JP2002005959A - 同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタクトプローブ - Google Patents
同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタクトプローブInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 パターン長の短い、または信号ラインとＧＮ
Ｄとの間隔の短いプリント基板においても正確にＴＤＲ
測定を行うことができる同軸型コンタクトプローブ及び
多点測定用コンタクトプローブを提供する。 【解決手段】 プローブ本体部２は、同軸ケーブル３０
の先端部において信号用接触子１０及びアース用接触子
２０の各々が同軸ケーブル３０の内部導体３１及び外部
導体３３にそれぞれ電気的に接続された状態で固定され
ていて、プローブ本体部２が支持体４２に弾性力に抗し
て後退可能に弾性支持されていると共に、アース用接触
子２０の先端可動ピン２１が筒体２２と電気的接続状態
を維持しながら弾性力に抗して後退可能に弾性支持され
ている構成とする。
Ｄとの間隔の短いプリント基板においても正確にＴＤＲ
測定を行うことができる同軸型コンタクトプローブ及び
多点測定用コンタクトプローブを提供する。 【解決手段】 プローブ本体部２は、同軸ケーブル３０
の先端部において信号用接触子１０及びアース用接触子
２０の各々が同軸ケーブル３０の内部導体３１及び外部
導体３３にそれぞれ電気的に接続された状態で固定され
ていて、プローブ本体部２が支持体４２に弾性力に抗し
て後退可能に弾性支持されていると共に、アース用接触
子２０の先端可動ピン２１が筒体２２と電気的接続状態
を維持しながら弾性力に抗して後退可能に弾性支持され
ている構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板上の
回路パターンを検査するプリント基板検査装置に用いら
れる同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタク
トプローブに関するものである。
回路パターンを検査するプリント基板検査装置に用いら
れる同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタク
トプローブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、多数の電子部品等を実装した
プリント基板（Print Circuit Board）に対し、所定
の測定点に適宜プローブの先端を接触させ、検査装置側
から所要の検査信号を入力して所定の電気的特性を測定
し、その測定結果に基づいてプリント基板の良否検査が
行われている。
プリント基板（Print Circuit Board）に対し、所定
の測定点に適宜プローブの先端を接触させ、検査装置側
から所要の検査信号を入力して所定の電気的特性を測定
し、その測定結果に基づいてプリント基板の良否検査が
行われている。
【０００３】特にマイクロプロセッサなどの高周波信号
を扱う電子部品が搭載されるプリント基板では、高周波
信号の伝送特性が重要であるため、ＴＤＲ（Time Doma
inReflectometry）測定と呼ばれる伝送特性を確認する
ための測定が行なわれている。
を扱う電子部品が搭載されるプリント基板では、高周波
信号の伝送特性が重要であるため、ＴＤＲ（Time Doma
inReflectometry）測定と呼ばれる伝送特性を確認する
ための測定が行なわれている。
【０００４】このＴＤＲ測定は、プリント基板における
プリントパターンのインピーダンス特性を測定するもの
で、その測定結果が規格値の範囲内に入っているか否か
でプリント基板の良否が判定される。
プリントパターンのインピーダンス特性を測定するもの
で、その測定結果が規格値の範囲内に入っているか否か
でプリント基板の良否が判定される。
【０００５】図４はプリント基板２０６におけるＴＤＲ
測定の動作原理を示す図であり、図５は従来の同軸型コ
ンタクトプローブ２０４の構成を示す図である。
測定の動作原理を示す図であり、図５は従来の同軸型コ
ンタクトプローブ２０４の構成を示す図である。
【０００６】図５に示すように、コンタクトプローブ２
０４は同軸パイプからなり、その先端に内部導体（信号
ライン）を延長して信号用接触子２０４ａが形成される
と共に、外部導体（ＧＮＤライン）の適所にアース用接
触子２０４ｂが信号用接触子２０４ａに沿うように突設
されている。
０４は同軸パイプからなり、その先端に内部導体（信号
ライン）を延長して信号用接触子２０４ａが形成される
と共に、外部導体（ＧＮＤライン）の適所にアース用接
触子２０４ｂが信号用接触子２０４ａに沿うように突設
されている。
【０００７】測定時には、図４に示すように、コンタク
