JPH0745020Y2 - プローブの接点構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、被測定物として例えば電子回路部品等の入出
力端子に接触させて電気特性や性能等を検査する際に用
いられるプローブの接点構造に関するものである。

［従来の技術］ 例えば電子回路部品の入出力端子に接触させてその電気
特性を検査する場合には、第５図に示すプローブが用い
られていた。

このプローブはタングステンよりなる丸棒部材20の中途
位置が折曲され、その先端部が研磨により先細に成形さ
れて電子回路部品の入出力端子に所定の接触面積をもっ
て接触する針部21と、一方の面に信号導体22が形成され
るとともに、他方の面がアース導体をなし、信号導体22
と導通するように針部21を固定する板状誘電体23とが電
子回路部品の入出力端子の数に対応して設けられ、各板
状誘電体23は電子回路部品の入出力端子の各位置に対応
して固定部材24に所定間隔を置いて固定されており、電
子回路部品の各特性検査を行なう際には、針部21の撓み
によって各入出力端子に対する接触荷重を得ていた。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来のプローブでは、被測定物
である電子回路部品の入出力端子と適切な接触荷重を得
るために針部21を長く形成して撓みを取っているが、こ
の針部21が長いが故にインピーダンスに大きな乱れが生
じた測定波形を乱すという問題があった。

また、入出力端子との接触荷重は、針部21の撓みにより
決まるため、針部21の加工精度が直接接触荷重に影響し
ていた。

しかしながら、この種のプローブの針部21は研磨、曲げ
工程を経て製造されるため寸法上のバラツキが多く、従
って接触荷重にもバラツキがあった。

また、出入力端子に対しての位置合わせを、はんだ付け
作業で行っていたため、非常に困難であった。

また、使用時に針部21が変形し位置ずれを起こしやすい
ため測定不良を招く虞があった。

さらに、被測定物の検査面と接触する際には、針部21の
針先が検査面に当たることになるので、検査面が非常に
傷つき易いという問題があった。また、針部21の曲がり
による位置ずれを起こして検査不良を招く虞があった。

そこで、本考案は上述した問題点に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、接点を小さく構成してインピー
ダンスの乱れを小さくでき、被測定物の検査面を傷付け
ることなく、また、位置ずれを起こして検査不良を招く
ことなく、被測定物の電気特性や性能等の検査を行なう
ことができるプローブの接点構造を提供することにあ
る。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案による請求項１のプロ
ーブの接点構造は、一方の面に形成された信号導体５
と、他方の面に形成されたアース導体６とを有し、被測
定物の検査面８に対して垂直に配置され、該検査面に対
して上下に移動可能な板状誘電体１と、 前記アース導体が形成された面の前記信号導体の先端部
と対応する位置に形成された前記アース導体と導通を持
たない微小導体部７と、 一部が曲げ加工されて前記検査面と接触する接点部９を
なし、両端が前記信号導体の先端部と前記微小導体部と
に各々固定された金属ワイヤ10とを備えたことを特徴と
している。

請求項２のプローブの接点構造は、請求項１のプローブ
の接点構造において、前記板状誘電体の前記検査面と対
面する側の先端部に前記金属ワイヤと同等の径を有する
半円切欠部16を形成し、該半円切欠部に前記金属ワイヤ
を嵌合して固定したことを特徴としている。

請求項３のプローブの接点構造は、請求項１のプローブ
の接点構造において、前記板状誘電体の前記検査面と対
面する側の端部にテーパ面17を形成し、該テーパ面に沿
って前記金属ワイヤを固定したことを特徴としている。

［作用］ 請求項１のプローブの接点構造において、一方の面に信
号導体５が、他方の面にアース導体６が形成された板状
誘電体１は、被測定物の検査面８の上下に移動可能に検
査面８に対して垂直に配置される。一部が曲げ加工され
て検査面８と接触する接点部９をなす金属ワイヤ10の両
端は、信号導体５の先端部と、アース導体６と導通を持
たないようにアース導体６の面側に形成された微小導体
部７とに各々固定される。これにより、接点部９を小さ
く構成してインピーダンスの乱れを小さくすることがで
きる。また、従来の針状の接点とは異なり、接点部９は
被測定物の検査面８に対して面接触するので、検査面８
を傷付けたり、針部の変形により位置ずれを起こして検
査不良を招く虞がない。

