JPS62179125A - インタ−フエイス回路付プロ−ブ・カ−ド - Google Patents
インタ−フエイス回路付プロ−ブ・カ−ドInfo
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- JPS62179125A JPS62179125A JP61021053A JP2105386A JPS62179125A JP S62179125 A JPS62179125 A JP S62179125A JP 61021053 A JP61021053 A JP 61021053A JP 2105386 A JP2105386 A JP 2105386A JP S62179125 A JPS62179125 A JP S62179125A
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- Japan
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- circuit
- probe
- coaxial cable
- impedance
- interface circuit
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Links
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はプローブ・カードに関し、特に詳しくは、絶縁
基板上に形成される電流路にインターフェイス回路を設
けた、インターフェイス回路付プローブ・カードに関す
る。
基板上に形成される電流路にインターフェイス回路を設
けた、インターフェイス回路付プローブ・カードに関す
る。
〈従来技術〉
例えば半導体ウェハー上に形成された、リード線未装着
状態にある集積回路の特性を検査する場合、対象集積回
路と、外部に準備されたテスターと呼ばれる１１定装置
との間の電気接続には、集不１１回路上の端子部に接触
させる探針と、その探針に電気接続を有する電路とが絶
縁基板上に配設されてなるプローブ・カードが一般に用
いられる。
状態にある集積回路の特性を検査する場合、対象集積回
路と、外部に準備されたテスターと呼ばれる１１定装置
との間の電気接続には、集不１１回路上の端子部に接触
させる探針と、その探針に電気接続を有する電路とが絶
縁基板上に配設されてなるプローブ・カードが一般に用
いられる。
第２図は、このような従来のプローブ・カートの一例の
断面を示す。絶縁基板２１の中央に設けた開口部２２の
まわりに多数の探針２５が、合成樹脂製接着剤２４によ
って探針支持リング２３に固着支持され、放射状に配設
されている。これら探針２５の先端部２５ａは対象集頂
回路上の端子配列パターンに対応した配列を有し、各探
針の根元の部分は絶縁基板２１にプリント配線されたリ
ード回路２７にハンダ２６によって電気接続されている
。各リード回路２７は絶縁基板２１の周縁部（図示せず
）に・おいて、端子またはソケットを介して測定装置に
電気接続されるようになっている。以上のようなプロー
ブ・カードの構成において、探針２５の先端部２５ａを
集積回路上の対応する端子部に接触させることにより、
集積回路と測定装置の間に電気接続を実現することがで
きる。
断面を示す。絶縁基板２１の中央に設けた開口部２２の
まわりに多数の探針２５が、合成樹脂製接着剤２４によ
って探針支持リング２３に固着支持され、放射状に配設
されている。これら探針２５の先端部２５ａは対象集頂
回路上の端子配列パターンに対応した配列を有し、各探
針の根元の部分は絶縁基板２１にプリント配線されたリ
ード回路２７にハンダ２６によって電気接続されている
。各リード回路２７は絶縁基板２１の周縁部（図示せず
）に・おいて、端子またはソケットを介して測定装置に
電気接続されるようになっている。以上のようなプロー
ブ・カードの構成において、探針２５の先端部２５ａを
集積回路上の対応する端子部に接触させることにより、
集積回路と測定装置の間に電気接続を実現することがで
きる。
なお、基板中央の開口２２は、集積回路の端子部と探針
の先端２５ａとの間の接触状況を基板上方より監視・確
認するために設けられている。
の先端２５ａとの間の接触状況を基板上方より監視・確
認するために設けられている。
ところで上記のようなプローブ・カードでは、取り扱う
電気信号の周波数が高くなると、探針１５とプリント配
線によるリード回路２７から成る各電路間の静電容量や
、ハンダ付部２６における信号波の反射等が無視できな
くなり、ＭＨｚオーダ以上の高周波信号を処理する集積
回路の特性検査には使用できなくなる。このような場合
には、例えば、本発明の出願が先に実願昭５９−６９０
２及び同５９−２６５７６において提案しているような
、探針部とリード回路部に同軸ケーブルを用いたプロー
