JPH0729497Y2 - 多ピンプローブ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、被測定物として例えば電子回路部品等の入出
力端子に接触させて電気特性や性能等を検査する際に用
いられる多ピンプローブに関するものである。

［従来の技術］ 例えば電子回路部品の入出力端子に接触させてその電気
特性を検査する場合、第２図（ａ），（ｂ）に示すプロ
ーブが用いられていた。

このプローブ20はタングステンよりなる丸棒部材の中途
位置が折曲され、その先端部が研磨により先細に成形さ
れて電子回路部品の入出力端子に所定の接触面積をもっ
て接触する針部14と、一方の面に信号導体15が形成され
るとともに、他方の面がアース導体16をなし、信号導体
15と導通するように針部14を固定する板状誘電体17とが
電子回路部品の入出力端子の数に対応して設けられ、各
板状誘電体17は電子回路部品の入出力端子の各位置に対
応して固定部材18に所定間隔を置いて固定されており、
電子回路部品の各特性検査を行なう際には、針部14の撓
みによって各入出力端子に対する接触荷重を得ていた。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来のプローブでは、被測定物
である電子回路部品の入出力端子と適切な接触荷重を得
るために針部14を長く形成して撓みを取っているが、針
部14が長いが故にインピーダンスに大きな乱れが生じ測
定波形を乱すという問題があった。

また、針部14の直径が太いことから先端部にテーパを付
けて各針部14を扇状に並べる必要があるため、多くの針
部14を高密度に実装することができなかった。

さらに、入出力端子との接触荷重は、針部14の撓みによ
り決まるため、針部14の加工精度が直接接触荷重に影響
していた。

しかしながらこの種のプローブの針部14は研磨、曲げ工
程を経て製造されるためバラツキが多く、従って接触荷
重にもバラツキがあった。

また、入出力端子に対しての位置合わせをはんだ付け作
業で行っていたため、非常に困難であった。また、使用
時に針部14が変形し位置ずれを起こしやすいため、測定
不良を招く虞があった。

そこで、本考案は上述した問題点に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、接点を小さく構成してインピー
ダンスの乱れを小さくでき、組合わせ後の調整を必要と
せず、位置ずれを起こさずに被測定物の電気特性や性能
等の検査が行なえ高密度実装が可能な多ピンプローブを
提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案による多ピンプローブ
は、信号導体５とアース導体６を有するプローブが複数
配設された多ピンプローブにおいて、 マイクロストリップ構造からなり、被測定物の検査面に
対して垂直に配設された接点部７を有する板状誘電体１
と、該板状誘電体の一部に固定されたガイドピン２と、
前記接点部と被測定物の検査面との接触時に前記検査面
に対して所定の圧力を加えるスプリング11と、前記ガイ
ドピンを摺動保持する取付穴９が形成されるているとと
もに、前記スプリングを保持する保持穴12が形成された
固定板４とを備えたことを特徴としている。

また、板状誘電体はコープレナー構造としてもよい。

さらに、信号導体を板状誘電体面上で折返し、この折返
した部分5aから板状誘電体の先端部1aに設けられた接点
部まで信号導体を形成してもよい。

［作用］ 被測定物の電気特性や性能等を検査するにあたって、板
状誘電体１の接点部７と被測定物の検査面とが接触する
と、板状誘電体１の一部に固定されたガイドピン２が固
定板４の取付穴９に沿って摺動し、この際、固定板４の
保持穴12に保持されたスプリング11によって接点部７の
検査面に対する荷重が得られる。

［実施例］ 第１図（ａ）は本考案による多ピンプローブの一実施例
を示す側面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のA-A線断
面図、第１図（ｃ）は同プローブの正面図である。

この実施例による多ピンプローブは、被測定物として例
えばウェハ状の電子回路部品等のように複数配設された
入出力端子に接触させて電気特性や性能等の検査を行な
っており、板状誘電体１、ガイドピン２を備えて概略構
成されるプローブ３が固定板４に複数取付けられたもの
である。

板状誘電体１は例えばアルミナ基板からなり、一方の面
には所定端部より先端部1aに向けて信号導体５が形成さ
れ、他方の面にはアース導体６が形成されており、マイ
クロストリップ構造をなしている。また、この板状誘電
体１には信号導体５の終端である先端部1aに被測定物の
検査面と接触して導通を図る接点部７が形成されてお
り、板状誘電体１の下端部1bは接点部７の検査面との導
通時に検査面と接触しないように傾斜している。さら
に、この板状誘電体１の上端部1cにはガイドピン２を取
付けるための切欠部８が２カ所に形成されている。

円柱形状のガイドピン２は一端に切欠凹部2aが形成され
ており、ガイドピン２は切欠凹部2aが板状誘電体１の切
欠部８に嵌合された状態でハンダ等の固定材により板状
誘電体１と固定されている。

