JP5233380B2 - 電界検知プローブ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、本方式では配線の一本一本が生成する電磁界を推定することは難しく、シミュレーションの検証への適用は困難である。
図1は、本願発明の実施の形態の電界検知プローブによるノイズ探査測定方法の説明図であり、電界検知プローブ1を、配線3,4を形成したプリント配線基板2のx方向及びy方向に非接触で走査して、配線3,4の表面から放出される電磁界ノイズのz成分のみを高分解能に計測する。
また、同一径部13の後端部には、内部導体14が充填されていない空洞部16があり、この空洞部16が接続ケーブル20の芯線を挿入する結合部となる。
この場合、溶融したインジウムをガラス管11内に押圧もしくは引圧にて導入するが、或いは、ガラス管11内にアルミニュム細線を挿入したのち、真空中で加熱してAlを溶融させてガラス管11内に密に充填する。
また、外部導体15の素材は任意であるが、真空蒸着、スパッタリングや無電解めっきによる付着が容易である金属が望ましく、例えば、Auやニッケルを用いる。
また、電界検知プローブ針部10の外部導体15は、接続ケーブル20の外部導体23と電気的に接続される。
まず、図4(a)に示すように、例えば、内径が100μmのホウケイ酸ガラスからなる中空のガラス管31の一部を軟化点以上、例えば、850℃に加熱した状態で鉛直方向に引っ張ることにより加熱部を延伸して両テーパ状の径細部32を形成する。
このガラスキャピラリー33を適当な長さ、例えば、150mmになるように後端部を切断して中空の先細り先端部34と中空の同一径部35となるガラスキャピラリー33とする。
この時、同一径部35の後端部が、例えば、5mmだけ中空のままになるように注入し、この中空部を芯線を挿入する空洞部(図示は省略)とする。
まず、図5(a)に示すように、例えば、内径が100μmのホウケイ酸ガラスからなる中空のガラス管41の内部に、直径が100μmより若干細いAl細線42を挿入する。
なお、切断時にはAl43は溶融した状態であるので、ガラスキャピラリー45の形状に応じてAl43が密に充填された状態となって内部導体48となる。
このガラスキャピラリー45を適当な長さ、例えば、150mmになるように後端部を切断して先細り先端部46と同一径部47で構成されるガラスキャピラリー45とする。
なお、物理的成膜方法を用いる場合には、ガラスキャピラリーを蒸着源に対して回転させながら成膜すれば良い。
或いは、より厚い外部導体が望ましい場合には、無電解めっき法によりメッキシード層を形成したのち、電解めっきを行っても良い。
(付記1) 測定対象物の近傍を走査し、不要電磁波の発生源を特定する電界検知プローブであって、先細り先端部を有する中空管と、前記中空管の内部にその先端部が中空管の先端部から突出しないように充填された導電性物質と、前記中空管の外壁面を被覆する導電性物質とからなる電界検知部を備えた電界検知プローブ。
(付記2) 前記中空管の後端部が中空部となっており、前記中空部にセミリジッド型の同軸ケーブルの芯線を前記中空管の内部に充填された導電性物質と接触するように挿入した付記1に記載の電界検知プローブ。
(付記3) 前記中空管が熱可塑性物質で構成され、且つ、前記中空管の内部に充填された導電性物質が前記中空管の軟化点以下の融点を有する付記1または付記2に記載の電界検知プローブ。
(付記4) 前記中空管の外壁面を被覆する導電性物質を短絡させ、前記中空管の内部に充填された導電性物質を電気的に遮蔽する付記1乃至付記3のいずれか1に記載の電界検知プローブ。
(付記5) 熱可塑性物質からなる中空管の一部を加熱した状態で延伸により細径化した後に切断して先細り先端部を有する中空管を形成する工程と、前記先細り先端部を有する中空管の後端部から前記中空管の内部に溶融した導電性物質を充填する工程と、前記中空管の外壁面を導電性物質で被覆する工程と、前記中空管の先端部を研磨する工程とを有する電界検知プローブの製造方法。
(付記6) 熱可塑性物質からなる中空管の内部に中空管の軟化点以下の融点を有する線状導電性物質を挿入する工程と、前記挿入した線状導電性物質を軟化点以下且つ線状導電体物質の融点以上に加熱して溶融させ、前記溶融した導電性物質で前記中空管の内部を充填する工程と、前記中空管の一部を加熱した状態で延伸により前記導電性物質が充填した状態で細径化した後に切断する工程と、前記中空管の外壁面を導電性物質で被覆する工程と、前記中空管の先端部を研磨する工程とを有する電界検知プローブの製造方法。
2 プリント配線基板
3,4 配線
5 計測器
10 電界検知プローブ針部
11 ガラス管
12 先細り先端部
13 同一径部
14 内部導体
15 外部導体
16 空洞部
20 接続ケーブル
21 芯線
22 絶縁体
23 外部導体
24 シース
31,41 ガラス管
32,44 径細部
33,45 ガラスキャピラリー
34,46 先細り先端部
35,47 同一径部
36,48 内部導体
37,49 外部導体
42 Al細線
43 Al
Claims (5)
- 測定対象物の近傍を走査し、不要電磁波の発生源を特定する電界検知プローブであって、
先細り先端部を有する中空管と、
前記中空管の内部にその先端部が中空管の先端部から突出しないように充填された導電性物質と、
前記中空管の外壁面を被覆する導電性物質と
からなる電界検知部を備えた電界検知プローブ。 - 前記中空管の後端部が中空部となっており、前記中空部にセミリジッド型の同軸ケーブルの芯線を前記中空管の内部に充填された導電性物質と接触するように挿入した請求項1に記載の電界検知プローブ。
- 前記中空管が熱可塑性物質で構成され、且つ、前記中空管の内部に充填された導電性物質が前記中空管の軟化点以下の融点を有する請求項1または請求項2に記載の電界検知プローブ。
- 熱可塑性物質からなる中空管の一部を加熱した状態で延伸により細径化した後に切断して先細り先端部を有する中空管を形成する工程と、
前記先細り先端部を有する中空管の後端部から前記中空管の内部に溶融した導電性物質を充填する工程と、
前記中空管の外壁面を導電性物質で被覆する工程と、前記中空管の先端部を研磨する工程と
を有する電界検知プローブの製造方法。 - 熱可塑性物質からなる中空管の内部に中空管の軟化点以下の融点を有する線状導電性物質を挿入する工程と、
前記挿入した線状導電性物質を軟化点以下且つ線状導電体物質の融点以上に加熱して溶融させ、前記溶融した導電性物質で前記中空管の内部を充填する工程と、
前記中空管の一部を加熱した状態で延伸により前記導電性物質が充填した状態で細径化した後に切断する工程と、
前記中空管の外壁面を導電性物質で被覆する工程と、前記中空管の先端部を研磨する工程と
を有する電界検知プローブの製造方法。
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