JP2572932Y2 - 高周波測定プローブ - Google Patents
高周波測定プローブInfo
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- JP2572932Y2 JP2572932Y2 JP1991033070U JP3307091U JP2572932Y2 JP 2572932 Y2 JP2572932 Y2 JP 2572932Y2 JP 1991033070 U JP1991033070 U JP 1991033070U JP 3307091 U JP3307091 U JP 3307091U JP 2572932 Y2 JP2572932 Y2 JP 2572932Y2
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- JP
- Japan
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- conductive layer
- insulating
- blade
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- insulating blade
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は例えばハイブリットＩ
Ｃのような素子の動作を試験する場合に用いる高周波測
定プローブに関する。
Ｃのような素子の動作を試験する場合に用いる高周波測
定プローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３乃至図５に、従来のプローブの構造
を示す。図中１はプローブカードを示す。このプローブ
カード１は絶縁板によって構成され、中央に開口部２が
形成され、この開口部２にプローブ３が複数突出して取
付けられる。プローブ３の先端が被測定体４に電気的に
接触して測定を行なう。
を示す。図中１はプローブカードを示す。このプローブ
カード１は絶縁板によって構成され、中央に開口部２が
形成され、この開口部２にプローブ３が複数突出して取
付けられる。プローブ３の先端が被測定体４に電気的に
接触して測定を行なう。
【０００３】被測定体４は例えばハイブリットＩＣのよ
うな素子であり、被測定体４の上面に電気的な入出力端
子及び電源端子が形成され、この端子にプローブ３の先
端が電気的に接触して測定装置等に電気的に接続する。
従来のプローブ３は図４及び図５に示すように金属ブレ
ード３Ａと、この金属ブレード３Ａの先端に取付た導電
性バネ材から成る接触子３Ｂとによって構成される。金
属ブレード３Ａは例えば銅、シンチュウ等の電気的良導
体によって形成され、その先端に取付けられる導電性バ
ネ材は例えばパラジウムのように腐蝕し難いバネ材によ
って形成する。
うな素子であり、被測定体４の上面に電気的な入出力端
子及び電源端子が形成され、この端子にプローブ３の先
端が電気的に接触して測定装置等に電気的に接続する。
従来のプローブ３は図４及び図５に示すように金属ブレ
ード３Ａと、この金属ブレード３Ａの先端に取付た導電
性バネ材から成る接触子３Ｂとによって構成される。金
属ブレード３Ａは例えば銅、シンチュウ等の電気的良導
体によって形成され、その先端に取付けられる導電性バ
ネ材は例えばパラジウムのように腐蝕し難いバネ材によ
って形成する。
【０００４】プローブカード１には開口部２に沿って導
電層５が島状に形成され、この導電層５に金属ブレード
３Ａを半田付する等して取付けている。各プローブ３は
プローブカード１に形成した印刷配線パターン６によっ
てコンタクト７に接続するか又は高周波回路では同軸ケ
ーブル８によってコンタクト７に電気的に接続され、コ
ンタクト７を通じて測定器等に接続される。
電層５が島状に形成され、この導電層５に金属ブレード
３Ａを半田付する等して取付けている。各プローブ３は
プローブカード１に形成した印刷配線パターン６によっ
てコンタクト７に接続するか又は高周波回路では同軸ケ
ーブル８によってコンタクト７に電気的に接続され、コ
ンタクト７を通じて測定器等に接続される。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】従来のプローブ３は金
属ブレード３Ａと導電性バネ材によって形成された接触
子３Ｂとによって構成されるため、高周波信号に対して
はインピーダンス整合がとれていない。従って高周波信
号を授受する回路が存在する場合、高周波信号の波形に
歪みを与え、正確な測定を行なうことができない欠点が
ある。
属ブレード３Ａと導電性バネ材によって形成された接触
子３Ｂとによって構成されるため、高周波信号に対して
はインピーダンス整合がとれていない。従って高周波信
号を授受する回路が存在する場合、高周波信号の波形に
歪みを与え、正確な測定を行なうことができない欠点が
ある。
【０００６】この考案の目的は高周波信号に対してもイ
ンピーダンス整合がとれた状態で信号を授受することが
できる高周波測定プローブを提供しようとするものであ
る。
ンピーダンス整合がとれた状態で信号を授受することが
