JP2013167503A - プローブカード及びプローブカードの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード1は、入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブル3と、同軸ケーブル3と接続されて延伸し、出力側に近づくと別のプローブ針4との間隔が狭くなるプローブ針4と、プローブ針4を被覆し、同軸ケーブル3よりも径が小さい同軸管6と、を備える。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルと接続されて延伸し、前記出力側に近づくと別のプローブ針との間隔が狭くなるプローブ針と、
前記プローブ針を被覆し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい同軸管と、
を備えることを特徴とするプローブカード。 - 請求項1に記載のプローブカードにおいて、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを有し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい第1同軸管と、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有し、前記第1同軸管よりも径が小さい第2同軸管と、
を含むことを特徴とするプローブカード。 - 入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルと接続されて延伸し、前記出力側に近づくと別のプローブ針との間隔が狭くなるプローブ針と、
前記プローブ針を被覆し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい同軸管と、
を備え、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを有し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい第1同軸管と、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有し、前記第1同軸管よりも径が小さい第2同軸管と、
を含むプローブカードの製造方法であって、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する際に、前記第1同軸管が前記第2同軸管を被覆するようにスライドする工程と、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続して前記接続部を形成する工程と、
前記第1同軸管が前記接続部を被覆するようにスライドする工程と、
を備えることを特徴とするプローブカードの製造方法。 - 請求項1に記載のプローブカードにおいて、
前記同軸ケーブルよりも径が大きい第1同軸管をさらに備え、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記第1同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを含み、
前記同軸管は、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有する第2同軸管を含むことを特徴とするプローブカード。 - 入力側から出力側に向かって延伸する同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルと接続されて延伸し、前記出力側に近づくと別のプローブ針との間隔が狭くなるプローブ針と、
前記プローブ針を被覆し、前記同軸ケーブルよりも径が小さい同軸管と、
前記同軸ケーブルよりも径が大きい第1同軸管と、
を備え、
前記同軸ケーブルは、
内部導体と、
前記内部導体を被覆するケーブル用絶縁体と、
前記ケーブル用絶縁体を被覆する外部導体と、
前記外部導体を被覆する保護被覆と、
を含み、
前記第1同軸管は、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する接続部を被覆する第1絶縁体と、前記第1絶縁体を被覆する第1銅管とを含み、
前記同軸管は、
前記第1同軸管と前記出力側との間に設けられ、前記プローブ針を被覆する第2絶縁体と、前記第2絶縁体を被覆する第2銅管とを有する第2同軸管を含むプローブカードの製造方法であって、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続する際に、前記第1同軸管が前記第2同軸管を被覆するようにスライドする工程と、
前記同軸ケーブルの前記内部導体と前記プローブ針とを接続して前記接続部を形成する工程と、
前記第1同軸管が前記接続部を被覆するようにスライドする工程と、
を備えることを特徴とするプローブカードの製造方法。
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