ブ・カードが用いられる。
電気信号の周波数が高くなると、探針１５とプリント配
線によるリード回路２７から成る各電路間の静電容量や
、ハンダ付部２６における信号波の反射等が無視できな
くなり、ＭＨｚオーダ以上の高周波信号を処理する集積
回路の特性検査には使用できなくなる。このような場合
には、例えば、本発明の出願が先に実願昭５９−６９０
２及び同５９−２６５７６において提案しているような
、探針部とリード回路部に同軸ケーブルを用いたプロー
ブ・カードが用いられる。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところで第２図に示したようなプローブ・カードは勿論
のこと、同軸ケーブルを用いたプローブ・カードにおい
ても、取り扱う・高周波の周波数が更に高くなり、プロ
ーブ・カードと外部測定装置間の電気接続部における信
号の反射や、検査すべき集積回路と測定装置間の入出力
インピーダンスの整合状態が問題になることがある。ま
た、集積回路および測定回路のノイズ指数等の条件によ
っては、集積回路端子部のできるだけ近傍で、入出力イ
ンピーダンスの変換を行う必要が生ずる。
のこと、同軸ケーブルを用いたプローブ・カードにおい
ても、取り扱う・高周波の周波数が更に高くなり、プロ
ーブ・カードと外部測定装置間の電気接続部における信
号の反射や、検査すべき集積回路と測定装置間の入出力
インピーダンスの整合状態が問題になることがある。ま
た、集積回路および測定回路のノイズ指数等の条件によ
っては、集積回路端子部のできるだけ近傍で、入出力イ
ンピーダンスの変換を行う必要が生ずる。
本発明は、従来技術によるプローブ・カードでは対処し
得ない上記のような諸問題を解決する。
得ない上記のような諸問題を解決する。
く問題点を解決するための手段〉
以上の問題点を解決するため本発明によるプローブ・カ
ードにおいては、絶縁基板上に設けられた、探針部とリ
ード回路部より成る複数の電路のうち、少なくともそれ
らの１つにおいて、探針部に同軸ケーブルを使用し、か
つ、リード回路部にインターフェイス回路を設けている
。
ードにおいては、絶縁基板上に設けられた、探針部とリ
ード回路部より成る複数の電路のうち、少なくともそれ
らの１つにおいて、探針部に同軸ケーブルを使用し、か
つ、リード回路部にインターフェイス回路を設けている
。
く作用〉
上記インターフェイス回路に目的に応じた回路構成をほ
どこすことにより、同回路が、プローブ・カード上の電
路内における信号波の反射を抑止し、また、検査対象集
積回路と測定装置間における信号伝達系のインピーダン
スを最適値に保つことを可能にする。
どこすことにより、同回路が、プローブ・カード上の電
路内における信号波の反射を抑止し、また、検査対象集
積回路と測定装置間における信号伝達系のインピーダン
スを最適値に保つことを可能にする。
〈実施例〉
以下に本発明の実施例を第１図を用いて説明する。
第１図は本発明実施例の構成を示す部分切欠斜視図であ
る。図かられかるように、本実施例においても絶縁基板
１と探針支持リング３の部分は従来技術によるプローブ
・カードの場合と同様な構成を有する。しかし、そこに
配設された複数の電路の少なくとも１つは、同軸ケーブ
ル５を用いた探針部と、基板ｌに垂直に立てられたブレ
ード状回路保持板７に取り付けられているインターフェ
イス回路６と、この回路を外部の測定装置に接続するた
めのケーブルコネクタ８で構成されている。
る。図かられかるように、本実施例においても絶縁基板
１と探針支持リング３の部分は従来技術によるプローブ
・カードの場合と同様な構成を有する。しかし、そこに
配設された複数の電路の少なくとも１つは、同軸ケーブ
ル５を用いた探針部と、基板ｌに垂直に立てられたブレ
ード状回路保持板７に取り付けられているインターフェ
イス回路６と、この回路を外部の測定装置に接続するた
めのケーブルコネクタ８で構成されている。
集積回路の端子に接触させるべき探針部先端５ａには同
軸ケーブル５の芯線の先端が使用されており、そのため
、芯線にはタングステン線や、銅ニツケル合金線のよう
な、適当な硬度と弾性を存する材料を用いている。この
外、電源回路や、単にシールドを要するだけの回路等を
構成する電路には、従来技術によるプローブ・カードと
同じように、弾力を有する金属ワイヤ製の探針９と、基
板１の裏面にプリント配線されたリード回路部分（図示
せず）から成る電路や、探針部とリード回路部が同軸ケ
ーブル１１で一体に形成された電路が設けられている。
軸ケーブル５の芯線の先端が使用されており、そのため
、芯線にはタングステン線や、銅ニツケル合金線のよう
な、適当な硬度と弾性を存する材料を用いている。この
外、電源回路や、単にシールドを要するだけの回路等を
構成する電路には、従来技術によるプローブ・カードと
同じように、弾力を有する金属ワイヤ製の探針９と、基
