JP2563156Y2 - プローブボード - Google Patents
プローブボードInfo
- Publication number
- JP2563156Y2 JP2563156Y2 JP1991004002U JP400291U JP2563156Y2 JP 2563156 Y2 JP2563156 Y2 JP 2563156Y2 JP 1991004002 U JP1991004002 U JP 1991004002U JP 400291 U JP400291 U JP 400291U JP 2563156 Y2 JP2563156 Y2 JP 2563156Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- resin
- probe board
- probes
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案はプローブボードに関し、
特に半導体ウェーハの電気的試験の為のウェーハの接触
に用いるプローブボードに関する。
特に半導体ウェーハの電気的試験の為のウェーハの接触
に用いるプローブボードに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のプローブボードは、図５（ａ），
（ｂ）に示す様に、基板３に探針１を取り付け樹脂リン
グ１１で固定しており、特にリング１１は機械的強度を
持たせる為にのみ用いられている絶縁物であった。
（ｂ）に示す様に、基板３に探針１を取り付け樹脂リン
グ１１で固定しており、特にリング１１は機械的強度を
持たせる為にのみ用いられている絶縁物であった。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】図３に、このような従
来のプローブボードを用いた測定方法を示す。
来のプローブボードを用いた測定方法を示す。
【０００４】図３において、この従来のブローブボード
では、半導体ペレット４の測定パッド７に探針１を接触
させ、入出力の電気的測定を行なうわけであるが、探針
１間が非常に接近して取り付けられるため、探針１間の
ストレーキャパシティ６が形成される。入出力信号が高
周波になると探針１間のストレーキャパシティ６の影響
が無視できなくなり、送信側の高周波成分５が受信側に
伝わり、正確な測定ができなくなる問題点があった。
では、半導体ペレット４の測定パッド７に探針１を接触
させ、入出力の電気的測定を行なうわけであるが、探針
１間が非常に接近して取り付けられるため、探針１間の
ストレーキャパシティ６が形成される。入出力信号が高
周波になると探針１間のストレーキャパシティ６の影響
が無視できなくなり、送信側の高周波成分５が受信側に
伝わり、正確な測定ができなくなる問題点があった。
【０００５】この問題を解決するため探針１を同軸状に
おおったプローブボードも存在するが、コスト高になり
値段が高く、しかも故障時の修理が困難であるという問
題点があった。
おおったプローブボードも存在するが、コスト高になり
値段が高く、しかも故障時の修理が困難であるという問
題点があった。
【０００６】本考案の目的は、前記問題点を解決し、ス
トレーキャパシティの影響をなくし故障時の修理が容易
にできるようにしたプローブボードを提供することにあ
る。
トレーキャパシティの影響をなくし故障時の修理が容易
にできるようにしたプローブボードを提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本考案の構成は、半導体
ウェーハ上に形成されたペレットのパッドに当接させる
複数の探針と、前記探針を固定する樹脂リングと、前記
探針と前記樹脂リングとを取付ける基板とを備えたプロ
ーブボードにおいて、前記樹脂リングは導電性樹脂リン
グであり、前記樹脂リングにより固定される前記探針の
箇所に絶縁コーティングが施こされていることを特徴と
する。
ウェーハ上に形成されたペレットのパッドに当接させる
複数の探針と、前記探針を固定する樹脂リングと、前記
探針と前記樹脂リングとを取付ける基板とを備えたプロ
ーブボードにおいて、前記樹脂リングは導電性樹脂リン
グであり、前記樹脂リングにより固定される前記探針の
箇所に絶縁コーティングが施こされていることを特徴と
する。
【０００８】
【実施例】図１（ａ），（ｂ）は本考案の一実施例のプ
ローブボードの断面図と裏面図、図２は図１の一部を拡
大して示した断面図、図４は図１の使用状態を示す回路
図である。
ローブボードの断面図と裏面図、図２は図１の一部を拡
大して示した断面図、図４は図１の使用状態を示す回路
図である。
【０００９】図１，図２において、本実施例のプローブ
ボードは、探針１が導電性樹脂リング２に固定され、探
針１の根元が基板３に取付けられている。
ボードは、探針１が導電性樹脂リング２に固定され、探
針１の根元が基板３に取付けられている。
【００１０】図２に示すように、探針１は、基板３にハ
ンダ付けされ、さらにリング２で封入されて固定されて
いる。この探針１には、絶縁膜１０がコーティングされ
ている。
ンダ付けされ、さらにリング２で封入されて固定されて
いる。この探針１には、絶縁膜１０がコーティングされ
ている。
【００１１】このプローブボードの作用を、図４を用い
て説明する。
て説明する。
【００１２】図４において、各入出力探針１をリング２