できる高周波測定プローブを提供しようとするものであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この考案ではブレードを
誘電体板から成る絶縁ブレードとし、この絶縁ブレード
にマイクロストリップラインを形成する。マイクロスト
リップラインの信号線に導電性バネ材によって形成した
信号用接触子を取付けると共に、マイクロストリップラ
インの接地用導体に適当な厚みを持つ導電ブロックを取
付け、この導電ブロックに導電性バネ材によって形成し
た接地用接触子を取付ける。信号用接触子及び接地用接
触子の遊端部は絶縁ブレードの端部から突出して支持さ
れ、その遊端部に被測定体の電極が接触される。
誘電体板から成る絶縁ブレードとし、この絶縁ブレード
にマイクロストリップラインを形成する。マイクロスト
リップラインの信号線に導電性バネ材によって形成した
信号用接触子を取付けると共に、マイクロストリップラ
インの接地用導体に適当な厚みを持つ導電ブロックを取
付け、この導電ブロックに導電性バネ材によって形成し
た接地用接触子を取付ける。信号用接触子及び接地用接
触子の遊端部は絶縁ブレードの端部から突出して支持さ
れ、その遊端部に被測定体の電極が接触される。
【０００８】この考案の構成によれば接触子の取付部分
までマイクロストリップラインによって信号路が形成さ
れるから、絶縁ブレードの部分ではインピーダンス整合
がとれた状態に維持することができる。然も接触子の部
分では接地用接触子が導電ブロックに固定されて支持さ
れ、信号用接触子と接地用接触子とが近接して被測定体
に向って延長されるから、接地用接触子の導電ブロック
に対する取付位置を厚み方向に選定し、信号用接触子と
接地用接触子が対向する距離を適当に選定することによ
ってインピーダンスをマイクロストリップライン上の特
性インピーダンスに近ずけることができる。
までマイクロストリップラインによって信号路が形成さ
れるから、絶縁ブレードの部分ではインピーダンス整合
がとれた状態に維持することができる。然も接触子の部
分では接地用接触子が導電ブロックに固定されて支持さ
れ、信号用接触子と接地用接触子とが近接して被測定体
に向って延長されるから、接地用接触子の導電ブロック
に対する取付位置を厚み方向に選定し、信号用接触子と
接地用接触子が対向する距離を適当に選定することによ
ってインピーダンスをマイクロストリップライン上の特
性インピーダンスに近ずけることができる。
【０００９】従ってこの考案によれば接触子の部分から
ブレードの出口の部分まで、ほぼ全体にわたってインピ
ーダンス整合がとれたプローブを構成することができ
る。
ブレードの出口の部分まで、ほぼ全体にわたってインピ
ーダンス整合がとれたプローブを構成することができ
る。
【００１０】
【実施例】図１及び図２にこの考案の一実施例を示す。
図中１はプローブカード、２はこのプローブカード１に
形成した開口部、５はプローブカード１の上面に形成し
た細条の接地導電層を示す。１０はこの考案による高周
波測定プローブを示す。この考案による高周波測定プロ
ーブ１０は誘電体板から成る絶縁ブレード１１と、この
絶縁ブレード１１の一方の面の全体に形成した接地導電
層１２と、絶縁ブレード１１の他方の面に形成したマイ
クロストリップラインを構成する信号線１３と、この信
号線１３に一端側が電気的、機械的に接続された信号用
接触子１４と、接地導電層１２に電気的、機械的に接続
された導電ブロック１６と、この導電ブロック１６の被
測定体と対向する面に固定された接地用接触子１５とに
よって構成される。
図中１はプローブカード、２はこのプローブカード１に
形成した開口部、５はプローブカード１の上面に形成し
た細条の接地導電層を示す。１０はこの考案による高周
波測定プローブを示す。この考案による高周波測定プロ
ーブ１０は誘電体板から成る絶縁ブレード１１と、この
絶縁ブレード１１の一方の面の全体に形成した接地導電
層１２と、絶縁ブレード１１の他方の面に形成したマイ
クロストリップラインを構成する信号線１３と、この信
号線１３に一端側が電気的、機械的に接続された信号用
接触子１４と、接地導電層１２に電気的、機械的に接続
された導電ブロック１６と、この導電ブロック１６の被
測定体と対向する面に固定された接地用接触子１５とに
よって構成される。
【００１１】絶縁ブレード１１は誘電率が高く、マイク
ロストリップラインを構成することができる例えばセラ
ミック板を用いることができる。セラミック板から成る
絶縁ブレード１１は細条形状とされ、一方の面の全面に
マイクロストリップライン用の接地導電層１２が被着形
成される。絶縁ブレード１１の他方の面にはマイクロス
トリップラインを構成する信号線１３が形成される。信
号線１３は印刷配線パターンによって構成され、絶縁ブ
レード１１の先端部に向かって延長されて形成される。
ロストリップラインを構成することができる例えばセラ
ミック板を用いることができる。セラミック板から成る
絶縁ブレード１１は細条形状とされ、一方の面の全面に
マイクロストリップライン用の接地導電層１２が被着形
成される。絶縁ブレード１１の他方の面にはマイクロス
トリップラインを構成する信号線１３が形成される。信
号線１３は印刷配線パターンによって構成され、絶縁ブ
レード１１の先端部に向かって延長されて形成される。
【００１２】絶縁ブレード１１の先端に延長されて形成