以上のように、板状誘電体１とガイドピン２を備えて構
成されるプローブ３は、ガイドピン２の取付位置に応じ
てガイドピン２よりも大径に形成された固定板４の２個
一対の取付穴９に各ガイドピン２が挿通されて取付けら
れており、板状誘電体１はガイドピン２を介して摺動保
持されている。また、各プローブ３のガイドピン２には
交互に抜止め用のストッパ部材10が取付けられており、
固定板４の下面4aと板状誘電体１の上端部1cとの間は所
定の距離が保たれている。さらに、ガイドピン２が取付
けられた固定板４の取付穴9,9間には、スプリング11を
保持するための保持穴12が形成されている。

スプリング11は一端が板状誘電体１の上端部1cに当接し
た状態で保持穴12に保持されており、接点部７が被測定
物の検査面と接触して各ガイドピン２が取付穴９に沿っ
て摺動し、板状誘電体１が上方に移動した際に、弾性力
によって検査面に一定の荷重を加えている。

次に、上記のように構成される多ピンプローブの動作に
ついて説明する。

被測定物の電気特性や性能等を検査するにあたって、接
点部７に被測定物の検査面が接触すると、板状誘電体１
が押し上げられて各ガイドピン２が取付穴９に沿って摺
動する。そして、この摺動動作によって縮められたスプ
リング11の弾性力により、接点部７を介して検査面に対
し一定の荷重が加えられ、接点部７より信号導体５を介
して信号が導かれ、図示しない測定器によって被測定物
の信号の検査が行なわれる。

従って、上述した実施例では、板状誘電体１自身が上下
に摺動する構造なので、板状誘電体１に形成される接点
部７を従来より極めて小さくすることができ、インピー
ダンスの乱れが少ない。

また、プローブ３を複数並べて多ピンプローブを構成す
る際、各ガイドピン２同士がぶつかって邪魔にならない
ように交互に位置を変えて取付けることで、従来に比べ
て各プローブを直線に近い状態で並べることができ、単
一面積当たりのプローブの配設量を増すことができる。

さらに、被測定物の検査面に対する接触荷重はスプリン
グ11の弾性力によって得ているので、各プローブ３の接
触荷重を均一に取ることができる。

また従来のように組合わせ後の位置合わせ調整を行なう
必要がない。

接点部７は剛体よりなる材質を使用し小さく構成でき、
また接点部７における回転方向の変位が小さいことか
ら、従来のように針の変形による位置ずれを起こして検
査不良を招くようなことがなく、高精度な検査を行なう
ことができる。

ところで、上述した実施例では、板状誘電体１がマイク
ロストリップ構造とした場合を例にとって説明したが、
コープレナー構造であっても同様の効果を得ることがで
きる。

また、第２図に示すように板状誘電体１の信号導体５を
板状誘電体１面上で折返し、この折返した部分5aから板
状誘電体１の先端部1aに設けられた接点部７まで信号導
体を形成すれば、入力信号のモニタあるいは終端を行な
うことができる。

なお、折返し部分はインピーダンスの関係上、極力接点
部７に近い位置に設定した方がよい。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案の請求項1,2による多ピン
プローブは、板状誘電体自体が摺動する構成なので、接
点を小さく構成してインピーダンスの乱れを小さくする
ことができる。また、被測定物の検査面に対する接触荷
重は、スプリングの弾性力によって得ているので、各ピ
ンプローブの接触荷重を均一に取ることができる組立後
の位置合わせ調整を行なう必要がない。さらに、接点部
を剛体材質で小さく構成でき、また接点部における回転
方向の変位が小さいことから、従来のように針の変形に
よる位置ずれを起こして検査不良を招くようなことがな
く、高精度な検査を行なうことができる。

また、請求項３の多ピンプローブによれば、入力信号を
信号導体の一端出取り出すことによりモニタを行なうこ
とができる。また、信号導体の一端を所定のインピーダ
ンスで終端することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本考案による多ピンプローブの一実施例
を示す側面図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のA-A線断
面図、第１図（ｃ）は同プローブの正面図、第２図は板
状誘電体の他の構造例を示すす図、第３図（ａ），
（ｂ）は従来の多ピンプローブの一例を示す図である。 １……板状誘電体、1a……先端部、２……ガイドピン、
３……プローブ、４……固定板、５……信号導体、5a…
…折返し部分、６……アース導体、７……接点部、９…
…取付穴、11……スプリング、12……保持穴。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】信号導体（５）とアース導体（６）を有す
   るプローブが複数配設された多ピンプローブにおいて、 マイクロストリップ構造からなり、被測定物の検査面に
   対して垂直に配設された接点部（７）を有する板状誘電
   体（１）と、該板状誘電体の一部に固定されたガイドピ
   ン（２）と、前記接点部と被測定物の検査面との接触時
   に前記検査面に対して所定の圧力を加えるスプリング
   （11）と、前記ガイドピンを摺動保持する取付穴（９）
   が形成されているとともに、前記スプリングを保持する
   保持穴（12）が形成された固定板（４）とを備えたこと
   を特徴とする多ピンプローブ。
2. 【請求項２】前記板状誘電体がコープレナー構造からな
   ることを特徴とする請求項１記載の多ピンプローブ。
3. 【請求項３】信号導体を板状誘電体面上で折返し、この
   折返した部分（5a）から板状誘電体の先端部（1a）に設
   けられた接点部まで信号導体を形成したことを特徴とす
   る請求項１または２記載の多ピンプローブ。