トプローブ２０４の信号用接触子２０４ａをプリント基
板２０６の回路パターン２０８（被測定伝送線路）の基
端部２０８ａに接触させると共に、コンタクトプローブ
２０４のアース用接触子２０４ｂをプリント基板２０６
のＧＮＤに接触させ、ＴＤＲジェネレータ２０２で発信
した高周波信号をパターン２０８に入力する。そして、
その入力した高周波信号の反射信号をサンプラー２１０
を含む計測器（図示せず）で測定して、入射信号と反射
信号を時間軸上に合成して表示することにより、インピ
ーダンス特性が測定される。
トプローブ２０４の信号用接触子２０４ａをプリント基
板２０６の回路パターン２０８（被測定伝送線路）の基
端部２０８ａに接触させると共に、コンタクトプローブ
２０４のアース用接触子２０４ｂをプリント基板２０６
のＧＮＤに接触させ、ＴＤＲジェネレータ２０２で発信
した高周波信号をパターン２０８に入力する。そして、
その入力した高周波信号の反射信号をサンプラー２１０
を含む計測器（図示せず）で測定して、入射信号と反射
信号を時間軸上に合成して表示することにより、インピ
ーダンス特性が測定される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近ではマ
イクロプロセッサーのクロック・スピードが高くなり、
デジタル信号の動作速度周波数が１００ＭＨｚから１Ｇ
Ｈｚと上昇してきているため、プリント基板２０６にお
ける信号ラインの線路長は益々短くなる傾向にある。こ
のため、可能な限り線路長の短い回路パターンのインピ
ーダンス特性を正確に測定することが求められている。
イクロプロセッサーのクロック・スピードが高くなり、
デジタル信号の動作速度周波数が１００ＭＨｚから１Ｇ
Ｈｚと上昇してきているため、プリント基板２０６にお
ける信号ラインの線路長は益々短くなる傾向にある。こ
のため、可能な限り線路長の短い回路パターンのインピ
ーダンス特性を正確に測定することが求められている。
【０００９】しかしながら、従来のコンタクトプローブ
２０４における信号用接触子２０４ａ及びアース用接触
子２０４ｂは、いずれも、いわゆるスプリングプローブ
と呼ばれるものが用いられている。
２０４における信号用接触子２０４ａ及びアース用接触
子２０４ｂは、いずれも、いわゆるスプリングプローブ
と呼ばれるものが用いられている。
【００１０】図６に示すように、スプリングプローブ２
００は、先端可動ピン２１が筒体２２内に収められたコ
イルばね２３によって弾性支持されていて、この先端可
動ピン２１が筒体２２と電気的接続状態を維持しながら
弾性力に抗して後退可能になっている。
００は、先端可動ピン２１が筒体２２内に収められたコ
イルばね２３によって弾性支持されていて、この先端可
動ピン２１が筒体２２と電気的接続状態を維持しながら
弾性力に抗して後退可能になっている。
【００１１】より詳しくは、先端可動ピン２１は、軸の
先端側の外径部２１ａ及び後端側の外径部２１ｃが、筒
体２２の内径部２２ａ，２２ｃと接触することによって
筒体２２と電気的に接続されている。また、先端可動ピ
ン２１は、外径部２１ａ，２１ｃの間の中間部２１ｂが
小径になっていて、この中間部２１ｂと外径部２１ｃの
段差部付近に設けた筒体２２のかしめによる係止突起２
２ｂによって、先端可動ピン２１が筒体２２に対し所定
の位置で保持されると共に先端可動ピン２１が筒体２２
から抜けないように係止されている。
先端側の外径部２１ａ及び後端側の外径部２１ｃが、筒
体２２の内径部２２ａ，２２ｃと接触することによって
筒体２２と電気的に接続されている。また、先端可動ピ
ン２１は、外径部２１ａ，２１ｃの間の中間部２１ｂが
小径になっていて、この中間部２１ｂと外径部２１ｃの
段差部付近に設けた筒体２２のかしめによる係止突起２
２ｂによって、先端可動ピン２１が筒体２２に対し所定
の位置で保持されると共に先端可動ピン２１が筒体２２
から抜けないように係止されている。
【００１２】このスプリングプローブ２００によれば、
測定時に信号用接触子２０４ａ及びアース用接触子２０
４ｂをプリント基板２０６に押し付けて導通状態を維持
できる一方で、スプリングプローブ２００内の接触点が
移動して接触状態が変化することに起因して測定時の信
号が不安定となり、信号ラインのインピーダンスを正確
に測定することができないという問題があった。特に、
この不具合は信号用接触子２０４ａにおいて顕著に現れ
る傾向にあった。
測定時に信号用接触子２０４ａ及びアース用接触子２０
４ｂをプリント基板２０６に押し付けて導通状態を維持
できる一方で、スプリングプローブ２００内の接触点が
移動して接触状態が変化することに起因して測定時の信
号が不安定となり、信号ラインのインピーダンスを正確
に測定することができないという問題があった。特に、
この不具合は信号用接触子２０４ａにおいて顕著に現れ
る傾向にあった。
【００１３】本発明は、こうした従来技術の課題を解決
するものであり、パターン長の短い、または信号ライン
