JP2001133482A - 高周波プローブ - Google Patents
高周波プローブInfo
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- JP2001133482A JP2001133482A JP31128399A JP31128399A JP2001133482A JP 2001133482 A JP2001133482 A JP 2001133482A JP 31128399 A JP31128399 A JP 31128399A JP 31128399 A JP31128399 A JP 31128399A JP 2001133482 A JP2001133482 A JP 2001133482A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高周波デバイスの電気計測に用いる高周波プロ
ーブに関し、実使用と等価な状態で信号レベルの測定が
可能な高周波プローブを提供する。 【解決手段】高周波プローブ本体１は、信号用探針８お
よびグランド用探針９がグランド−信号−グランドから
成るコプレーナ線路を構成する先端部４と、同軸線路部
２と、コプレーナ線路から同軸線路へインピーダンス変
換する変換部３とから構成される。金属ブロック１０
は、信号用探針８の先端から測定周波数の１／４波長の
距離Ｌで同軸線路部２の外周グランド導体７に結合さ
れ、被測定物５１のマイクロストリップ線路２４とその
両側に設けられたグランド電極パッド５４に共通に接触
することにより、計測点での線路インピーダンスを高く
する。
ーブに関し、実使用と等価な状態で信号レベルの測定が
可能な高周波プローブを提供する。 【解決手段】高周波プローブ本体１は、信号用探針８お
よびグランド用探針９がグランド−信号−グランドから
成るコプレーナ線路を構成する先端部４と、同軸線路部
２と、コプレーナ線路から同軸線路へインピーダンス変
換する変換部３とから構成される。金属ブロック１０
は、信号用探針８の先端から測定周波数の１／４波長の
距離Ｌで同軸線路部２の外周グランド導体７に結合さ
れ、被測定物５１のマイクロストリップ線路２４とその
両側に設けられたグランド電極パッド５４に共通に接触
することにより、計測点での線路インピーダンスを高く
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高周波デバイスの
電気計測に用いる高周波プローブに関し、特に実使用と
等価な状態で信号レベルの測定が可能な高周波プローブ
に関する。
電気計測に用いる高周波プローブに関し、特に実使用と
等価な状態で信号レベルの測定が可能な高周波プローブ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波信号を扱うデバイスの電気計測に
用いる高周波プローブは、信号接続用とグランド接続用
との２種類１組の針を有し、同一平面内に近接配置され
た測定用の信号およびグランド電極パッドに当てて使用
されている。
用いる高周波プローブは、信号接続用とグランド接続用
との２種類１組の針を有し、同一平面内に近接配置され
た測定用の信号およびグランド電極パッドに当てて使用
されている。
【０００３】また、電気計測個所としては高周波デバイ
スの出力端のみでなく、電気調整あるいは電気検査を必
要とする各ポイントで測定できることが要求されてい
る。
スの出力端のみでなく、電気調整あるいは電気検査を必
要とする各ポイントで測定できることが要求されてい
る。
【０００４】図４は従来の高周波プローブの一例を示す
実施形態の平面図である。図４を参照すると、従来の高
周波プローブは、被測定物６１上のマイクロストリップ
線路６２の切り欠き部の片側に設けられた信号電極パッ
ド６３に接触する信号用探針２８および信号電極パッド
６３の両側に設けられたグランド電極パッド６４に接触
してグランド電位をとる一対のグランド用探針２９から
なる先端部２４と、先端部２４で取り込んだ信号を外部
計測器に送る同軸線路部２２とより構成されている。
実施形態の平面図である。図４を参照すると、従来の高
周波プローブは、被測定物６１上のマイクロストリップ
線路６２の切り欠き部の片側に設けられた信号電極パッ
ド６３に接触する信号用探針２８および信号電極パッド
６３の両側に設けられたグランド電極パッド６４に接触
してグランド電位をとる一対のグランド用探針２９から
なる先端部２４と、先端部２４で取り込んだ信号を外部
計測器に送る同軸線路部２２とより構成されている。
【０００５】一方、被測定物６１の電気計測個所は、マ
イクロストリップ線路６２に予め切り欠き部を設け、切
り欠き部の片側に信号電極パッド６３とその両側にスル
ーホール６５により裏面のグランド導体に接続されたグ
ランド電極パッド６４とで構成されている。
イクロストリップ線路６２に予め切り欠き部を設け、切
り欠き部の片側に信号電極パッド６３とその両側にスル
ーホール６５により裏面のグランド導体に接続されたグ
ランド電極パッド６４とで構成されている。
【０００６】この従来の高周波プローブを使用して被測
定物６１における信号レベルを測定する場合には、電気
計測個所となるマイクロストリップ線路６２の切り欠き
部の接続に使用されている金リボン６６を接続変更され
た信号電極パッド６３に高周波プローブの信号用探針２
８を当て、一対のグランド電極パッド６４に高周波プロ
ーブの外周グランド導体２７に結合されたリード等の一
対のグランド用探針２９を接触させて測定を行ってい
た。
定物６１における信号レベルを測定する場合には、電気
計測個所となるマイクロストリップ線路６２の切り欠き
部の接続に使用されている金リボン６６を接続変更され
た信号電極パッド６３に高周波プローブの信号用探針２
８を当て、一対のグランド電極パッド６４に高周波プロ
ーブの外周グランド導体２７に結合されたリード等の一
対のグランド用探針２９を接触させて測定を行ってい
た。
【０００７】高周波信号の測定を行う場合に、マイクロ
ストリップ線路６２と高周波プローブとは、その特性イ
ンピーダンスが等しいとき、高周波信号の反射がなく測
定することが可能である。
ストリップ線路６２と高周波プローブとは、その特性イ
ンピーダンスが等しいとき、高周波信号の反射がなく測
定することが可能である。
【０００８】しかしながら、従来の高周波プローブによ
る測定時は、マイクロストリップ線路６２の切り欠き部
で接続に使用している金リボン６６を信号電極パッド６
３へ接続変更し、測定終了後には先の金リボン６６を取
り除きマイクロストリップ線路６２の切り欠き部分を金
リボン６６で再接続する半田付け作業が必要であり、調
整および検査の効率が悪くなることが避けられなかっ
た。
る測定時は、マイクロストリップ線路６２の切り欠き部
で接続に使用している金リボン６６を信号電極パッド６
３へ接続変更し、測定終了後には先の金リボン６６を取
り除きマイクロストリップ線路６２の切り欠き部分を金
リボン６６で再接続する半田付け作業が必要であり、調
整および検査の効率が悪くなることが避けられなかっ
た。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の高周波
プローブは、電気計測用の信号電極パッドを別に設けマ
イクロストリップ線路の接続切り替えを半田付けによる
手作業で行うため、測定および検査の効率が悪いという
問題点がある。
プローブは、電気計測用の信号電極パッドを別に設けマ
イクロストリップ線路の接続切り替えを半田付けによる
手作業で行うため、測定および検査の効率が悪いという
問題点がある。
【００１０】本発明の目的は、このような従来の欠点を
除去するため、高周波プローブの信号用探針が接触する
計測点でのマイクロストリップ線路の線路インピーダン
スを高くすることにより、実使用と等価な状態で信号レ
ベルの測定が行える高周波プローブを提供することにあ
る。
除去するため、高周波プローブの信号用探針が接触する
計測点でのマイクロストリップ線路の線路インピーダン
スを高くすることにより、実使用と等価な状態で信号レ
ベルの測定が行える高周波プローブを提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の高周波プローブ
は、被測定物である高周波デバイスのマイクロストリッ
プ線路に接触する信号用探針および前記マイクロストリ
ップ線路の両側に設けられたグランド電極パッドに接触
してグランド電位をとるグランド用探針からなる先端部
と、前記先端部で取り込んだ信号を外部計測器に送る同
軸線路部と、前記同軸線路部の外周グランド導体に結合
し前記マイクロストリップ線路および前記グランド電極
パッドに共通して接触する金属ブロックと、を有するこ
とを特徴としている。
は、被測定物である高周波デバイスのマイクロストリッ
プ線路に接触する信号用探針および前記マイクロストリ
ップ線路の両側に設けられたグランド電極パッドに接触
してグランド電位をとるグランド用探針からなる先端部
と、前記先端部で取り込んだ信号を外部計測器に送る同
軸線路部と、前記同軸線路部の外周グランド導体に結合
し前記マイクロストリップ線路および前記グランド電極
パッドに共通して接触する金属ブロックと、を有するこ
とを特徴としている。
【００１２】また、前記金属ブロックは、前記信号用探
針が前記マイクロストリップ線路に接触する点から定め
られた距離Ｌで、前記マイクロストリップ線路と直角を
成し前記マイクロストリップ線路および前記グランド電
極パッドに共通して接触することを特徴としている。
針が前記マイクロストリップ線路に接触する点から定め
られた距離Ｌで、前記マイクロストリップ線路と直角を
成し前記マイクロストリップ線路および前記グランド電
極パッドに共通して接触することを特徴としている。
【００１３】また、前記金属ブロックは、前記距離Ｌを
測定周波数の１／４波長とする位置で接触することを特
徴としている。
測定周波数の１／４波長とする位置で接触することを特
徴としている。
【００１４】さらに、前記金属ブロックは、前記距離Ｌ
を可変できる構成とすることを特徴としている。
を可変できる構成とすることを特徴としている。
【００１５】また、前記グランド用探針は、金属片から
成り前記同軸線路部の前記外周グランド導体に結合し前
記信号用探針の先端に向けて前記信号用探針に対して勾
配をもつことを特徴としている。
成り前記同軸線路部の前記外周グランド導体に結合し前
記信号用探針の先端に向けて前記信号用探針に対して勾
配をもつことを特徴としている。
【００１６】さらに、前記先端部の前記信号用探針と前
記グランド用探針とは、グランド−信号−グランドから
成るコプレーナ線路を構成することを特徴としている。
記グランド用探針とは、グランド−信号−グランドから
成るコプレーナ線路を構成することを特徴としている。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１８】図１は本発明の高周波プローブの一つの実
施の形態を示す図である。図１（ａ）は平面図であり、
図１（ｂ）はＡ−Ａ′部の断面図であり、図１（ｃ）は
Ｂ−Ｂ′部の断面図である。
施の形態を示す図である。図１（ａ）は平面図であり、
図１（ｂ）はＡ−Ａ′部の断面図であり、図１（ｃ）は
Ｂ−Ｂ′部の断面図である。
【００１９】図１に示す本実施の形態は、被測定物５１
上のマイクロストリップ線路５２に接触する信号用探針
８およびマイクロストリップ線路５２の両側に設けられ
たグランド電極パッド５４に接触してグランド電位をと
る一対のグランド用探針９からなる先端部４と、先端部
４で取り込んだ信号を外部計測器に送る同軸線路部２と
からなる高周波プローブ本体１に加えて、同軸線路部２
の外周グランド導体７に結合しマイクロストリップ線路
５２およびマイクロストリップ線路５２の両側のグラン
ド電極パッド５４に共通して接触する金属ブロック１０
とより構成されている。
上のマイクロストリップ線路５２に接触する信号用探針
８およびマイクロストリップ線路５２の両側に設けられ
たグランド電極パッド５４に接触してグランド電位をと
る一対のグランド用探針９からなる先端部４と、先端部
４で取り込んだ信号を外部計測器に送る同軸線路部２と
からなる高周波プローブ本体１に加えて、同軸線路部２
の外周グランド導体７に結合しマイクロストリップ線路
５２およびマイクロストリップ線路５２の両側のグラン
ド電極パッド５４に共通して接触する金属ブロック１０
とより構成されている。
【００２０】一方、被測定物５１の電気計測個所は、マ
イクロストリップ線路５２の両側に平行して配置され、
スルーホール５５で裏面のグランド導体と接続されたグ
ランド電極パッド５４で構成されている。
イクロストリップ線路５２の両側に平行して配置され、
スルーホール５５で裏面のグランド導体と接続されたグ
ランド電極パッド５４で構成されている。
【００２１】次に、図１に示す高周波プローブ本体の一
例の構成を図２に示す。図２（ａ）はグランド用探針の
面に沿った断面図であり、図２（ｂ）は左側面図であ
る。
例の構成を図２に示す。図２（ａ）はグランド用探針の
面に沿った断面図であり、図２（ｂ）は左側面図であ
る。
【００２２】図２において、高周波プローブ本体１は中
心導体５、誘電体６および外周グランド導体７からなる
同軸線路部２と、中心導体５と一体の信号用探針８およ
び一対のグランド用探針９がグランド−信号−グランド
から成るコプレーナ線路を構成する先端部４と、同軸線
路からコプレーナ線路へ変換する変換部３とから構成さ
れている。
心導体５、誘電体６および外周グランド導体７からなる
同軸線路部２と、中心導体５と一体の信号用探針８およ
び一対のグランド用探針９がグランド−信号−グランド
から成るコプレーナ線路を構成する先端部４と、同軸線
路からコプレーナ線路へ変換する変換部３とから構成さ
れている。
【００２３】変換部３は、同軸線路部２と先端部４であ
るコプレーナ線路とのそれぞれの形状の差から生じるイ
ンピーダンスの不連続を最小限とするため、グランド用
探針９をテーパ状にし先端に向けて信号用探針８に対し
勾配をもって同軸線路部２に結合している。
るコプレーナ線路とのそれぞれの形状の差から生じるイ
ンピーダンスの不連続を最小限とするため、グランド用
探針９をテーパ状にし先端に向けて信号用探針８に対し
勾配をもって同軸線路部２に結合している。
【００２４】次に、本実施の形態の高周波プローブを図
１および図２を参照して詳細に説明する。
１および図２を参照して詳細に説明する。
【００２５】図１において、同軸線路部２は、図２に示
す外周グランド導体７により外部からの不要電磁波の影
響を低減し、信号用探針８で得られた高周波信号を外部
の計測器に信号伝送する。
す外周グランド導体７により外部からの不要電磁波の影
響を低減し、信号用探針８で得られた高周波信号を外部
の計測器に信号伝送する。
【００２６】先端部４は、グランド−信号−グランドか
ら成るコプレーナ線路を構成することにより、特性イン
ピーダンスを確保しながら、被測定物５１の電気計測個
所となるマイクロストリップ線路５２および両側に配置
されたグランド電極パッド５４に信号用探針８および一
対のグランド用探針９をそれぞれ当てて測定することが
できる。
ら成るコプレーナ線路を構成することにより、特性イン
ピーダンスを確保しながら、被測定物５１の電気計測個
所となるマイクロストリップ線路５２および両側に配置
されたグランド電極パッド５４に信号用探針８および一
対のグランド用探針９をそれぞれ当てて測定することが
できる。
【００２７】また、金属ブロック１０は、信号用探針８
がマイクロストリップ線路５２に接触する点から信号の
流れ方向に距離Ｌの位置でマイクロストリップ線路５２
とマイクロストリップ線路５２の両側に平行して配置さ
れたグランド電極パッド５４とに接触するよう同軸線路
部２の外周グランド導体７に取り付けられている。
がマイクロストリップ線路５２に接触する点から信号の
流れ方向に距離Ｌの位置でマイクロストリップ線路５２
とマイクロストリップ線路５２の両側に平行して配置さ
れたグランド電極パッド５４とに接触するよう同軸線路
部２の外周グランド導体７に取り付けられている。
【００２８】これらの構成からなる高周波プローブを使
用して被測定物５１における信号レベルを測定する場
合、信号用探針８の先端から金属ブロック１０までの距
離Ｌを測定周波数の１／４波長に選ぶことにより、信号
用探針８の先端から金属ブロック１０までの距離Ｌのマ
イクロストリップ線路をショートスタブとすることがで
きる。
用して被測定物５１における信号レベルを測定する場
合、信号用探針８の先端から金属ブロック１０までの距
離Ｌを測定周波数の１／４波長に選ぶことにより、信号
用探針８の先端から金属ブロック１０までの距離Ｌのマ
イクロストリップ線路をショートスタブとすることがで
きる。
【００２９】したがって、信号用探針８がマイクロスト
リップ線路５２に接触する点から信号の流れ方向を見た
線路インピーダンスが大きくなることから、信号用探針