板１の裏面にプリント配線されたリード回路部分（図示
せず）から成る電路や、探針部とリード回路部が同軸ケ
ーブル１１で一体に形成された電路が設けられている。
なお、基板１の周縁部に設けられている端子１０および
ケーブル・コネクタ■２は、それぞれ、探針９および同
軸ケーブル１１と電気接続を有している。
ケーブル・コネクタ■２は、それぞれ、探針９および同
軸ケーブル１１と電気接続を有している。
本実施例の以上のような構成において、検査対象集積回
路のある特定の信号出力端子と、それに係わる測定装置
側の信号入力端子との間に、例えばインピーダンス整合
を実現したい場合には、探針部を形成する同軸ケーブル
５に集留回路側の出力インピーダンスＺｏに等しい特性
インピーダンスを有する同軸ケーブルを用い、インター
フェイス回路６を、入力インピーダンスがＺｏで、出力
インピーダンスが測定装置側の入力インピーダンスＺｉ
に等しいインピーダンス変換回路として構成し、その出
力とケーブル・コネクタ８を結ぶ線路（図示せず）に特
性インピーダンスＺｉの同軸ケーブルを用いればよい。
路のある特定の信号出力端子と、それに係わる測定装置
側の信号入力端子との間に、例えばインピーダンス整合
を実現したい場合には、探針部を形成する同軸ケーブル
５に集留回路側の出力インピーダンスＺｏに等しい特性
インピーダンスを有する同軸ケーブルを用い、インター
フェイス回路６を、入力インピーダンスがＺｏで、出力
インピーダンスが測定装置側の入力インピーダンスＺｉ
に等しいインピーダンス変換回路として構成し、その出
力とケーブル・コネクタ８を結ぶ線路（図示せず）に特
性インピーダンスＺｉの同軸ケーブルを用いればよい。
この場合ケーブル・コネクタ８と測定装置入力端子を結
ぶフレキシブルな同軸ケーブルの特性インピーダンスも
Ｚｉとすべきは勿論である。
ぶフレキシブルな同軸ケーブルの特性インピーダンスも
Ｚｉとすべきは勿論である。
その他本発明は、測定条件に応じて上記インターフェイ
ス回路を、増幅回路、信号減衰回路、あるいは周波数変
換回路など、任意の回路に構成して実施できるのは勿論
である。
ス回路を、増幅回路、信号減衰回路、あるいは周波数変
換回路など、任意の回路に構成して実施できるのは勿論
である。
〈発明の効果〉
以上の説明かられかるように、本発明によれば、検査対
象集積回路と測定装置を結ぶ回路系の入出力インピーダ
ンスを必要に応じて任怠に変換することができ、同回路
系における信号の反射を事実上完全に防止することが可
能となるだけでなく、インターフェイス回路を適当に構
成することによって、プローブ・カード上で信号の増幅
および減衰を行うこともできる。
象集積回路と測定装置を結ぶ回路系の入出力インピーダ
ンスを必要に応じて任怠に変換することができ、同回路
系における信号の反射を事実上完全に防止することが可
能となるだけでなく、インターフェイス回路を適当に構
成することによって、プローブ・カード上で信号の増幅
および減衰を行うこともできる。
第１図は本発明実施例の構成を示す部分切欠斜視図であ
る。第２図は従来技術によるプローブ・カードの構成を
示す断面図である。 １・一基板、 ５−探針部を構成する同軸ケーブル５
ａ・−同軸ケーブル５の芯線より成る探針先端部６・−
・インターフェイス回路（リード回路に当たる）８・−
ケーブル・コネクタ
る。第２図は従来技術によるプローブ・カードの構成を
示す断面図である。 １・一基板、 ５−探針部を構成する同軸ケーブル５
ａ・−同軸ケーブル５の芯線より成る探針先端部６・−
・インターフェイス回路（リード回路に当たる）８・−
ケーブル・コネクタ
Claims (2)
- （１）探針と、この探針に電気接続を有するリード回路
で構成された複数個の電流入出力電路が共通の絶縁基板
に装着されて成り、リード線未装着の状態で集積回路を
外部回路に電気接続するためのプローブ・カードであっ
て、上記複数個の電流入出力電路の少なくとも１つにお
いて、上記探針に同軸ケーブルの芯線が用いられ、かつ
、上記リード回路部に入出力インターフェイス回路が設
けられていることを特徴とする、インターフェイス回路
付プローブ・カード。 - （２）上記複数個の電流入出力電路のうち、リード回路
にインターフェイス回路が設けられていない電流入出力
電路の少なくとも１つにおいて、上記探針に同軸ケーブ
ルの芯線が用いられ、かつ、上記リード回路に、芯線を
探針に用いた上記同軸ケーブルと一体に形成された同軸
ケーブルが用いられていることを特徴とする、特許請求
の範囲第１項記載のインターフェイス回路付プローブ・