とＧＮＤとの間隔の短いプリント基板においても正確に
ＴＤＲ測定を行うことができる同軸型コンタクトプロー
ブ及び多点測定用コンタクトプローブを提供することを
目的とする。
するものであり、パターン長の短い、または信号ライン
とＧＮＤとの間隔の短いプリント基板においても正確に
ＴＤＲ測定を行うことができる同軸型コンタクトプロー
ブ及び多点測定用コンタクトプローブを提供することを
目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の同軸型コンタク
トプローブは、内部導体と外部導体とが絶縁体を介して
同軸をなす同軸ケーブルの先端部に、該内部導体に電気
的に接続された信号用接触子と、該外部導体に電気的に
接続されたアース用接触子を具えたものであって、上記
アース用接触子は、電気的接続状態を維持しながら弾性
力に抗して後退可能に弾性支持された先端可動ピンを有
し、該アース用接触子及び上記信号用接触子を上記同軸
ケーブルの先端部に設けたプローブ本体部が、支持体に
弾性力に抗して後退可能に弾性支持されている構成から
なる。
トプローブは、内部導体と外部導体とが絶縁体を介して
同軸をなす同軸ケーブルの先端部に、該内部導体に電気
的に接続された信号用接触子と、該外部導体に電気的に
接続されたアース用接触子を具えたものであって、上記
アース用接触子は、電気的接続状態を維持しながら弾性
力に抗して後退可能に弾性支持された先端可動ピンを有
し、該アース用接触子及び上記信号用接触子を上記同軸
ケーブルの先端部に設けたプローブ本体部が、支持体に
弾性力に抗して後退可能に弾性支持されている構成から
なる。
【００１５】この構成によれば、信号用接触子及びアー
ス用接触子を具えたプローブ本体部が弾性力に抗して後
退可能になっていると共に、アース用接触子が弾性力に
抗して後退可能になっているため、プリント基板の測定
位置にプローブの先端部を軽く押し付けることにより、
信号用接触子及びアース用接触子の各々が回路パターン
における測定位置の信号ライン及びＧＮＤにそれぞれ圧
接されて、安定した導通状態が維持される。
ス用接触子を具えたプローブ本体部が弾性力に抗して後
退可能になっていると共に、アース用接触子が弾性力に
抗して後退可能になっているため、プリント基板の測定
位置にプローブの先端部を軽く押し付けることにより、
信号用接触子及びアース用接触子の各々が回路パターン
における測定位置の信号ライン及びＧＮＤにそれぞれ圧
接されて、安定した導通状態が維持される。
【００１６】また、プローブは各接触子が極めて短い距
離で、かつ同軸状態でプリント基板上の回路パターンに
接触することに加えて、信号用接触子が同軸ケーブルの
内部導体に直に接続されているため、常に安定した信号
が入出力される。
離で、かつ同軸状態でプリント基板上の回路パターンに
接触することに加えて、信号用接触子が同軸ケーブルの
内部導体に直に接続されているため、常に安定した信号
が入出力される。
【００１７】従って、この接触点におけるインピーダン
スの整合性を確保することが可能となり、プリント基板
におけるＴＤＲ測定等において正確かつ安定した測定を
行うことが可能となる。
スの整合性を確保することが可能となり、プリント基板
におけるＴＤＲ測定等において正確かつ安定した測定を
行うことが可能となる。
【００１８】本発明の多点測定用コンタクトプローブ
は、上記の同軸型コンタクトプローブを複数具え、複数
のプローブ本体部が軸方向を揃えた状態でベースに併設
されていて、多点測定が可能な構成になっている。
は、上記の同軸型コンタクトプローブを複数具え、複数
のプローブ本体部が軸方向を揃えた状態でベースに併設
されていて、多点測定が可能な構成になっている。
【００１９】この構成によれば、複数のプローブ本体部
が軸方向を揃えた状態でベースに併設されているので、
多点測定用コンタクトプローブを構成する各同軸型コン
タクトプローブの先端部を回路パターンの複数箇所に同
時に圧接させて、正確かつ安定した多点測定を行うこと
が可能となる。
が軸方向を揃えた状態でベースに併設されているので、
多点測定用コンタクトプローブを構成する各同軸型コン
タクトプローブの先端部を回路パターンの複数箇所に同
時に圧接させて、正確かつ安定した多点測定を行うこと
が可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面に基づいて具体的に説明する。
面に基づいて具体的に説明する。
【００２１】図１は、本発明に係る同軸型コンタクトプ
ローブ１の構成例を示す図である。
ローブ１の構成例を示す図である。
【００２２】この同軸型コンタクトプローブ１は、内部
導体３１と外部導体３３とが絶縁体３２を介して同軸を
なすセミリジッドケーブル（若しくはリジッドケーブ
ル）からなる同軸ケーブル３０の先端部に、内部導体３
１に電気的に接続された信号用接触子１０と、外部導体
３３に電気的に接続されたアース用接触子２０を有する