された信号線１３に、信号用接触子１４を取付ける。こ
の取付は半田付、或は溶着等を利用することができる。
信号用接触子１４は、信号線１３と接触する部分だけ絶
縁ブレードの一方の面に接触し、この接触部分から折曲
られて絶縁ブレード１１の底面部分（被測定体と対向す
る面）に沿わせ、底面部の先端から前方に突出される。
された信号線１３に、信号用接触子１４を取付ける。こ
の取付は半田付、或は溶着等を利用することができる。
信号用接触子１４は、信号線１３と接触する部分だけ絶
縁ブレードの一方の面に接触し、この接触部分から折曲
られて絶縁ブレード１１の底面部分（被測定体と対向す
る面）に沿わせ、底面部の先端から前方に突出される。
【００１３】接地用接触子１５は接地導電層１２に半田
付等によって取付けられた導電ブロック１６の底面に一
端が取付けられて支持される。導電ブロック１６は接地
用接触子１５と信号用接触子１４との間の間隙Ｇを適当
な値に選定して接地用接触子１５を配置するために設け
られる。導電ブロック１６は銅或はシンチューのような
導電体によって構成される。
付等によって取付けられた導電ブロック１６の底面に一
端が取付けられて支持される。導電ブロック１６は接地
用接触子１５と信号用接触子１４との間の間隙Ｇを適当
な値に選定して接地用接触子１５を配置するために設け
られる。導電ブロック１６は銅或はシンチューのような
導電体によって構成される。
【００１４】信号線１３と接地導電層１２には同軸ケー
ブル１７の中心導体と外部導体とを接続し、同軸ケーブ
ル１７を通じて接触子１４と１５を図３に示したコンタ
クト７に接続する。絶縁ブレード１１は接地導電層１２
をプローブカード１に形成した導電層５に半田付してプ
ローブカード１上に固定する。
ブル１７の中心導体と外部導体とを接続し、同軸ケーブ
ル１７を通じて接触子１４と１５を図３に示したコンタ
クト７に接続する。絶縁ブレード１１は接地導電層１２
をプローブカード１に形成した導電層５に半田付してプ
ローブカード１上に固定する。
【００１５】上述したように、この考案によれば接触子
１４と１５の取付支持部までが同軸ケーブル１７とマイ
クロストリップラインを構成する信号線１３によって電
気信号路が構成される。マイクロストリップラインは周
知のように絶縁ブレード１１を構成する誘電体板の誘電
率と、信号線１３の線幅等を適当に設定することによっ
て特性インピーダンスを任意に設定することができる。
よってマイクロストリップラインと、同軸ケーブル１７
の特性インピーダンスを、整合させることができる。
１４と１５の取付支持部までが同軸ケーブル１７とマイ
クロストリップラインを構成する信号線１３によって電
気信号路が構成される。マイクロストリップラインは周
知のように絶縁ブレード１１を構成する誘電体板の誘電
率と、信号線１３の線幅等を適当に設定することによっ
て特性インピーダンスを任意に設定することができる。
よってマイクロストリップラインと、同軸ケーブル１７
の特性インピーダンスを、整合させることができる。
【００１６】またこの考案では信号用接触子１４と接地
用接触子１５を近接させて配置し、更に接地用接触子１
５を導電ブロック１６に固定する構造としたから、導電
ブロック１６の厚みの範囲で接地用接触子１５の位置を
任意に選定することができ、その対向間隔Ｇを適当な値
に設定することができる。よって接触子１４と１５の部
分の特性インピーダンスもマイクロストリップラインの
特性インピーダンス及び同軸ケーブルの特性インピーダ
ンスに近づける調整を行なうことができる。
用接触子１５を近接させて配置し、更に接地用接触子１
５を導電ブロック１６に固定する構造としたから、導電
ブロック１６の厚みの範囲で接地用接触子１５の位置を
任意に選定することができ、その対向間隔Ｇを適当な値
に設定することができる。よって接触子１４と１５の部
分の特性インピーダンスもマイクロストリップラインの
特性インピーダンス及び同軸ケーブルの特性インピーダ
ンスに近づける調整を行なうことができる。
【００１７】
【考案の効果】従ってこの考案によれば接触子１４及び
１５の先端から同軸ケーブル１７の接続部分までの間の
特性インピーダンスを同軸ケーブル１７の特性インピー
ダンスに整合させることができる。この結果、高周波信
号を授受する回路に用いることにより、授受する信号に
歪み、反射等を発生させることなく高周波信号を授受す
ることができる。よってこの考案による高周波測定プロ
ーブを高周波信号の伝送路に利用することによって高周
波用ハイブリッドＩＣ等を精度よく調整することがで
き、その効果は実用に供して頗る大である。
１５の先端から同軸ケーブル１７の接続部分までの間の
特性インピーダンスを同軸ケーブル１７の特性インピー
ダンスに整合させることができる。この結果、高周波信
号を授受する回路に用いることにより、授受する信号に
歪み、反射等を発生させることなく高周波信号を授受す
ることができる。よってこの考案による高周波測定プロ
ーブを高周波信号の伝送路に利用することによって高周
波用ハイブリッドＩＣ等を精度よく調整することがで
き、その効果は実用に供して頗る大である。
【図１】この考案の一実施例を示す斜視図。
【図２】この考案の一実施例を示す平面図。
