JPS6171367A - 固定ブロ−ブカ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体装置の電気特性試験に用いる固定プロ
ーブカードに関する。特に測定に係わる信号が高周波域
に達する場合の多重反射現象を防ぎ、信号の伝送特性を
改良し、高周波半導体装置、特に集積回路ウェハの試験
検査に使用する高密度の固定プローブカードに関する。

従来の技術 上記分野における従来技術として例示す扛ば昭和５７年
３月５日付は実公昭５７−１）４１４号公報「高周波プ
ローブカード」があるが、このプローブカードでは、プ
リント配線基板の上面に同軸ケーブルを経てプローブ針
が配列さｎ１プリント配線基板の下面に同軸ケーブルを
経ないプローブ針が配列さｎ、各プローブ針露出部分の
傾斜、長さ、形状が異なるために高周波伝送特性の整合
が困難でめった。また製作上にもプローブ先端位置の精
度に問題があり、特に試験される集積回路ウェハの電極
配置が複雑になるに従って一層その頑向が顕著になって
いる。

発明が解決しようとする問題点 従って、本発明は、こｎらの問題点を解決することを目
的とし、高周波信号に対する誤差の発生を防止して測定
精度を向上させ、またプローブの機械的強度を改良し、
プローブ−先端位置の精度を保持し、かつ製作の各易な
固定プローブカードを提供することにある。

問題点全解決するための手段 高周波信号に係わる同軸ケーブルと、低周波信号に係わ
るプローブ針とは、プリント基板に対して特に傾斜させ
ることなく、いずｎも基板平面に平行に配列するととも
に、各プローブ針の露出部分の長さ、形状、傾斜角度等
をできるだけ同一に近づけるとともに、しかも複雑化す
る被測定物の電極配置に均等の圧力で接触させることで
ある。

作用 本発明では、単に高周波特性全改良するために同軸ケー
ブル金使用するだけでなく、そのプローブ針の露出部分
の長さ、形状、傾斜角を整一に調整することによってイ
ンピーダンス整合全行なったものであり、更に本発明で
は、高周波用の同軸ケーブルと、低周波用の導電性プロ
ーブとをいずｎもプリント基板の下面に基板に対して平
行に固定させ、そｎぞｎのプローブ針の露出部分の角度
、寸法、形状を均一にして、インピーダンスの整合と、
機械的強度の改良と製作の容易とを達成するものである
。

実施例 以下、本発明の一実施例を示すプリント基板の下面図（
第１図）、およびプリント基板中心部の断面図（第２図
）を参照して説明する。なお、図示以外のプリント基板
の部分については、当業者周知であるから説明は省略す
る。

第１図は、プリント基板（１）に同軸ケーブル（２）と
導電性プローブ（３）とを組込んだ状態（プローブ数は
明示のため適当数を示す）を示す下面図（被測定物に面
する側）であって、同軸ケーブル（２）と導電性プロー
ブ（３）は、基板（１）中心開口（４）の周辺に放射状
に固定さｎｌそれぞｎの外端部は所要の測定回路に接続
するスルーホール（５）および（６）に半田づけさｎｌ
そｔぞｎの内端のプローブ針（７）および（８）は被測
定物の対応電極に対しほぼ直角に圧接する位置にそｎら
の針先を同一平面上に配列される。

なお、各プローブ先端の露出部分の長さ、形状、傾斜角
は第２図の断面図で分るように、同軸ケーブル群と導電
性プローブ群とのそｎぞｎにおいて均等に形成され、基
板中心開口（４）に向く同軸ケーブル（２）および導電
性プローブ（３）は１つＡ点において約４０〜５０下向
きに曲げらｎ、被測定物（ＩＩｌｌの電極に対しほぼ直
角に接触するように第２回目にＢ点において垂直下方に
曲げらｎている。

第１図において、αυは、導電性プローブ（３）全基板
下面に接着する杷緑性回脂でおり、α勾は同軸ケーブル
（２）全基板下面の接地リング（Ｌ２に接着する導電性
接着剤でりって、同軸ケーブル（２）の外部導体α島が
導電性接着剤α４によって接地リングα２に結合さｎて
いる。

次に、第２図の断面図を参照して、同軸ケーブル（２）
と導電性プローブ（３）とが、プリント基板（１）の中
心開口（４）に向って放射状に、かつ先端部以外を水平
に固着さｎｌまた各プローブ針（７１（８）はほぼ同一
の寸法、形状に屈曲されているので、高周波特性の整合
も容易であゃ、組立製作も簡単になることを例示的に説
明する。