プローブ本体部２を具えている。
導体３１と外部導体３３とが絶縁体３２を介して同軸を
なすセミリジッドケーブル（若しくはリジッドケーブ
ル）からなる同軸ケーブル３０の先端部に、内部導体３
１に電気的に接続された信号用接触子１０と、外部導体
３３に電気的に接続されたアース用接触子２０を有する
プローブ本体部２を具えている。
【００２３】図１に示すように、プローブ本体部２は、
筒状のガイド体４１内に収められた状態で、支持体４２
の内径部に収容されていて、このガイド体４１がコイル
ばね４３によって支持体４２に弾性支持されることによ
って、プローブ本体部２が弾性力に抗して後退可能にな
っている。
筒状のガイド体４１内に収められた状態で、支持体４２
の内径部に収容されていて、このガイド体４１がコイル
ばね４３によって支持体４２に弾性支持されることによ
って、プローブ本体部２が弾性力に抗して後退可能にな
っている。
【００２４】具体的には、同軸ケーブル３０の先端部に
外嵌されるガイド体４１の筒部には、先端から所定長に
渡って側壁を分断する２本の縦溝４１ｂが形成されてい
て、各縦溝４１ｂにアース用接触子２０を収めた状態
で、その筒部２２が半田等で同軸ケーブル３０の外部導
体３３に電気的に接続され固定されている。また、同軸
ケーブル３０の先端部の内部導体３１には、信号用接触
子１０が半田等で電気的に接続され固定されている。ガ
イド体４１の端面４１ａと支持体４２の内径端面４２ａ
の間に、コイルばね４３が圧縮状態で収められていて、
その付勢力によって同軸ケーブル３０に固定されたスト
ッパ４４の端面４４ａが支持体４２の端面４２ｂで係止
されて、ガイド体４１に収められたプローブ本体部２が
支持体４２に対し所定の位置に常時保持されるようにな
っている。
外嵌されるガイド体４１の筒部には、先端から所定長に
渡って側壁を分断する２本の縦溝４１ｂが形成されてい
て、各縦溝４１ｂにアース用接触子２０を収めた状態
で、その筒部２２が半田等で同軸ケーブル３０の外部導
体３３に電気的に接続され固定されている。また、同軸
ケーブル３０の先端部の内部導体３１には、信号用接触
子１０が半田等で電気的に接続され固定されている。ガ
イド体４１の端面４１ａと支持体４２の内径端面４２ａ
の間に、コイルばね４３が圧縮状態で収められていて、
その付勢力によって同軸ケーブル３０に固定されたスト
ッパ４４の端面４４ａが支持体４２の端面４２ｂで係止
されて、ガイド体４１に収められたプローブ本体部２が
支持体４２に対し所定の位置に常時保持されるようにな
っている。
【００２５】アース用接触子２０は、先に図６を用いて
説明したスプリングプローブ２００であって、先端可動
ピン２１が筒体２２内に収められたコイルばね２３によ
って弾性支持されていて、この先端可動ピン２１が筒体
２２と電気的接続状態を維持しながら弾性力に抗して後
退可能になっている。
説明したスプリングプローブ２００であって、先端可動
ピン２１が筒体２２内に収められたコイルばね２３によ
って弾性支持されていて、この先端可動ピン２１が筒体
２２と電気的接続状態を維持しながら弾性力に抗して後
退可能になっている。
【００２６】上記のプローブ１は、同軸ケーブル３０の
他方端にコネクタ３１（図３参照）が取り付けられてお
り、このコネクタ３１に接続ケーブルを介してデジタイ
ジング・オシロスコープ等の測定装置が接続できるよう
になっている。
他方端にコネクタ３１（図３参照）が取り付けられてお
り、このコネクタ３１に接続ケーブルを介してデジタイ
ジング・オシロスコープ等の測定装置が接続できるよう
になっている。
【００２７】このプローブ１は、上述したように信号用
接触子１０及びアース用接触子２０を具えたプローブ本
体部２が弾性力に抗して後退可能になっていると共に、
アース用接触子２０が弾性力に抗して後退可能になって
いるため、プリント基板の測定位置にプローブ１の先端
部を軽く押し付けることにより、信号用接触子１０及び
アース用接触子２０の各々が回路パターンにおける測定
位置の信号ライン及びＧＮＤにそれぞれ圧接されて、安
定した導通状態が維持される。
接触子１０及びアース用接触子２０を具えたプローブ本
体部２が弾性力に抗して後退可能になっていると共に、
アース用接触子２０が弾性力に抗して後退可能になって
いるため、プリント基板の測定位置にプローブ１の先端
部を軽く押し付けることにより、信号用接触子１０及び
アース用接触子２０の各々が回路パターンにおける測定
位置の信号ライン及びＧＮＤにそれぞれ圧接されて、安
定した導通状態が維持される。
【００２８】具体的には、例えば、図４に示す回路パタ
ーン２０８を有するプリント基板２０６の場合には、信
号用接触子１０及びアース用接触子２０の各々が回路パ
ターン２０８の基端部２０８ａ及びＧＮＤにそれぞれ圧
接される。
ーン２０８を有するプリント基板２０６の場合には、信
号用接触子１０及びアース用接触子２０の各々が回路パ
ターン２０８の基端部２０８ａ及びＧＮＤにそれぞれ圧