【図３】従来の技術を説明するための平面図。
【図４】従来の技術を説明するための拡大平面図。
【図５】従来の技術を説明するための拡大側面図。
１０ プローブ １１ 絶縁ブレード １２ 接地導体 １３ 信号線 １４ 信号用接触子 １５ 接地用接触子 １６ 導電ブロック
Claims (1)
- 【請求項１】 Ａ．絶縁板によって構成され、この絶縁
板のほぼ中央に被測定体を露出させて配置するために、
この被測定体の平面形状より大きい面積で形成された開
口部を具備し、この開口部から周縁方向に延長して複数
本の細条導電層が形成されて構成されたプローブカード
と、 Ｂ．所定の厚みを具備し細条形の誘電体板によって構成
され、一方の面の全体に接地導電層が被着形成され、他
方の面に上記細条形の長軸方向に延長されたマイクロス
トリップラインを構成する信号線が形成され、上記プロ
ーブカードに形成された細条導電層に上記接地導電層を
これら接地導電層と上記細条導電層の面がほぼ直交する
姿勢で半田付けして固定され、遊端部が上記プローブカ
ードに形成された開口部に突出して支持された絶縁ブレ
ードと、 Ｃ．この絶縁ブレードに形成した上記信号線に一端が接
続され、その接続点から上記信号線が形成された面と直
交し、上記被測定体と対向する面側に折曲られ、この面
に沿って上記絶縁ブレードの遊端から上記絶縁ブレード
の長軸方向に突出して支持された導電性バネ材によって
形成された信号用接触子と、 Ｄ．上記絶縁ブレードの遊端部において、上記絶縁ブレ
ードの一方の面に被着形成した接地導電層に電気的機械
的に結合され上記絶縁ブレードの厚みと同程度の厚みを
持つ導電ブロックと、 Ｅ．この導電ブロックの上記被測定体と対向する面に一
端が固定され、その固定位置を上記導電ブロックの厚み
方向に選定して上記信号用接触子との間の間隙を適当値
に設定して配置した接地用接触子と、 によって構成したことを特徴とする高周波測定プロー
ブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991033070U JP2572932Y2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 高周波測定プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991033070U JP2572932Y2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 高周波測定プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04127577U JPH04127577U (ja) | 1992-11-20 |
| JP2572932Y2 true JP2572932Y2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=31915838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991033070U Expired - Fee Related JP2572932Y2 (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 高周波測定プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2572932Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4709707B2 (ja) * | 2006-07-28 | 2011-06-22 | 旺▲夕▼科技股▲分▼有限公司 | 高周波プローブカード |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175883A (ja) * | 1983-03-28 | 1984-10-04 | Wakamoto Pharmaceut Co Ltd | アルブミン分解物を用いた修飾ウロキナ−ゼ及びその製造法 |
| JPS61125031A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-12 | Hitachi Ltd | プロ−ブカ−ド |
| JPH02242165A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-26 | Hitachi Ltd | プローブユニット |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP1991033070U patent/JP2572932Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04127577U (ja) | 1992-11-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980120 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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