JPH0747740Y2 - プローブの接点構造 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、被測定物として例えば電子回路部品等の入出
力端子に接触させて電気特性や性能等を検査する際に用
いられるプローブの接点構造に関するものである。

［従来の技術］ 例えば電子回路部品の入出力端子に接触させてその電気
特性を検査する場合には、第２図（ａ），（ｂ）に示す
プローブが用いられていた。

このプローブはタングステンよりなる丸棒部材20の中途
位置が折曲され、その先端部が研磨により先細に成形さ
れて電子回路部品の入出力端子に所定の接触面積をもっ
て接触する針部21と、一方の面に信号導体22が形成され
るとともに、他方の面がアース導体23をなし、信号導体
22と導通するように針部21を固定する板状誘電体24とが
電子回路部品の入出力端子の数に対応して設けられ、各
板状誘電体24は電子回路部品の入出力端子の各位置に対
応して固定部材25に所定間隔を置いて固定されており、
電子回路部品の各特性検査を行なう際には、針部21の撓
みによって各入出力端子に対する接触荷重を得ていた。

［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、上述した従来のプローブでは、被測定物
である電子回路部品の入出力端子と適切な接触荷重を得
るために針部21を長く形成して撓みを取っているが、こ
の針部21が長いが故にインピーダンスに大きな乱れが生
じ測定波形を乱すという問題があった。

また、針部21の直径が太いことから先端部にテーパ26を
付けて各針部21を扇状に並べる必要があるため、多くの
針部21を高密度に実装することができなかった。

また、入出力端子との接触荷重は、針部21の撓みにより
決まるため、針部21の加工精度が直接接触荷重に影響し
ていた。

しかしながら、この種のプローブの針部21は研磨、曲げ
工程を経て製造されるため寸法上のバラツキが多くした
がって接触荷重にもバラツキがあった。

また、入出力端子に対しての位置合わせを、はんだ付け
作業で行っていたため、非常に困難であった。

また、使用時に針部21が変形し位置ずれを起こしやすい
ため、測定不良を招く虞があった。

さらに、被測定物の検査面に対する荷重量を十分に得る
ために針部21が長く形成されているので、針部21の曲が
りによる位置ずれを起こして検査不良を招く虞があっ
た。

そこで、本考案は上述した問題点に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、高密度実装が可能で、接点を小
さく構成してインピーダンスの乱れを小さくでき、位置
ずれを起こして検査不良を招くことなく被測定物の電気
特性や性能等の検査を行なうことができるプローブの接
点構造を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、本考案によるプローブの接点
構造は、一方の面に形成された信号導体５と、他方の面
に形成されたアース導体６とを有し、被測定物の検査面
８に対して垂直に配置され、該検査面に対して上下に移
動可能な板状誘電体１と、 該板状誘電体の先端部における板厚端面に形成された切
欠きあるいは溝のどちらか一つからなる取付部９と、 前記板状誘電体のほぼ板厚と同等の大きさに形成された
取付端面11を有し、該取付端面が前記信号導体と導通す
るようにして前記取付部における前記板状誘電体の板厚
内に固定された微小長さによる針状の接点部10とを備え
たことを特徴としている。

［作用］ 本考案のプローブの接点構造において、一方の面に信号
導体５が、他方の面にアース導体６が形成された板状誘
電体１は、被測定物の検査面８の上下に移動可能に検査
面８に対して垂直に配置される。検査面８と接触する微
小長さによる針状の接点部10は、取付端面11が板状誘電
体１のほぼ板厚と同等の大きさに形成される。接点部10
は、板状誘電体１の先端部の板厚端面に形成された切欠
きあるいは溝のどちらか一つからなる取付部９における
板状誘電体１の板厚内に取付端面11を介して固定され
る。これにより、接点部10を小さく構成してインピーダ
ンスの乱れを小さくすることができる。しかも、接点部
10は板状誘電体からはみ出さないので、限られたスペー
スでの高密度実装が可能になる。また、接点部10を微小
長さに構成することで、従来の針部の変形により位置ず
れを起こして検査不良を招く虞がない。

［実施例］ 第１図（ａ）は本考案によるプローブの接点構造の一実
施例を示す側面図、第１図（ｂ）は、プローブの平面図
である。

この実施例による多ピンプローブは、被測定物として例
えばウェハ状の電子回路部品等のように複数配設された
入出力端子に接触させて電気特性や性能等の検査を行な
っており、板状誘電体１、ガイドピン２を備えて概略構
成されるプローブ３が固定板４に複数取付けられたもの
である。

板状誘電体１は被測定物の検査面に対して垂直に配置さ
れ、例えばアルミナ基板からなり、一方の面には所定端
部より先端部1aに向けて信号導体５が形成され、他方の
面にはアース導体６が形成されており、マイクロストリ
ップ構造をなしている。また、信号導体５の先端部及び
この先端部と対面するアース導体６面には、アース導体
６と導通を持たずに信号導体５と導通する接点部導体７
が形成されている。さらに、板状誘電体１には信号導体
５の終端である先端部1aに取付部をなす切欠き９が形成
されており、この切欠き９には被測定物の検査面８と接
触して導通を図る接点部10が固定されている。接点部10
は取付端面11が板状誘電体１の板厚とほぼ同等の大きさ
で微小長さの針状に形成された接点針からなり、板状誘
電体１からはみ出さないように信号導体５及び接点部導
体７と導通し、先端部10aが板状誘電体体１の下端部1b
より突出した状態で、取付端面11及び外周の一部10bが
ハンダあるいは接着等の接着手段により接着されて切欠
き９内に固定されている。

なお、板状誘電体１の下端部1bは接点部10の検査面８と
の導通時に検査面８と接触しないように傾斜している。
さらに、この板状誘電体１の上端部1cにはガイドピン２
を取付けるための切欠部12が２カ所に形成されている。

円柱形状のガイドピン２は一端に切欠凹部2aが形成され
ており、ガイドピン２は切欠凹部2aが板状誘電体１の切
欠部12に嵌合された状態でハンダ等の固定材により板状
誘電体１と固定されている。

以上のように、板状誘電体１とガイドピン２を備えて構
成されるプローブ３は、ガイドピン２の取付位置に応じ
てガイドピン２よりも大径に形成された固定板４の２個
一対の取付穴13に各ガイドピン２が挿通されて取付けら
れており、板状誘電体１はガイドピン２を介して摺動保
持されている。また、各プローブ３のガイドピン２には
交互に抜止め用のストッパ部材14が取付けられており、
固定板４の下面4aと板状誘電体１の上端部1cとの間は所
定の距離が保たれている。さらに、ガイドピン２が取付
けられた固定板４の取付穴13,13間には、スプリング15
を保持するための保持穴16が形成されている。

スプリング15は一端が板状誘電体１の上端部1cに当接し
た状態で保持穴16に保持されており、接点部10が被測定
物の検査面８と接触して各ガイドピン２が取付穴13に沿
って摺動し、板状誘電体１が上方に移動した際に、弾性
力によって検査面８に一定の荷重を加えている。

以上のように構成される多ピンプローブでは、被測定物
の電気特性や性能等を検査するにあたって、接点部10に
被測定物の検査面８が接触すると、板状誘電体１が押し
上げられて各ガイドピン２が取付穴13に沿って摺動す
る。そして、この摺動動作によって縮められたスプリン
グ15の弾性力により、接点部10を介して検査面８に対し
一定の荷重が加えられ、接点部10より信号導体５を介し
て信号が導かれ、図示しない測定器によって被測定物の
信号の検査が行なわれる。

従って、上述した実施例では、板状誘電体１が移動する
構成で、接点部10が板状誘電体１のほぼ板厚幅で切欠き
９内に固定されているので、接点部10を十分に小さく構
成することができ、これによってインピーダンスの乱れ
を従来に比べて小さくすることができる。また、接点部
10が板状誘電体１の端面からほとんどはみ出さない構成
なので、ガイドピン２の外径に応じて限られたスペース
での高密度実装が可能となる。

また、板状誘電体１の移動及びスプリング15の作用によ
って被測定物の検査面８に対する接触荷重が十分に得ら
れることから、また接点部10が微小長さの針状に形成さ
れているので、上から覗いた場合でも接点部近傍を見る
ことができ、被測定物とプローブとの位置合わせが非常
に容易である。検査面８と接点部10との接触状態を視認
できる。また、従来のように針部の曲がりによる位置ず
れを起こして検査不良を招くことなく、常に安定した接
触が得られ、被測定物の電気特性や性能等の検査を行な
うことができる。

ところで、上述した実施例では、板状誘電体１を移動可
能な構造とするため、板状誘電体１に固定されたガイド
ピン２が固定板４の取付穴12に沿って移動する構成を例
にとって説明したが、例えば板状誘電体１の一端を弾性
を有する部材で保持する構成としてもよい。

また、上述した実施例では、接点部10が固定される取付
部として切欠き９が形成された場合を例にとって説明し
たが、板状誘電体１がある程度の板厚を有している場合
には、板状誘電体１の先端部に溝を形成して接点部10を
固定するようにしてもよい。

［考案の効果］ 以上説明したように、本考案によるプローブの接点構造
は、針状の接点部が、検査面に対して垂直に配置されて
上下移動可能な板状誘電体の先端部の板厚内に固定され
た構成なので、接点を小さく構成してインピーダンスの
乱れを小さくすることができる。しかも、板状誘電体は
検査面に対して垂直に配置され、接点部は板状誘電体か
らはみ出さないので、限られたスペースでの高密度実装
が可能になる。また、接点部は微小長さの針状に形成さ
れているので、上から覗いた場合でも検査面と接点部と
の接触状態を視認して被測定物とプローブとの位置合わ
せをきわめて容易に行なうことができ、従来のように針
部の変形による位置ずれを起こして検査不良を招くこと
なく、検査面との安定した接触により被測定物の電気特
性や性能等の検査を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ）は本考案によるプローブの接点構
造の一実施例を示す図、第２図（ａ），（ｂ）は従来の
プローブの接点構造の一例を示す図である。 １……板状誘電体、５……信号導体、６……アース導
体、８……検査面、９……切欠き（取付部）、10……接
点部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】一方の面に形成された信号導体（５）と、
   他方の面に形成されたアース導体（６）とを有し、被測
   定物の検査面（８）に対して垂直に配置され、該検査面
   に対して上下に移動可能な板状誘電体（１）と、 該板状誘電体の先端部における板厚端面に形成された切
   欠きあるいは溝のどちらか一つからなる取付部（９）
   と、 前記板状誘電体のほぼ板厚と同等の大きさに形成された
   取付端面（11）を有し、該取付端面が前記信号導体と導
   通するようにして前記取付部における前記板状誘電体の
   板厚内に固定された微小長さによる針状の接点部（10）
   とを備えたことを特徴とするプローブの接点構造。