請求項２のプローブの接点構造において、板状誘電体１
の検査面８と対面する側の先端部には、金属ワイヤ10と
同等の径を有する半円切欠部16が形成されている。この
半円切欠部16に金属ワイヤ10を嵌合して固定することに
より、板状誘電体１に対する接点部９をなす金属ワイヤ
10のずれを防止することができる。

請求項３のプローブの接点構造において、板状誘電体１
の検査面８と対面する側の端部には、テーパ面17が形成
されている。このテーパ面17に沿って金属ワイヤ10を固
定することにより、金属ワイヤ10を加工せずに所望形状
の接点部を構成することができる。

［実施例］ 第１図は本考案によるプローブの接点構造の一実施例を
示す図である。

この実施例による多ピンプローブは、被測定物として例
えばウェハ状の電子回路部品等のように複数配設された
入出力端子に接触させて電気特性や性能等の検査を行な
っており、板状誘電体１、ガイドピン２を備えて概略構
成されるプローブ３が固定板４に複数取付けられたもの
である。

板状誘電体１は被測定物の検査面に対して垂直に配置さ
れ、例えばアルミナ基板からなり、一方の面には所定端
部より先端部1aに向けて信号導体５が形成され、他方の
面にはアース導体６が形成されており、マイクロストリ
ップ構造をなしている。また、信号導体５の先端部と対
面するアース導体６面には、アース導体６と導通を持た
ない微小導体部７が形成されている。さらに、板状誘電
体１には信号導体５の終端である先端部1aに被測定物の
検査面８と接触して導通を図る接点部９が設けられてい
る。この接点部９は曲げ加工された金属ワイヤ10の一部
からなるもので、金属ワイヤ10の両端はボンディングあ
るいはハンダ等の接着手段によって信号導体５の先端部
と微小導体部７とに各々固定されている。

なお、板状誘電体１の下端部1bは接点部７の検査面との
導通時に検査面８と接触しないように傾斜している。さ
らに、この板状誘電体１の上端部1cにはガイドピン２を
取付けるための切欠部11が２カ所に形成されている。

円柱形状のガイドピン２は一端に切欠凹部2aが形成され
ており、ガイドピン２は切欠凹部2aが板状誘電体１の切
欠部11に嵌合された状態でハンダ等の固定材により板状
誘電体１と固定されている。

以上のように、板状誘電体１とガイドピン２を備えて構
成されるプローブ３は、ガイドピン２の取付位置に応じ
てガイドピン２よりも大径に形成された固定板４の２個
一対の取付穴12に各ガイドピン２が挿通されて取付けら
れており、板状誘電体１はガイドピン２を介して摺動保
持されている。また、各ピンプローブ３のガイドピン２
には交互に抜止め用のストッパ部材13が取付けられてお
り、固定板４の下面4aと板状誘電体１の上端部1cとの間
は所定の距離が保たれている。さらに、ガイドピン２が
取付けられた固定板４の取付穴12,12間には、スプリン
グ14を保持するための保持穴15が形成されている。

スプリング14は一端が板状誘電体１の上端部1cに当接し
た状態で保持穴15に保持されており、接点部９が被測定
物の検査面８と接触して各ガイドピン２が取付穴12に沿
って摺動し、板状誘電体１が上方に移動した際に、弾性
力によって検査面に一定の荷重を加えている。

以上のように構成される多ピンプローブでは、被測定物
の電気特性や性能等を検査するにあたって、接点部９に
被測定物の検査面８が接触すると、板状誘電体１が押し
上げられて各ガイドピン２が取付穴12に沿って摺動す
る。そして、この摺動動作によって縮められたスプリン
グ14の弾性力により、接点部９を介して検査面８に対し
一定の荷重が加えられ、接点部９より信号導体５を介し
て信号が導かれ、図示しない測定器によって被測定物の
信号の検査が行なわれる。

従って、上述した実施例では、接点部９をなす金属ワイ
ヤ10が、検査面に対して垂直に配置されて上下移動する
板状誘電体１の先端部分に固定された構成なので、接点
部９を小さく構成することができ、これによってインピ
ーダンスの乱れを従来に比べて小さくすることができ
る。

