U JP13031288U JP13031288U JPH0252341U JP H0252341 U JPH0252341 U JP H0252341U JP 13031288 U JP13031288 U JP 13031288U JP 13031288 U JP13031288 U JP 13031288U JP H0252341 U JPH0252341 U JP H0252341U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- probe
- probe card
- inker
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 11
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すプローブカー
ドの平面図、第２図は使用状態の拡大断面図、第
２図は使用状態の拡大断面図、第３図および第４
図はそれぞれ他の実施例によるプローブカードの
平面図、第５図は従来のプローブカードの平面図
、第６図は使用状態の拡大断面図である。 １……プローブカード、１ａ……プローブ、１
ｂ……プローブ用開口部、１ｃ……インカー用開
口部、２……プロバー、３……ウエハチツプ、４
……インカー、５……顕微鏡、６……ＣＲＴデイ
スプレイ。
ドの平面図、第２図は使用状態の拡大断面図、第
２図は使用状態の拡大断面図、第３図および第４
図はそれぞれ他の実施例によるプローブカードの
平面図、第５図は従来のプローブカードの平面図
、第６図は使用状態の拡大断面図である。 １……プローブカード、１ａ……プローブ、１
ｂ……プローブ用開口部、１ｃ……インカー用開
口部、２……プロバー、３……ウエハチツプ、４
……インカー、５……顕微鏡、６……ＣＲＴデイ
スプレイ。
Claims (1)
- 集積回路の判定用プローブカードにおいて、プ
ローブ用開口部のほかにインカー用開口部が設け
られていることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13031288U JPH0252341U (ja) | 1988-10-04 | 1988-10-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13031288U JPH0252341U (ja) | 1988-10-04 | 1988-10-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252341U true JPH0252341U (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=31385369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13031288U Pending JPH0252341U (ja) | 1988-10-04 | 1988-10-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0252341U (ja) |
-
1988
- 1988-10-04 JP JP13031288U patent/JPH0252341U/ja active Pending