接される。
【００２９】このとき、プローブ１は各接触子１０，２
０が極めて短い距離で、かつ同軸状態でプリント基板２
０６上の回路パターン２０８に接触する。しかも、信号
用接触子１０は、同軸ケーブル３０の内部導体３１に直
に接続されているため、常に安定した信号が入出力され
る。従って、この接触点におけるインピーダンスの整合
性を確保することができ、プリント基板２０６における
ＴＤＲ測定等において正確かつ安定した測定を行うこと
ができる。
０が極めて短い距離で、かつ同軸状態でプリント基板２
０６上の回路パターン２０８に接触する。しかも、信号
用接触子１０は、同軸ケーブル３０の内部導体３１に直
に接続されているため、常に安定した信号が入出力され
る。従って、この接触点におけるインピーダンスの整合
性を確保することができ、プリント基板２０６における
ＴＤＲ測定等において正確かつ安定した測定を行うこと
ができる。
【００３０】更には、このプローブ１は、上述したよう
に信号用接触子１０及びアース用接触子２０を具えたプ
ローブ本体部２が弾性力に抗して後退可能になっている
と共に、アース用接触子２０が弾性力に抗して後退可能
になっている。このため、プリント基板２０６に形成さ
れた信号ラインやＧＮＤラインのランドに半田が盛られ
ている場合にも、その凸凹の影響を受けることなく信号
用接触子１０及びアース用接触子２０を確実に圧接させ
ることができ、安定した導通状態を維持することができ
る。また、その際に接触子１０，２０によって半田を損
傷させることもない。
に信号用接触子１０及びアース用接触子２０を具えたプ
ローブ本体部２が弾性力に抗して後退可能になっている
と共に、アース用接触子２０が弾性力に抗して後退可能
になっている。このため、プリント基板２０６に形成さ
れた信号ラインやＧＮＤラインのランドに半田が盛られ
ている場合にも、その凸凹の影響を受けることなく信号
用接触子１０及びアース用接触子２０を確実に圧接させ
ることができ、安定した導通状態を維持することができ
る。また、その際に接触子１０，２０によって半田を損
傷させることもない。
【００３１】次に、図２に示す多点測定を行う多点測定
用コンタクトプローブ５０について説明する。
用コンタクトプローブ５０について説明する。
【００３２】この多点測定用コンタクトプローブ５０
は、上記の同軸型コンタクトプローブ１を複数、この例
では４本のプローブ１Ａ〜１Ｄを具え、各プローブ本体
部２Ａ〜２Ｄが、軸方向を揃えた状態で検査装置６０の
上側検査治具であるベース６１に併設されている。この
検査装置６０では、プリント基板３が下側検査治具であ
るベース６２から立設する支持ピン６３で支持されてい
て、このプリント基板３を水平面内のＸＹ方向に位置決
め搬送すると共にＺ方向に上下動できるようになってい
る。従って、検査位置に位置決めされたプリント基板３
を上動させて、多点測定用コンタクトプローブ５０を構
成する各同軸型コンタクトプローブ１Ａ〜１Ｄの先端部
を回路パターンの複数箇所に同時に圧接させることによ
って、多点測定を行うことができるようになっている。
は、上記の同軸型コンタクトプローブ１を複数、この例
では４本のプローブ１Ａ〜１Ｄを具え、各プローブ本体
部２Ａ〜２Ｄが、軸方向を揃えた状態で検査装置６０の
上側検査治具であるベース６１に併設されている。この
検査装置６０では、プリント基板３が下側検査治具であ
るベース６２から立設する支持ピン６３で支持されてい
て、このプリント基板３を水平面内のＸＹ方向に位置決
め搬送すると共にＺ方向に上下動できるようになってい
る。従って、検査位置に位置決めされたプリント基板３
を上動させて、多点測定用コンタクトプローブ５０を構
成する各同軸型コンタクトプローブ１Ａ〜１Ｄの先端部
を回路パターンの複数箇所に同時に圧接させることによ
って、多点測定を行うことができるようになっている。
【００３３】図３は、この多点測定用コンタクトプロー
ブ５０を構成する同軸型コンタクトプローブ１Ｄの支持
構造を示す。
ブ５０を構成する同軸型コンタクトプローブ１Ｄの支持
構造を示す。
【００３４】この同軸型コンタクトプローブ１Ｄは、信
号用接触子１０及びアース用接触子２０を具えたプロー
ブ本体部２Ｄが、ベース６１の嵌合穴６１ａに嵌入され
ていて、各接触子１０，２０の先端部がベース６１の下
面から出る状態で支持体４２の端面４２ｃで係止されて
いる。また、ベース６１上には上部にＵ溝５３ａが形成
されたＬ字断面形状のホルダ５３がねじ固定されてい
る。そして、プローブ１Ｄの上方に延びるセミリジッド
ケーブルからなる同軸ケーブル３０がＬ字状に曲げら
れ、その水平部分が上記ホルダ５３のＵ溝５３ａに保持
されるようになっていて、アース用接触子２０の角度を
規制している。また、この同軸ケーブル３０の水平部分
の終端にはコネクタ３１が設けられていて、このコネク
タ３１にフレキシブル同軸ケーブルを介して、デジタイ
ジング・オシロスコープ等の測定装置が接続できるよう
