JPH02124469A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
- Publication number
- JPH02124469A JPH02124469A JP27786188A JP27786188A JPH02124469A JP H02124469 A JPH02124469 A JP H02124469A JP 27786188 A JP27786188 A JP 27786188A JP 27786188 A JP27786188 A JP 27786188A JP H02124469 A JPH02124469 A JP H02124469A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- conductor
- conductors
- contact point
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 abstract description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 abstract description 2
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- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 abstract 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプローブカードに関し、特にその探針部の構造
に関するものである。
に関するものである。
従来のプローブカードの断面図を第２図（ａ）に、プロ
ーブ試験時の等価回路図を第２図（ｂ）に示す。
ーブ試験時の等価回路図を第２図（ｂ）に示す。
従来のプローブカードは、単一導体からなる探針を多数
、基板３の配線導体６にはんだ７で取付けた構造を有し
、配線導体は６ａ、６ｂの２本に分岐し、それぞれ端子
８ａ、８ｂに接続されている。８ａ、８ｂはそれぞれ中
継器２のセンスライン９ａ、フォースライン９ｂに接続
されている。
、基板３の配線導体６にはんだ７で取付けた構造を有し
、配線導体は６ａ、６ｂの２本に分岐し、それぞれ端子
８ａ、８ｂに接続されている。８ａ、８ｂはそれぞれ中
継器２のセンスライン９ａ、フォースライン９ｂに接続
されている。
つまり、配線導体６ａ、６ｂの接続点く分岐点）１０か
ケルビン接触点となっている。ケルビン接触点の先に探
針４が設けられていることになる−〔発明が解決しよう
とする課題〕 上述した従来のプローブカードは、ゲルビン接触点の先
に探針が設けられているので、探針の抵抗Δｒの補償が
なされていないことになり、測定誤差が生じる。
ケルビン接触点となっている。ケルビン接触点の先に探
針４が設けられていることになる−〔発明が解決しよう
とする課題〕 上述した従来のプローブカードは、ゲルビン接触点の先
に探針が設けられているので、探針の抵抗Δｒの補償が
なされていないことになり、測定誤差が生じる。
本発明の目的は、探針の抵抗による誤差を補償可能なプ
ローブカードを提供することにある。
ローブカードを提供することにある。
本発明のプローブカードは、フォースラインとしての第
１の導体とセンスラインとしての第２の導体のそれぞれ
の先端を接続し、その接続部をケルピン接触点及び被測
定物への接触部とする探針を備えているというものであ
る。
１の導体とセンスラインとしての第２の導体のそれぞれ
の先端を接続し、その接続部をケルピン接触点及び被測
定物への接触部とする探針を備えているというものであ
る。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す断面図、第１図
（ｂ）は１０一ブ試験時の等価回路図である。
（ｂ）は１０一ブ試験時の等価回路図である。
金めっきした鋼材からなる第１の導体１０４ａをテフロ
ンからなる絶縁体１０４ｂで被覆しその上から第一２の
導体１０４ｃで包んだ同軸状の探針１０４が基板１０３
に取付けられている。
ンからなる絶縁体１０４ｂで被覆しその上から第一２の
導体１０４ｃで包んだ同軸状の探針１０４が基板１０３
に取付けられている。
第１の導体１０４ａと第２の導体１０４Ｃは先端部で溶
接されている。第１の導体１０４ａと第２の導体１０４
ｃの他端にそれぞれ接続されている配線導体１０６ａ、
４０６ｂは、それぞれ端子１０８ａ、１０８ｂに接続さ
れている。従って、第１の導体１０４ａと第２の導体１
０４Ｃの接続点１１０をケルビン接触点とすることによ
り、探針１０４の抵抗による測定誤差はほとんどなくす
ことができる。
接されている。第１の導体１０４ａと第２の導体１０４
ｃの他端にそれぞれ接続されている配線導体１０６ａ、
４０６ｂは、それぞれ端子１０８ａ、１０８ｂに接続さ
れている。従って、第１の導体１０４ａと第２の導体１
０４Ｃの接続点１１０をケルビン接触点とすることによ
り、探針１０４の抵抗による測定誤差はほとんどなくす
ことができる。
なお、全ての探針をこのような同軸状にする必要はなく
、電源線のように大電流の流れるものだけを同軸状にし
てもよいのである。
、電源線のように大電流の流れるものだけを同軸状にし
てもよいのである。
以上説明したように本発明は、同軸状の探針を使用して
その先端をケルビン接触点とすることにより、探針自体
の抵抗による電圧降下を補償できるので、高精度のプロ
ーブ試験が可能となる効果がある。
その先端をケルビン接触点とすることにより、探針自体
の抵抗による電圧降下を補償できるので、高精度のプロ
ーブ試験が可能となる効果がある。
第１図（ａ）は本発明の一実施例を示す断面図、第１図
（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ’線拡大断面図、第１図
（Ｃ）は、一実施例を使用したプローブ試験時の等価回
路図、第２図（ａ）は従来例を示す断面図、第２図（ｂ
）は従来例を使用したプローブ試験時の等価回路図であ
る。 １．１０１・・・テストヘッド、２，１０２・・・中継
