JPS6047432A - 同軸高周波プロ−プ - Google Patents
同軸高周波プロ−プInfo
- Publication number
- JPS6047432A JPS6047432A JP15612283A JP15612283A JPS6047432A JP S6047432 A JPS6047432 A JP S6047432A JP 15612283 A JP15612283 A JP 15612283A JP 15612283 A JP15612283 A JP 15612283A JP S6047432 A JPS6047432 A JP S6047432A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coaxial
- probe
- conductor
- center conductor
- input signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は集積回路を作シっけた半導体ウェハの回路試験
に使用する高周波プローブに関するものである。
に使用する高周波プローブに関するものである。
技術の背景
従来の高周波プローブは、第１図に示すように一般に細
径で、同軸の外部導体１が銅あるいはその他の金属でで
きた、いわゆるリジッドケーブル１′を適当な長さとし
、一方の切断端に同軸コネクタ２を、他方の端は中心導
体３を外部導体１よシ適当長延長せしめ、または中心導
体３に異種細線を物理的、電気的に接続し、かつ該中心
導体６または細線の先端部６をテストしようとする半導
体ウェハ４上に設けられた外部接触用端子のパッド５に
点接触可とするよう鋭い形状に加工されている。
径で、同軸の外部導体１が銅あるいはその他の金属でで
きた、いわゆるリジッドケーブル１′を適当な長さとし
、一方の切断端に同軸コネクタ２を、他方の端は中心導
体３を外部導体１よシ適当長延長せしめ、または中心導
体３に異種細線を物理的、電気的に接続し、かつ該中心
導体６または細線の先端部６をテストしようとする半導
体ウェハ４上に設けられた外部接触用端子のパッド５に
点接触可とするよう鋭い形状に加工されている。
従来技術と問題点
従来の高周波プローブは、同軸を用いることにより外部
雑音をシールドしているので、通常の単なる一本線のプ
ローブにくらべ、高周波特性は良いものの、唯一本のケ
ーブルでおるために、入力あるいは出力の単機能を果す
のみであり、入力信号に対する終端、モニタのための端
子は個々に設ける必要があった。すなわち入力信号に対
する終端はプローブ先端部の同軸外部導体１と中心導体
３の間にチップ抵抗を接続しなければなら力い、またモ
ニタのだめの端子は外部接続用のコネクタ２の部分で分
枝してモニタ信号を取らねばならない、またプローブ先
端部と該分枝部の間には取扱いを可能とする物理長が必
要でおり、この長さが。
雑音をシールドしているので、通常の単なる一本線のプ
ローブにくらべ、高周波特性は良いものの、唯一本のケ
ーブルでおるために、入力あるいは出力の単機能を果す
のみであり、入力信号に対する終端、モニタのための端
子は個々に設ける必要があった。すなわち入力信号に対
する終端はプローブ先端部の同軸外部導体１と中心導体
３の間にチップ抵抗を接続しなければなら力い、またモ
ニタのだめの端子は外部接続用のコネクタ２の部分で分
枝してモニタ信号を取らねばならない、またプローブ先
端部と該分枝部の間には取扱いを可能とする物理長が必
要でおり、この長さが。
モニタ波形を歪ませるという欠点を有している。
発明の目的
本発明はこれらの欠点を除去するため、入力信号終端と
モニタ用端子の働きを兼ねそなえた新たな同軸プローブ
を別個に設けたもので以下図面について詳細に説明する
。
モニタ用端子の働きを兼ねそなえた新たな同軸プローブ
を別個に設けたもので以下図面について詳細に説明する
。
発明の実施例
第２図は本発明の実施例であって、１１および１２はそ
れぞれ同軸の外部導体、１３．１４はそれぞれの同軸に
接続された外部接続用コネクタ、１５゜１６はそれぞれ
の同軸の中心導体そのものまたは中心導体に電気的かつ
物理的に接続された金属細線であり、１７は本発明の同
軸高周波プローブを用いてオンウェハテストを実施する
外部接触用パッドを有する半導体ウェハである。このう
ち同軸の外部導体１１と１２および同軸の中心導体１５
と１６は各々相互に可能な限り先端部側において短距離
で電気的に接続されている。従って電気的には外部導体
、コネクタ、中心導体の１１．１３．１５から成る同軸
と外部導体、コネクタ、中心導体の１２゜１４．１６か
ら成る同軸は電気的に全く同一の機能を有するものであ
り、いずれを入力信号端子、入力信号終端あるいはモニ
タ端子として用いても差異はない。なお１８．１９は中
心導体の先端部。
れぞれ同軸の外部導体、１３．１４はそれぞれの同軸に
接続された外部接続用コネクタ、１５゜１６はそれぞれ
の同軸の中心導体そのものまたは中心導体に電気的かつ
物理的に接続された金属細線であり、１７は本発明の同
軸高周波プローブを用いてオンウェハテストを実施する
外部接触用パッドを有する半導体ウェハである。このう
ち同軸の外部導体１１と１２および同軸の中心導体１５
と１６は各々相互に可能な限り先端部側において短距離
で電気的に接続されている。従って電気的には外部導体
、コネクタ、中心導体の１１．１３．１５から成る同軸
と外部導体、コネクタ、中心導体の１２゜１４．１６か
ら成る同軸は電気的に全く同一の機能を有するものであ
り、いずれを入力信号端子、入力信号終端あるいはモニ
タ端子として用いても差異はない。なお１８．１９は中
心導体の先端部。
次に本発明の詳細な説明する。例えば外部導体。
コネクタ、中心導体の１１．１３． ｉ５から成る同軸
に入力信号を印加し、外部導体、コネクタ、中心導体の
１２．１４．１６から成る同軸のコネクタ１４に入力信
号終端をする場合には、コネクタと一体化されているタ
ーミネ、−ジョンと呼ばれる終端抵抗を接続するし、入
力信号をモニタする場合には、該同軸と同一の特性イン
ピーダンスを有する同軸ケーブルおよび特性インピーダ
ンスと同一人力抵抗を有するモニタ装置によりモニタす
る。すなわち入力信号印加用同軸ではないもう一つの同
軸コネクタには終端抵抗か終端°抵抗と同一の入力抵抗
を有するモニタ装置が接続される。このような接続によ
υ本発明の同軸高周波プローブを用いることにより、入
力信号線ターミネーション終端、モニタ接続いづれかの
