JP5918561B2 - プローブカード及びプローブカードの製造方法 - Google Patents
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Claims (4)
- 入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルと固定接続されて延伸し、前記出力側に近づくと別のプローブ針との間隔が狭くなるプローブ針と、
複数の前記プローブ針の前記出力側を互いに固定する固定樹脂部と、
前記同軸ケーブルの前記出力側端と前記固定樹脂部の入力側端までの間について前記プローブ針を被覆し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい同軸管と、
を備え、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを有し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい第1同軸管と、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有し、前記第1同軸管よりも径が小さい第2同軸管と、
を含むことを特徴とするプローブカード。 - 入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルと接続されて延伸し、前記出力側に近づくと別のプローブ針との間隔が狭くなるプローブ針と、
前記プローブ針を被覆し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい同軸管と、
を備え、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを有し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい第1同軸管と、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有し、前記第1同軸管よりも径が小さい第2同軸管と、
を含むプローブカードの製造方法であって、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する際に、前記第1同軸管が前記第2同軸管を被覆するようにスライドする工程と、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続して前記接続部を形成する工程と、
前記第1同軸管が前記接続部を被覆するようにスライドする工程と、
を備えることを特徴とするプローブカードの製造方法。 - 入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルと固定接続されて延伸し、前記出力側に近づくと別のプローブ針との間隔が狭くなるプローブ針と、
複数の前記プローブ針の前記出力側を互いに固定する固定樹脂部と、
前記同軸ケーブルの前記出力側端と前記固定樹脂部の入力側端までの間について前記プローブ針を被覆し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい同軸管と、
前記同軸ケーブルよりも径が大きい第1同軸管と、
を備え、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記第1同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを含み、
前記同軸管は、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有する第2同軸管を含むことを特徴とするプローブカード。 - 入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルと接続されて延伸し、前記出力側に近づくと別のプローブ針との間隔が狭くなるプローブ針と、
前記プローブ針を被覆し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい同軸管と、
前記同軸ケーブルよりも径が大きい第1同軸管と、
を備え、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記第1同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを含み、
前記同軸管は、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有する第2同軸管を含むプローブカードの製造方法であって、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する際に、前記第1同軸管が前記第2同軸管を被覆するようにスライドする工程と、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続して前記接続部を形成する工程と、
前記第1同軸管が前記接続部を被覆するようにスライドする工程と、
を備えることを特徴とするプローブカードの製造方法。
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