カード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61021053A JPS62179125A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | インタ−フエイス回路付プロ−ブ・カ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61021053A JPS62179125A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | インタ−フエイス回路付プロ−ブ・カ−ド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62179125A true JPS62179125A (ja) | 1987-08-06 |
Family
ID=12044166
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61021053A Pending JPS62179125A (ja) | 1986-01-31 | 1986-01-31 | インタ−フエイス回路付プロ−ブ・カ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62179125A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6353477A (ja) * | 1986-08-21 | 1988-03-07 | テクトロニックス・インコ−ポレイテッド | プロ−ブ |
| US5508630A (en) * | 1994-09-09 | 1996-04-16 | Board Of Regents, University Of Texas Systems | Probe having a power detector for use with microwave or millimeter wave device |
| CN110346630A (zh) * | 2018-04-03 | 2019-10-18 | 日置电机株式会社 | 电流检测装置和电流测定装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149688A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS53102379A (en) * | 1977-02-19 | 1978-09-06 | Sekisui Plastics | Method and die for making foamed resin sheet with stripe pattern |
| JPS6047432A (ja) * | 1983-08-26 | 1985-03-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 同軸高周波プロ−プ |
-
1986
- 1986-01-31 JP JP61021053A patent/JPS62179125A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5149688A (ja) * | 1974-10-25 | 1976-04-30 | Seiko Instr & Electronics | |
| JPS53102379A (en) * | 1977-02-19 | 1978-09-06 | Sekisui Plastics | Method and die for making foamed resin sheet with stripe pattern |
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| JPH0577270B2 (ja) * | 1986-08-21 | 1993-10-26 | Tektronix Inc | |
| US5508630A (en) * | 1994-09-09 | 1996-04-16 | Board Of Regents, University Of Texas Systems | Probe having a power detector for use with microwave or millimeter wave device |
| CN110346630A (zh) * | 2018-04-03 | 2019-10-18 | 日置电机株式会社 | 电流检测装置和电流测定装置 |
| JP2019184270A (ja) * | 2018-04-03 | 2019-10-24 | 日置電機株式会社 | 電流検出装置および電流測定装置 |
| JP2023024575A (ja) * | 2018-04-03 | 2023-02-16 | 日置電機株式会社 | 電流検出装置および電流測定装置 |
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