でおおった状態は電気的に同軸と同様になるため、これ
を仮想同軸９と呼ぶことにする。この仮想同軸９を試験
装置８の基準電位（グラウンド）に接続すると、探針１
間のストレーキャパシティが低下する。
でおおった状態は電気的に同軸と同様になるため、これ
を仮想同軸９と呼ぶことにする。この仮想同軸９を試験
装置８の基準電位（グラウンド）に接続すると、探針１
間のストレーキャパシティが低下する。
【００１３】
【考案の効果】以上説明したように、本考案は、探針固
定用の樹脂リングに導電性をもたせることにより、全探
針に一様に仮想同軸効果をもたらすため、探針間のスト
レーキャパシティが低下し、入出力信号が高周波になっ
てもストレーの影響が少なくなり、送信側の高周波成分
が受信側に伝わりにくくなり、より正確な測定ができる
という効果があり、また同軸プローブボードに比べコス
トが低く、故障時の修理が容易であるという効果もあ
る。
定用の樹脂リングに導電性をもたせることにより、全探
針に一様に仮想同軸効果をもたらすため、探針間のスト
レーキャパシティが低下し、入出力信号が高周波になっ
てもストレーの影響が少なくなり、送信側の高周波成分
が受信側に伝わりにくくなり、より正確な測定ができる
という効果があり、また同軸プローブボードに比べコス
トが低く、故障時の修理が容易であるという効果もあ
る。
【図１】（ａ），（ｂ）は本考案の一実施例のプローブ
カードを示す断面図およびその裏面図である。
カードを示す断面図およびその裏面図である。
【図２】図１の一部を拡大して示した断面図である。
【図３】従来のプローブカードの使用状態を示す回路図
である。
である。
【図４】図１のプローブカードの使用状態を示す回路図
である。
である。
【図５】（ａ），（ｂ）は従来のプローブカードを示す
断面図およびその裏面図である。
断面図およびその裏面図である。
１ 探針 ２ 導電性樹脂リング ３ 基板 ４ 半導体ペレット ５ 高周波成分 ６ ストレーキャパシティ ７ パッド ８ 試験装置 ９ 仮想同軸 １０ 絶縁膜 １１ 絶縁樹脂リング
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体ウェーハ上に形成されたペレット
のパッドに当接させる複数の探針と、前記探針を固定す
る樹脂リングと、前記探針と前記樹脂リングとを取付け
る基板とを備えたプローブボードにおいて、前記樹脂リ
ングは導電性樹脂リングであり、前記樹脂リングにより
固定される前記探針の箇所に絶縁コーティングが施こさ
れていることを特徴とするプローブボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991004002U JP2563156Y2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | プローブボード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991004002U JP2563156Y2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | プローブボード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04130440U JPH04130440U (ja) | 1992-11-30 |
| JP2563156Y2 true JP2563156Y2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=31898718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991004002U Expired - Fee Related JP2563156Y2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | プローブボード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2563156Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5918561B2 (ja) * | 2012-02-15 | 2016-05-18 | エス・ブイ・プローブ・プライベート・リミテッドＳｖ Ｐｒｏｂｅ Ｐｔｅ Ｌｔｄ． | プローブカード及びプローブカードの製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6135709A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-20 | 高北農機株式会社 | マニアスプレツダ |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP1991004002U patent/JP2563156Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04130440U (ja) | 1992-11-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971007 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |