JPH0742140Y2

JPH0742140Y2 - プローブのアース構造

Info

Publication number: JPH0742140Y2
Application number: JP1990027227U
Authority: JP
Inventors: 克哉佐藤
Original assignee: Anritsu Corp
Current assignee: Anritsu Corp
Priority date: 1990-03-19
Filing date: 1990-03-19
Publication date: 1995-09-27
Anticipated expiration: 2005-03-19
Also published as: JPH03117769U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、被測定物として例えば電子回路部品等の入出
力端子に接触させて電気特性や性能等を検査するプロー
ブのアース構造に関するものである。

［従来の技術］例えば電子回路部品等の入出力端子に接点を接触させて
電気的導通を図ることにより、電気特性や性能等を検査
するものとしてプローブが知られている。

第４図（ａ），（ｂ）はこうしたプローブに対して従来
より適用されているアース構造の一例を示している。

例えば図示のように３本のプローブ21の共通アースを取
る場合には、金属ワイヤ22でリングを作り、このリング
状のワイヤ22をすべてのプローブ21のアース導体23に固
定していた。また、リング状のワイヤ22に代えて金属枠
板を用いたものもあった。

［考案が解決しようとする課題］しかしながら、上述した従来のアース構造では、各プロ
ーブ21,21間のアース、特に対角に位置するプローブ21,
21間のアースが最短距離で接続されていないために高周
波信号を伝送することができなかった。また、共通アー
スに用いられるワイヤ22の直径が太くなるに従って各プ
ローブ21の上下の自由が効かなくなり、被測定物の検査
面24に対する接点部25の接触を均一に取ることができず
検査不良を招く虞があった。

そこで、本考案は上述した問題点に鑑みてなされたもの
であって、その目的は、金属ワイヤの数が増加しても、
すべての金属ワイヤを一カ所にまとめて一度に固定して
共通アースを取ることができ、各プローブの上下方向の
移動もある程度自由で、被測定物の検査面に対して安定
した接触が得られるプローブのアース構造を提供するこ
とにある。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するため、本考案によるプローブのアー
ス構造は、先端に被測定物の検査面３と接触する接点部
2,13が形成された信号導体11と、アース導体5,12とを有
するプローブ4,9が、前記検査面に対して上下方向に移
動可能に複数配設されたプローブのアース構造におい
て、一端が前記各プローブのアース導体に対して電気的に導
通を持たせて固定された弾性を有する複数の金属ワイヤ
６と、前記複数のプローブの先端部分によって囲まれる空間部
内に各プローブから所定距離離れて前記検査面の直上に
配置され、前記各金属ワイヤの他端が挿入固定されて前
記各プローブのアース導体間を電気的に導通して共通ア
ースを取る筒状のリング部材20とを備えたことを特徴と
している。

［作用］各プローブ4,9のアース導体5,12には、金属ワイヤ６の
一端が電気的に導通を持って固定される。各アース導体
5,12に固定された金属ワイヤ６の他端は、各プローブ4,
9から離れた空間部内の検査面３直上に配置されたリン
グ部材20に挿入固定される。これにより、各プローブ4,
9のアース導体5,12は、それぞれ金属ワイヤ６を介して
リング部材20で一カ所にまとめられた状態で電気的に導
通して共通アースが取られる。

［実施例］第１図（ａ）はセミリジット構造のプローブの構成を示
す平面図、第１図（ｂ）は同正面図である。

第１図におけるプローブは、中心導体が信号導体をなす
セミリジットケーブル１の先端に接点部２が固定された
もので、被測定物の検査面（チップ）３の各辺の中央に
接点部２が位置するように３つのプローブ４が配設され
ている。また、各プローブ４のアース導体５の先端近傍
には弾性を有する金属ワイヤ６の一端が固定され、各金
属ワイヤ６の他端は検査面３の中心に当たる位置の上方
である程度余裕をもって集結して例えばボンディング、
ハンダ、導電性接着剤等によって固定されており、各金
属ワイヤ6,6間の電気的導通がなされている。

このプローブでは、金属ワイヤ６の一端を各プローブ４
のアース導体５に固定し、各金属ワイヤ６の他端を検査
面３の中心位置の上方で集結して固定しており、各プロ
ーブ4,4間のアースを最短距離で接続して高周波信号を
伝送している。

また、各金属ワイヤ６はある程度余裕をもって検査面３
の上方で集結して固定されており、各プローブ４は各々
上下方向に対する移動の自由度が保て、各プローブ４を
検査面３に対して均一に接触させて安定した検査が行わ
れる。

次に、第２図はマイクロストリップ構造の多ピンプロー
ブの構成を示している。

この多ピンプローブは板状誘電体７、ガイドピン８を備
えて概略構成されるプローブ９が固定板10に複数取付け
られたものである。

板状誘電体７は例えばアルミナ基板からなり、一方の面
には所定端部より先端部7aに向けて信号導体11が形成さ
れ、他方の面にはアース導体12が形成されており、マイ
クロストリップ構造をなしている。板状誘電体７の各ア
ース導体12の先端近傍には金属ワイヤ６の一端が固定さ
れ、各金属ワイヤ６の他端は検査面３の中心に当たる位
置の上方である程度余裕をもって集結して例えばボンデ
ィング、ハンダ、導電性接着剤等によって固定されてお
り、各金属ワイヤ6,6間の電気的導通がなされ共通アー
スが取られている。また、板状誘電体７には信号導体11
の終端である先端部7aに被測定物の検査面３と接触して
導通を図る接点部13が形成されており、板状誘電体７の
下端部7bは接点部13の検査面との導通時に検査面３と接
触しないように傾斜している。さらに、この板状誘電体
７の上端部7cにはガイドピン８を取付けるための切欠部
14が２カ所に形成されている。

円柱形状のガイドピン８は一端に切欠凹部8aが形成され
ており、ガイドピン８は切欠凹部8aが板状誘電体７の切
欠部14に嵌合された状態でハンダ等の固定材により板状
誘電体７と固定されている。

以上のように、板状誘電体７とガイドピン８を備えて構
成されるピンプローブ９は、ガイドピン８の取付位置に
応じてガイドピン８よりも大径に形成された固定板10の
２個一対の取付穴15に各ガイドピン８が挿通されて取付
けられており、板状誘電体７はガイドピン８を介して摺
動保持されている。また、各ピンプローブ９のガイドピ
ン８には交互に抜止め用のストッパ部材16が取付けられ
ており、固定板10の下面10aと板状誘電体７の上端部7c
との間は所定の距離が保たれている。さらに、ガイドピ
ン８が取付けられた固定板10の取付穴15,15間には、ス
プリング17を保持するための保持穴18が形成されてい
る。

スプリング17は一端が板状誘電体７の上端部7cに当接し
た状態で保持穴18に保持されており、接点部13が被測定
物の検査面３と接触して各ガイドピン８が取付穴15に沿
って摺動し、板状誘電体７が上方に移動した際に、弾性
力によって検査面に一定の荷重を加えている。

以上のように構成される多ピンプローブでは、被測定物
の電気特性や性能等を検査するにあたって、接点部13に
被測定物の検査面３が接触すると、板状誘電体７が押し
上げられて各ガイドピン８が取付穴15に沿って移動す
る。そして、この摺動動作によって縮められたスプリン
グ17の弾性力により、接点部13を介して検査面３に対し
一定の荷重が加えられ、接点部13より信号導体11を介し
て信号が導かれ、図示しない測定器によって被測定物の
信号の検査が行なわれる。

従って、上述したように各アース導体12に金属ワイヤ６
の一端を固定し、各金属ワイヤ６の他端を検査面３の中
心に当たる位置の上方で集結して接続することにより、
アース導体12が検査面３に対して垂直に配設され、従来
のリング構造では不可能とされていたマイクロストリッ
プ構造であっても各板状誘電体７間の間隙を有効的に利
用して共通アースが取られる。

次に、第３図は上記プローブに適用される本考案による
アース構造の一実施例を示している。

この実施例によるアース構造は、上記プローブ4,9にお
いて、各アース導体12より集結された金属ワイヤ６を一
カ所にまとめて固定するためのリング部材20を備えてい
る。

すなわち、各金属ワイヤ６を接続する場合には、各金属
ワイヤ６をリング部材20に挿入し、すべての金属ワイヤ
６が挿入された状態で、ハンダあるいは導電性接着剤に
よって各金属ワイヤ６をリング部材20に固定した後にリ
ング部材20を検査の邪魔にならない検査面３の中心に当
たる位置の上方まで引上げる。

従って、上述したリング部材20を用いることにより、金
属ワイヤ６の数が増加しても、すべての金属ワイヤ６を
一カ所にまとめて一度に固定して共通アースを取ること
ができる。

ところで、上述した実施例では、セミリジット構造及び
マイクロストリップ構造によるプローブのアース構造に
ついて説明したが、コープレナー構造のプローブに上述
したアース構造を適用しても同様の効果を得ることがで
きる。

［考案の効果］以上説明したように、本考案のプローブのアース構造に
よれば、各プローブ毎に固定される金属ワイヤの数が増
加しても、すべての金属ワイヤを一カ所にまとめて一度
に固定して共通アースを取ることができ、しかも、各プ
ローブは上下方向に対して移動の自由が効き、被測定物
の検査面に接点部を安定して接触させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）はセミリジット構造のプローブの構成を示
す平面図、第１図（ｂ）は同正面図、第２図はマイクロ
ストリップ構造の多ピンプローブの構成図、第３図は第
１図及び第２図のプローブに適用される本考案のプロー
ブのアース構造の一実施例を示す図、第４図は従来のア
ース構造の一例を示す図である。３……検査面、4,9……プローブ、5,12……アース導
体、６……金属ワイヤ、７……板状誘電体、11……信号
導体。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】先端に被測定物の検査面（３）と接触する
接点部（2,13）が形成された信号導体（11）と、アース
導体（5,12）とを有するプローブ（4,9）が、前記検査
面に対して上下方向に移動可能に複数配設されたプロー
ブのアース構造において、一端が前記各プローブのアース導体に対して電気的に導
通を持たせて固定された弾性を有する複数の金属ワイヤ
（６）と、前記複数のプローブの先端部分によって囲まれる空間部
内に各プローブから所定距離離れて前記検査面の直上に
配置され、前記各金属ワイヤの他端が挿入固定されて前
記各プローブのアース導体間を電気的に導通して共通ア
ースを取る筒状のリング部材（20）とを備えたことを特
徴とするプローブのアース構造。