になっている。尚、同軸型コンタクトプローブ１Ａ〜１
Ｃについても、同様の支持構造になっている。
号用接触子１０及びアース用接触子２０を具えたプロー
ブ本体部２Ｄが、ベース６１の嵌合穴６１ａに嵌入され
ていて、各接触子１０，２０の先端部がベース６１の下
面から出る状態で支持体４２の端面４２ｃで係止されて
いる。また、ベース６１上には上部にＵ溝５３ａが形成
されたＬ字断面形状のホルダ５３がねじ固定されてい
る。そして、プローブ１Ｄの上方に延びるセミリジッド
ケーブルからなる同軸ケーブル３０がＬ字状に曲げら
れ、その水平部分が上記ホルダ５３のＵ溝５３ａに保持
されるようになっていて、アース用接触子２０の角度を
規制している。また、この同軸ケーブル３０の水平部分
の終端にはコネクタ３１が設けられていて、このコネク
タ３１にフレキシブル同軸ケーブルを介して、デジタイ
ジング・オシロスコープ等の測定装置が接続できるよう
になっている。尚、同軸型コンタクトプローブ１Ａ〜１
Ｃについても、同様の支持構造になっている。
【００３５】以上、本発明の同軸型コンタクトプローブ
及び多点測定用コンタクトプローブは、上記した各実施
形態の具体的構成に限定されるものではなく、必要に応
じ適宜構成を変形、追加又は削除した構成としてもよい
ことは言うまでもない。
及び多点測定用コンタクトプローブは、上記した各実施
形態の具体的構成に限定されるものではなく、必要に応
じ適宜構成を変形、追加又は削除した構成としてもよい
ことは言うまでもない。
【００３６】例えば、上記では、同軸型コンタクトプロ
ーブに１本の信号用接触子と２本のアース用接触子を設
ける構成例を示したが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、同軸型コンタクトプローブにアース用接触子
を１本又は３以上設ける構成としてもよい。
ーブに１本の信号用接触子と２本のアース用接触子を設
ける構成例を示したが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、同軸型コンタクトプローブにアース用接触子
を１本又は３以上設ける構成としてもよい。
【００３７】また、上記では、多点測定用コンタクトプ
ローブとして、４本の同軸型コンタクトプローブのプロ
ーブ本体部を並列させる構成例を示したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、４本の同軸型コンタクト
プローブを他の配列としてもよい。また、多点測定用コ
ンタクトプローブを構成する同軸型コンタクトプローブ
の数も２，３又は５以上としてもよいことは言うまでも
ない。
ローブとして、４本の同軸型コンタクトプローブのプロ
ーブ本体部を並列させる構成例を示したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、４本の同軸型コンタクト
プローブを他の配列としてもよい。また、多点測定用コ
ンタクトプローブを構成する同軸型コンタクトプローブ
の数も２，３又は５以上としてもよいことは言うまでも
ない。
【００３８】更には、上記では、プローブ本体部を支持
体に弾性力に抗して後退可能に弾性支持する構造におい
て、付勢手段としてコイルばねを用いる例を示したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、他の部材を用
いてもよい。例えば、付勢手段としてゴム等の弾性体や
エアクッションを用いたものであってもよい。また、ば
ねを用いる形態でも、コイル状以外の他の形状、例えば
板状や線状としてもよい。
体に弾性力に抗して後退可能に弾性支持する構造におい
て、付勢手段としてコイルばねを用いる例を示したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、他の部材を用
いてもよい。例えば、付勢手段としてゴム等の弾性体や
エアクッションを用いたものであってもよい。また、ば
ねを用いる形態でも、コイル状以外の他の形状、例えば
板状や線状としてもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の同軸型コ
ンタクトプローブによれば、信号用接触子及びアース用
接触子を具えたプローブ本体部が弾性力に抗して後退可
能になっていると共に、アース用接触子が弾性力に抗し
て後退可能になっているため、プリント基板の測定位置
にプローブの先端部を軽く押し付けることにより、信号
用接触子及びアース用接触子の各々が回路パターンにお
ける測定位置の信号ライン及びＧＮＤにそれぞれ圧接さ
れるため、安定した導通状態を維持することができる。
ンタクトプローブによれば、信号用接触子及びアース用
接触子を具えたプローブ本体部が弾性力に抗して後退可
能になっていると共に、アース用接触子が弾性力に抗し
て後退可能になっているため、プリント基板の測定位置