場合もプローブ近接位置で終端されるのと電気的に全く
同一であるため理想に近い状態で終端される。従って入
力信号の波形歪は生ぜず、高精度な測定が可能となる。
に入力信号を印加し、外部導体、コネクタ、中心導体の
１２．１４．１６から成る同軸のコネクタ１４に入力信
号終端をする場合には、コネクタと一体化されているタ
ーミネ、−ジョンと呼ばれる終端抵抗を接続するし、入
力信号をモニタする場合には、該同軸と同一の特性イン
ピーダンスを有する同軸ケーブルおよび特性インピーダ
ンスと同一人力抵抗を有するモニタ装置によりモニタす
る。すなわち入力信号印加用同軸ではないもう一つの同
軸コネクタには終端抵抗か終端°抵抗と同一の入力抵抗
を有するモニタ装置が接続される。このような接続によ
υ本発明の同軸高周波プローブを用いることにより、入
力信号線ターミネーション終端、モニタ接続いづれかの
場合もプローブ近接位置で終端されるのと電気的に全く
同一であるため理想に近い状態で終端される。従って入
力信号の波形歪は生ぜず、高精度な測定が可能となる。
また単なる入力信号終端と、モニタ装置接続は単なるコ
ネクタの接続換えによって行うので極めて容易である。
ネクタの接続換えによって行うので極めて容易である。
上記説明では円形同軸を対象として説明を行なつたが、
同一機能を有する、例えばマイクロストリップ、コープ
レーナ等の分布定数線路を用いても本発明の目的を達す
ることは明らかである。
同一機能を有する、例えばマイクロストリップ、コープ
レーナ等の分布定数線路を用いても本発明の目的を達す
ることは明らかである。
発明の詳細
な説明したように、本発明は入力信号終端あるいは入力
信号モニタ用同軸コネクタを有しているので、容易に入
力信号終端あるいは入力信号モニタが実施でき、また接
続換えが容易であシ、波形歪もなく高精度な測定を行い
うるという利点がある。
信号モニタ用同軸コネクタを有しているので、容易に入
力信号終端あるいは入力信号モニタが実施でき、また接
続換えが容易であシ、波形歪もなく高精度な測定を行い
うるという利点がある。
第１図は従来の同軸高周波プローブの構成と使用概念図
、第２図は本発明の同軸高周波プローブの構成と使用概
念図である。
、第２図は本発明の同軸高周波プローブの構成と使用概
念図である。
Claims (2)
- （１）オンウェハチェック用の同軸高周波グローブにお
いて、同一特性インピーダンスの外部導体および中心導
体からなる第１の同軸および第２の同軸のそれぞれの一
方の端部は外部接続用コネクタに接続し、他方の端部は
該外部導体よシ延長した該中心導体で終端し、該第１の
同軸および第２の同軸のそれぞれの外部導体は前記他方
の端部において密接して電気的に接続し、前記他方の端
部における前記第１の同軸の中心導体の先端部は前記第
２の同軸の中心導体の先端部に電気的に接続してなる同
軸高周波グローブ。 - （２）前記他方の端部における前記第１の中心導体の端
部は、前記第１および第２の両同軸の外部導体相互接続
端部の接続点を通る該第１および第２の両同軸の中心を
結ぶ直線に沿って該第２の同軸の中心導体に接続するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の同軸高周波
プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15612283A JPS6047432A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 同軸高周波プロ−プ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15612283A JPS6047432A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 同軸高周波プロ−プ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6047432A true JPS6047432A (ja) | 1985-03-14 |
| JPH0514229B2 JPH0514229B2 (ja) | 1993-02-24 |
Family
ID=15620798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15612283A Granted JPS6047432A (ja) | 1983-08-26 | 1983-08-26 | 同軸高周波プロ−プ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047432A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179125A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-06 | Nippon Denshi Zairyo Kk | インタ−フエイス回路付プロ−ブ・カ−ド |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5590861A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-09 | Fujitsu Ltd | High-frequency coaxial probe |
-
1983
- 1983-08-26 JP JP15612283A patent/JPS6047432A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5590861A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-09 | Fujitsu Ltd | High-frequency coaxial probe |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62179125A (ja) * | 1986-01-31 | 1987-08-06 | Nippon Denshi Zairyo Kk | インタ−フエイス回路付プロ−ブ・カ−ド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0514229B2 (ja) | 1993-02-24 |
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