また、接点部９は金属ワイヤ10の曲げ加工によって形成
されているので、検査面８とは略円筒側面で接触するこ
とになり、検査面８に付く傷は従来の針タイプの接点に
比べて滑らかであり大きく深い傷を付ける虞がない。ま
た、検査面８とは面接触するので、従来の針タイプの接
点に比べて接触が安定し、また針の変形等による位置ず
れがなく検査不良を招く虞もない。

次に、第２図乃至第４図は他の実施例による接点構造を
示す図である。

第２図に示す接点構造は、信号導体５が形成された板状
誘電体１の先端部1aに金属ワイヤ10と同等の径を有する
半円切欠部16が形成され、この半円切欠部16に金属ワイ
ヤ10が嵌合固定されたもである。

この接点構造によれば、図中矢印にて示すＡ方向に対す
るずれ、つまり、板状誘電体１の長さ方向のずれを防止
することができる。

次に、第３図及び第４図に示す接点構造は、板状誘電体
１の端部1dにテーパ面17を形成し、このテーパ面17に沿
って金属ワイヤ10を固定したものである。

この接点構造によれば、金属ワイヤ10を加工せずに所望
形状の接点部９を構成することができる。

ところで、上述した実施例では、板状誘電体１を移動可
能な構造とするため、板状誘電体１に固定されたガイド
ピン２が固定板４の取付穴12に沿って移動する構成を例
にとって説明したが、例えば板状誘電体１の一端を弾性
を有する部材で保持する構成としてもよい。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案による請求項１のプローブ
の接点構造は、接点部なす金属ワイヤが、検査面に対し
て垂直に配置されて上下移動可能な板状誘電体の先端部
分に固定された構成なので、接点部を小さく構成してイ
ンピーダンスの乱れを小さくすることができる。また、
従来の針状の接点とは異なり、接点部は被測定物の検査
面に対して面接触するので、検査面を傷付けたり、針部
の変形により位置ずれを起こして検査不良を招く虞がな
い。

請求項２のプローブの接点構造は、板状誘電体の検査面
と対面する側の先端部に金属ワイヤと同等の径を有する
半円切欠部を形成し、この半円切欠部に金属ワイヤを嵌
合して固定した構成なので、板状誘電体に対する接点部
をなす金属ワイヤのずれを防止することができる。

請求項３のプローブの接点構造は、板状誘電体の検査面
と対面する側の端部にテーパ面を形成し、このテーパ面
に沿って金属ワイヤを固定した構成なので、金属ワイヤ
を加工せずに所望形状の接点部を構成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるプローブの接点構造の一実施例を
示す図、第２図乃至第４図は他の実施例による接点構造
の一例を示す図、第５図は従来の接点構造の一例を示す
図である。 １……板状誘電体、５……信号導体、６……アース導
体、７……微小導体部、８……検査面、９……接点部、
10……金属ワイヤ、16……半円切欠部、17……テーパ
面。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】一方の面に形成された信号導体（５）と、
   他方の面に形成されたアース導体（６）とを有し、被測
   定物の検査面（８）に対して垂直に配置され、該検査面
   に対して上下に移動可能な板状誘電体（１）と、 前記アース導体が形成された面の前記信号導体の先端部
   と対応する位置に形成された前記アース導体と導通を持
   たない微小導体部（７）と、 一部が曲げ加工されて前記検査面と接触する接点部
   （９）をなし、両端が前記信号導体の先端部と前記微小
   導体部とに各々固定された金属ワイヤ（10）とを備えた
   ことを特徴とするプローブの接点構造。
2. 【請求項２】前記板状誘電体の前記検査面と対面する側
   の先端部に前記金属ワイヤと同等の径を有する半円切欠
   部（16）を形成し、該半円切欠部に前記金属ワイヤを嵌
   合して固定した請求項１記載のプローブの接点構造。
3. 【請求項３】前記板状誘電体の前記検査面と対面する側
   の端部にテーパ面（17）を形成し、前記テーパ面に沿っ
   て前記金属ワイヤを固定した請求項１記載のプローブの
   接点構造。