JP4886422B2 - 四端子測定用プローブ - Google Patents
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Description
最初に、本発明を適用する四端子測定用プローブの構造について、図1を参照して説明する。
まず、プローブ案内機構によって、プローブ針の先端2a及び弾性変形部側のプローブ針の先端3aをプロービング対象体Pの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構が取付部5を矢印Aの方向に下動させると、図2に示すように、プローブ針の先端2aがプロービング対象体Pに接触する。さらに矢印Aの方向に下動させると、主に、上部板ばね9a及び下部板ばね9bは、夫々の弾性変形部側の端を中心にして、図面正面から見て反時計回りの方向に弾性変形する。その結果、図3に示すように、弾性変形部側のプローブ針の先端3aが、矢印Aの方向でプロービング対象体P側に付勢され、接触する。その後、さらに下動を続けると、主に、変形支点8a〜8dが弾性変形する。その際、取付部5の位置を基準とすると、連結用アーム6,7は、変形支点8b,8dを中心にして、図面正面から見て反時計回りの方向にそれぞれ相対的に回転する。同時に、変形支点8a〜8dの元の状態に復帰しようとする復帰力がプローブ針の先端2a及び弾性変形部側のプローブ針の先端3aに作用する。その復帰力は、矢印Aの方向でプロービング対象体Pに付勢される。そして、プローブ針の先端2a及び弾性変形部側のプローブ針の先端3aとプロービング対象体Pとの電気的接触が安定したところで下動を止め、電気的性能検査を行う。
そのため、四本のプローブ針を用いて一つのプロービング対象について測定することができ、より精度の高い性能検査が可能である。
Claims (5)
- 電気測定器の操作アームに弾性変形部を介して取り付けられる、四端子測定プローブの片側二端子を構成する二本のプローブ針であって、該二本のプローブ針を取り付けるためのプローブ固定部が該弾性変形部に連結されており、
該プローブ固定部は、該弾性変形部側で片持ち支持されると共に該弾性変形部の変形方向と同一面に変形方向を持つ板ばねを有し、該板ばねの該弾性変形部から離れた側に一本の該プローブ針が取り付けられ、該板ばねの該弾性変形部側に他の一本の該プローブ針が取り付けられていて、その二本の先端は先窄まりで接近していることを特徴とする四端子測定用プローブ。 - 該板ばねが二枚構成であることを特徴とする請求項1に記載の四端子測定用プローブ。
- 該二本のプローブ針のうち該弾性変形部の変形支点から離れた側の一本の先端が他の一本の先端よりも突出していることを特徴とする請求項1に記載の四端子測定用プローブ。
- 該プローブ針が、該弾性変形部および該板ばねの変形面に交差する方向に傾斜して該プローブ固定部に取り付けられ、該プローブ針の先端が、該変形面に交差する方向へ該プローブ固定部よりも突出していることを特徴とする請求項1に記載の四端子測定用プローブ。
- 請求項4に記載した四端子測定用プローブの2本を、前記により傾斜してプローブ固定部よりも突出しているプローブ針の先端が向き合う方向に、互いの該プローブ固定部を対向させ、4本のプローブ針の先端が接近して一つのプロービング対象について端子測定を行うことを特徴とする検査方法。
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