同軸ケーブル（２）は、そのプローブ針先αつを被測定
物α臼の電極に接触するようにＡ点にお臂で下方に約４
５屈曲し、更に先端付近のＢ点において電極に向ってほ
ぼ垂直に曲げら詐る。同軸ケーブル（２）はその外部導
体α３を導電性接着剤α４″ｌｒ、用いて基板上の接地
リング０ｚに固着さｎ１ケーブルの他端は、基板のスル
ーホール（５）ヲ介して挿入さ扛た測定回路用同軸コネ
クタ翰の中心導体（ＩＤに半田づけさｎる。

また、低周波用の導電性プローブ（３）は、第２図の左
側に同軸ケーブル（２）の下側に例示したように同軸ケ
ーブル（２）に平行に、従ってプリント基板（１）の下
面に平行して絶縁性樹脂（ＬＤによって固着される。第
２図では、導電性プローブ（３）全同軸ケーブル（２）
の下方に重ねて接着して示さｔているが、第１図を見て
分るように、両プローブ（２＋　（３）は基板の同一の
半径位置を占めることはむしろ稀であることに注意され
たい。従って導電性プローブ（３）の内方端部を適当の
導電路α場に半田付接続することができる。この導電路
α樽はスルーホールαｊによって基板に固設さｎｌまた
前記の接地リングα２はスルーホール■によって基板に
固設さｎている。接地リング（Ｉ３の外方の導体リング
Ｑυ翰は接続通路用の導体である。

導電性プローブ（３）のプローブ針先（ハ）は、同軸プ
ローブ（２）の場合と同様に、Ａ点およびＢ点において
屈曲さｎ１露出部分は短かく、電極への接触精度をよく
し、顕微鏡による上方からの観察も確実に実施すること
が可能である。

なお、第１図および第２図では、同軸プローブと導電性
プローブとが重なる場合には、導電性プローブを下方に
配置したが、その上下関係を入れ換えても差支ないし、
また同軸プローブだけで層状に配列して高密度構造にす
ることも可能である。

発明の効果 以上のように、同軸ケーブルのプローブをプリント基板
の下面に平行して固定してプローブ針の長さ短縮し、傾
斜および形状を均一にすることによってインピーダンス
不整合の間ｍ＋解決し、また低周波用導電性プローブを
同軸ケーブルと層状に＄１）１ｊｌｉｌしたことによυ
高密度の針先位置の精度を向上することができた。

【図面の簡単な説明】 第１図は、本発明による固定プローブカードの下面中心
部分を示す平面図、第２図は、第１図■−ｎ線に沿うプ
リント基板中心部の断面図であるＣ１・・・プリント基
板、２・・・同軸ケーブル、３・・・導電性プローブ、
４・・・中心開口、５，６・・・スルーホ／’、７　＋
　８・・・プローブ針先、１ｏ・・・被測定物、１）・
・・絶縁性樹脂、１２・・・接地リング、１３・・・外
部導体、１４・・・導電性接着剤、１５・・・同軸プロ
ーブ針先、１６・・・同軸コネクタ、１７・・・同軸コ
ネクタ中心導体、１８・・・導電路、１９．２０・・・
スルーホール、２１．２２・・・接続用導体、２３・・
・導電性プローブ針先。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、集積回路ウェハの複数の電極に圧接して集積回路ウ
   ェハの電気特性を測定するための固定プローブカードで
   あつて、 （ａ）中心に開口（４）を有し、その周囲に接地リング
   （１２）と、複数の接続導体（１８）（２１）（２２）
   を有するプリント基板（１）と、 （ｂ）前記プリント基板（１）の前記接地リング（１２
   ）に導電性接着剤（１４）を介して前記プリント基板の
   下面に平行して前記開口（４）に向つて固着された複数
   個の同軸ケーブル（２）と、 （ｃ）前記プリント基板（１）の前記接地リング（１２
   ）または、前記同軸ケーブル（２）の下方に前記プリン
   ト基板の下面に平行して前記開口（４）に向つて絶縁性
   樹脂を介して固着された複数個の導電性プローブ（３）
   とを有し、 （ｄ）前記同軸ケーブル（２）の中心導体は、前記基板
   の中心開口（４）内に延長する部分を２箇所において下
   方に屈曲してその先端（１５）を被測定物（１０）の電
   極に圧接するようにしたプローブ針を画成し、 （ｅ）前記導電性プローブ（３）の中心導体は、前記基
   板の中心開口（４）内に延長する部分を２箇所において
   下方に屈曲してその先端（２３）を被測定物（１０）の
   電極に圧接するようにしたプローブ針を画成する ことを特徴とする固定プローブカード。 ２、前記同軸ケーブル（２）と前記導電性プローブ（３
   ）との前記プリント基板（１）に対する関係位置を入れ
   替えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   固定プローブカード。