にプローブの先端部を軽く押し付けることにより、信号
用接触子及びアース用接触子の各々が回路パターンにお
ける測定位置の信号ライン及びＧＮＤにそれぞれ圧接さ
れるため、安定した導通状態を維持することができる。
【００４０】また、プローブは各接触子が極めて短い距
離で、かつ同軸状態でプリント基板上の回路パターンに
接触することに加えて、信号用接触子が同軸ケーブルの
内部導体に直に接続されているため、常に安定した信号
が入出力されるため、この接触点におけるインピーダン
スの整合性を確保することができ、プリント基板におけ
るＴＤＲ測定等において正確かつ安定した測定を行うこ
とができる。
離で、かつ同軸状態でプリント基板上の回路パターンに
接触することに加えて、信号用接触子が同軸ケーブルの
内部導体に直に接続されているため、常に安定した信号
が入出力されるため、この接触点におけるインピーダン
スの整合性を確保することができ、プリント基板におけ
るＴＤＲ測定等において正確かつ安定した測定を行うこ
とができる。
【００４１】本発明の多点測定用コンタクトプローブ
は、上記の同軸型コンタクトプローブを複数具え、複数
のプローブ本体部が軸方向を揃えた状態でベースに併設
されているので、多点測定用コンタクトプローブを構成
する各同軸型コンタクトプローブの先端部を回路パター
ンの複数箇所に同時に圧接させて、正確かつ安定した多
点測定を行うことができる。
は、上記の同軸型コンタクトプローブを複数具え、複数
のプローブ本体部が軸方向を揃えた状態でベースに併設
されているので、多点測定用コンタクトプローブを構成
する各同軸型コンタクトプローブの先端部を回路パター
ンの複数箇所に同時に圧接させて、正確かつ安定した多
点測定を行うことができる。
【図１】本発明に係る同軸型コンタクトプローブの構成
例を示す図であって、（ａ）は部分側断面図であり、
（ｂ）は（ａ）におけるＰ−Ｐ断面を示す断面図であ
る。
例を示す図であって、（ａ）は部分側断面図であり、
（ｂ）は（ａ）におけるＰ−Ｐ断面を示す断面図であ
る。
【図２】本発明に係る多点測定用コンタクトプローブを
検査装置に適用した利用形態の一例を示す正面図であ
る。
検査装置に適用した利用形態の一例を示す正面図であ
る。
【図３】本発明に係る多点測定用コンタクトプローブを
構成する同軸型コンタクトプローブの支持構造を示す図
であって、（ａ）は図２におけるＱ−Ｑ断面を示す断面
図であり、（ｂ）は（ａ）の側面図である。
構成する同軸型コンタクトプローブの支持構造を示す図
であって、（ａ）は図２におけるＱ−Ｑ断面を示す断面
図であり、（ｂ）は（ａ）の側面図である。
【図４】プリント基板におけるＴＤＲ測定の動作原理を
示す図である。
示す図である。
【図５】従来の同軸型コンタクトプローブの構成を示す
図である。
図である。
【図６】スプリングプローブの構成例を示す部分断面図
である。
である。
１ 同軸型コンタクトプローブ ２ プローブ本体部 ３ プリント基板 ７ プローブ本体 １０ 信号用接触子 ２０ アース用接触子 ２１ 先端可動ピン ３０ 同軸ケーブル ３１ 内部導体 ３２ 絶縁体 ３３ 外部導体 ４２ 支持体 ５０ 多点測定用コンタクトプローブ ６１ ベース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA13 AA15 AB01 AB08 AC32 AE01 4M106 AA20 BA01 BA14 CA01 CA09 DD03 DD15
Claims (2)
- 【請求項１】 内部導体と外部導体とが絶縁体を介して
同軸をなす同軸ケーブルの先端部に、該内部導体に電気
的に接続された信号用接触子と、該外部導体に電気的に
接続されたアース用接触子を具えた同軸型コンタクトプ
ローブであって、 上記アース用接触子は、電気的接続状態を維持しながら
弾性力に抗して後退可能に弾性支持された先端可動ピン
を有し、 該アース用接触子及び上記信号用接触子を上記同軸ケー
ブルの先端部に設けたプローブ本体部が、支持体に弾性
力に抗して後退可能に弾性支持されていることを特徴と
する同軸型コンタクトプローブ。 - 【請求項２】 請求項１記載の同軸型コンタクトプロー
ブを複数具え、複数のプローブ本体部が軸方向を揃えた
状態でベースに併設されていて、多点測定が可能になっ
ていることを特徴とする多点測定用コンタクトプロー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000188023A JP2002005959A (ja) | 2000-06-22 | 2000-06-22 | 同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000188023A JP2002005959A (ja) | 2000-06-22 | 2000-06-22 | 同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタクトプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002005959A true JP2002005959A (ja) | 2002-01-09 |
