JPS62134244U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62134244U JPS62134244U JP2269186U JP2269186U JPS62134244U JP S62134244 U JPS62134244 U JP S62134244U JP 2269186 U JP2269186 U JP 2269186U JP 2269186 U JP2269186 U JP 2269186U JP S62134244 U JPS62134244 U JP S62134244U
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- JP
- Japan
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- probe card
- conductive
- contact
- probe
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- Granted
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案に係るプローブカードの第1の
実施例を示す主要部拡大正面図、第2図は第1図
のプローブカードの平面図、第3図はニードルの
一部に設けた検知手段の動作を示す主要部拡大正
面図、第4図は第2の実施例を示す主要部拡大正
面図、第5図は第4図のプローブカードの平面図
、第6図はニードルの一部に設けた第2の検知手
段の動作を示す主要部拡大正面図、第7図はペレ
ツト検査装置の平面図、第8図は第7図の正面図
、第9図は従来のプローブカードを示す主要部拡
大図を含む平面図、第10図は第9図の主要部拡
大正面図、第11図は従来の検知手段の動作を示
す主要部拡大正面図である。 1……半導体ウエーハ、2……半導体ペレツト
、8,8′,8″,8……導電性測子(ニード
ル)、23,28……プローブカード。
実施例を示す主要部拡大正面図、第2図は第1図
のプローブカードの平面図、第3図はニードルの
一部に設けた検知手段の動作を示す主要部拡大正
面図、第4図は第2の実施例を示す主要部拡大正
面図、第5図は第4図のプローブカードの平面図
、第6図はニードルの一部に設けた第2の検知手
段の動作を示す主要部拡大正面図、第7図はペレ
ツト検査装置の平面図、第8図は第7図の正面図
、第9図は従来のプローブカードを示す主要部拡
大図を含む平面図、第10図は第9図の主要部拡
大正面図、第11図は従来の検知手段の動作を示
す主要部拡大正面図である。 1……半導体ウエーハ、2……半導体ペレツト
、8,8′,8″,8……導電性測子(ニード
ル)、23,28……プローブカード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハに形成された半導体ペレツトの
各電極パツドに接触する導電性測子が複数本支持
されたプローブカードに於いて、 上記導電性測子の電極パツドとの接触に伴う変
形を検出する検知手段を導電性測子の一部に設け
たことを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986022691U JPH0342682Y2 (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986022691U JPH0342682Y2 (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62134244U true JPS62134244U (ja) | 1987-08-24 |
JPH0342682Y2 JPH0342682Y2 (ja) | 1991-09-06 |
Family
ID=30820313
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986022691U Expired JPH0342682Y2 (ja) | 1986-02-18 | 1986-02-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0342682Y2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54158175A (en) * | 1978-02-21 | 1979-12-13 | Texas Instruments Inc | Four quadrant detector |
JPS60231336A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プロ−ブ・カ−ド |
-
1986
- 1986-02-18 JP JP1986022691U patent/JPH0342682Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54158175A (en) * | 1978-02-21 | 1979-12-13 | Texas Instruments Inc | Four quadrant detector |
JPS60231336A (ja) * | 1984-04-27 | 1985-11-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | プロ−ブ・カ−ド |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0342682Y2 (ja) | 1991-09-06 |