器、３，１０３・・・基板、４，１０４・・・探針、１
０４ａ・・・第１の導体、１０４ｂ・・・絶縁体、１０
４Ｃ・・・第２の導体、５．１０５・・・ウェーハ、６
，６ａ。 ６ｂ、１０６ａ、１０６ｂ・−配線導体、７，１０７・
・・はんだ、８ａ、８ｂ、１０・８ａ、１０８ｂ−・−
端子、９ ａ ＋ １０９ ａ ・”センスライン、
９ｂ、１０９ｂ・・・フォースライン、１０．１１０・
・・接続点、１１，１１１・・・電圧ホロワ回路、１２
，１１２・・・駆動回路。
（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ’線拡大断面図、第１図
（Ｃ）は、一実施例を使用したプローブ試験時の等価回
路図、第２図（ａ）は従来例を示す断面図、第２図（ｂ
）は従来例を使用したプローブ試験時の等価回路図であ
る。 １．１０１・・・テストヘッド、２，１０２・・・中継
器、３，１０３・・・基板、４，１０４・・・探針、１
０４ａ・・・第１の導体、１０４ｂ・・・絶縁体、１０
４Ｃ・・・第２の導体、５．１０５・・・ウェーハ、６
，６ａ。 ６ｂ、１０６ａ、１０６ｂ・−配線導体、７，１０７・
・・はんだ、８ａ、８ｂ、１０・８ａ、１０８ｂ−・−
端子、９ ａ ＋ １０９ ａ ・”センスライン、
９ｂ、１０９ｂ・・・フォースライン、１０．１１０・
・・接続点、１１，１１１・・・電圧ホロワ回路、１２
，１１２・・・駆動回路。
Claims (1)
- フォースラインとしての第１の導体とセンスラインと
しての第２の導体のそれぞれの先端を接続し、その接続
部をケルビン接触点及び被測定物への接触部とする探針
を備えていることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27786188A JPH02124469A (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27786188A JPH02124469A (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 | プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02124469A true JPH02124469A (ja) | 1990-05-11 |
Family
ID=17589310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27786188A Pending JPH02124469A (ja) | 1988-11-01 | 1988-11-01 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02124469A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6404213B2 (en) | 1999-01-19 | 2002-06-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe stylus |
| KR100795127B1 (ko) * | 2000-12-04 | 2008-01-17 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 웨이퍼 프로브 |
| US7355420B2 (en) | 2001-08-21 | 2008-04-08 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7420381B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-09-02 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| US7492172B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
-
1988
- 1988-11-01 JP JP27786188A patent/JPH02124469A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6404213B2 (en) | 1999-01-19 | 2002-06-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe stylus |
| US6529024B2 (en) | 1999-01-19 | 2003-03-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe stylus |
| KR100795127B1 (ko) * | 2000-12-04 | 2008-01-17 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 웨이퍼 프로브 |
| US7355420B2 (en) | 2001-08-21 | 2008-04-08 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7492175B2 (en) | 2001-08-21 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US7492172B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7420381B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-09-02 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| US8013623B2 (en) | 2004-09-13 | 2011-09-06 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
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