Family
ID=18687880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000188023A Pending JP2002005959A (ja) | 2000-06-22 | 2000-06-22 | 同軸型コンタクトプローブ及び多点測定用コンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002005959A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9310417B2 (en) | 2013-09-25 | 2016-04-12 | Lenovo Enterprise Solutions (Singapore) Pte. Ltd. | Using time-domain reflectometry to identify manufacturing information for a passive printed circuit board |
| WO2016072187A1 (ja) * | 2014-11-04 | 2016-05-12 | 株式会社村田製作所 | カセット及び検査ユニット |
| WO2018116568A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | 株式会社村田製作所 | プローブ構造 |
| CN112611916A (zh) * | 2019-10-04 | 2021-04-06 | 旺矽科技股份有限公司 | 用于电路板阻抗测试的可调式探针装置 |
| JP2021170040A (ja) * | 2015-12-18 | 2021-10-28 | テラビュー リミテッド | 試験システム |
-
2000
- 2000-06-22 JP JP2000188023A patent/JP2002005959A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9310417B2 (en) | 2013-09-25 | 2016-04-12 | Lenovo Enterprise Solutions (Singapore) Pte. Ltd. | Using time-domain reflectometry to identify manufacturing information for a passive printed circuit board |
| WO2016072187A1 (ja) * | 2014-11-04 | 2016-05-12 | 株式会社村田製作所 | カセット及び検査ユニット |
| JPWO2016072187A1 (ja) * | 2014-11-04 | 2017-07-20 | 株式会社村田製作所 | カセット及び検査ユニット |
| CN107110889A (zh) * | 2014-11-04 | 2017-08-29 | 株式会社村田制作所 | 盒以及检查单元 |
| JP2021170040A (ja) * | 2015-12-18 | 2021-10-28 | テラビュー リミテッド | 試験システム |
| US11921154B2 (en) | 2015-12-18 | 2024-03-05 | Teraview Limited | Test system |
| WO2018116568A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | 株式会社村田製作所 | プローブ構造 |
| JPWO2018116568A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2019-10-24 | 株式会社村田製作所 | プローブ構造 |
| US10641814B2 (en) | 2016-12-22 | 2020-05-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Probe structure |
| US11226380B2 (en) | 2016-12-22 | 2022-01-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Probe structure |
| CN112611916A (zh) * | 2019-10-04 | 2021-04-06 | 旺矽科技股份有限公司 | 用于电路板阻抗测试的可调式探针装置 |
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