８すなわち高周波プローブのみ接続されて実使用と等価
な状態で信号レベルの測定が可能となる。
リップ線路５２に接触する点から信号の流れ方向を見た
線路インピーダンスが大きくなることから、信号用探針
８すなわち高周波プローブのみ接続されて実使用と等価
な状態で信号レベルの測定が可能となる。
【００３０】図３は、本発明の高周波プローブの他の実
施の形態を示す図である。図３（ａ）は平面図であり、
図３（ｂ）はＡ−Ａ′部の断面図であり、図３（ｃ）は
Ｂ−Ｂ′部の断面図である。
施の形態を示す図である。図３（ａ）は平面図であり、
図３（ｂ）はＡ−Ａ′部の断面図であり、図３（ｃ）は
Ｂ−Ｂ′部の断面図である。
【００３１】図３を参照すると、高周波プローブ本体１
は図２と同じであるが、金属ブロックの構成を金属ブロ
ックＡ１１と金属ブロックＢ１２とに分けたことが異な
る。
は図２と同じであるが、金属ブロックの構成を金属ブロ
ックＡ１１と金属ブロックＢ１２とに分けたことが異な
る。
【００３２】金属ブロックＢ１２は金属ブロックＡ１１
に対して、結合位置を可変できる構成とすることによ
り、信号用探針８の先端から金属ブロックＢ１２がマイ
クロストリップ線路５２に接触するまでの距離Ｌを自由
に変えることができる。
に対して、結合位置を可変できる構成とすることによ
り、信号用探針８の先端から金属ブロックＢ１２がマイ
クロストリップ線路５２に接触するまでの距離Ｌを自由
に変えることができる。
【００３３】したがって、高周波プローブ本体に取り付
ける金属ブロックを、信号用探針８の先端からの距離Ｌ
を自由に変えられる構成とすることにより、１つの高周
波プローブでさまざまな動作周波数の高周波デバイスに
対応した電気計測が可能となる。
ける金属ブロックを、信号用探針８の先端からの距離Ｌ
を自由に変えられる構成とすることにより、１つの高周
波プローブでさまざまな動作周波数の高周波デバイスに
対応した電気計測が可能となる。
【００３４】また、被測定物の電気計測個所では、グラ
ンド電極パッドの長さを高周波デバイスで電気計測する
周波数の範囲に対応して決定することができる。
ンド電極パッドの長さを高周波デバイスで電気計測する
周波数の範囲に対応して決定することができる。
【００３５】さらに、被測定物の電気計測個所におい
て、金属ブロックによりマイクロストリップ線路とグラ
ンド電極パッドとを短絡することになるが、計測個所の
前後で例えばコンデンサにより直流を遮断するか、グラ
ンド電極パッドあるいは金属ブロックを直流遮断した高
周波グランドの構成にするかを選ぶことができる。
て、金属ブロックによりマイクロストリップ線路とグラ
ンド電極パッドとを短絡することになるが、計測個所の
前後で例えばコンデンサにより直流を遮断するか、グラ
ンド電極パッドあるいは金属ブロックを直流遮断した高
周波グランドの構成にするかを選ぶことができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本高周波プローブ
は、コプレーナ線路を成す先端部、同軸線路部および変
換部に加えて、電気計測個所におけるマイクロストリッ
プ線路のインピーダンスを高くする金属ブロックを設け
るようにしたので、電気計測用の信号電極パッドおよび
金属リボンによる接続切り替えの半田付け作業をなくし
高周波デバイスを実使用と等価な状態で測定することが
できるため、測定および検査の効率向上に寄与する効果
がある。
は、コプレーナ線路を成す先端部、同軸線路部および変
換部に加えて、電気計測個所におけるマイクロストリッ
プ線路のインピーダンスを高くする金属ブロックを設け
るようにしたので、電気計測用の信号電極パッドおよび
金属リボンによる接続切り替えの半田付け作業をなくし
高周波デバイスを実使用と等価な状態で測定することが
できるため、測定および検査の効率向上に寄与する効果
がある。
【図１】本発明の高周波プローブの一つの実施の形態を
示す図である。
示す図である。
【図２】図１に示す高周波プローブ本体の一例の構成を
示す図である。
示す図である。
【図３】本発明の高周波プローブの他の実施の形態を示
す図である。
す図である。
【図４】従来の高周波プローブの一例を示す実施形態の
平面図である。
平面図である。
１ 高周波プローブ本体 ２、２２ 同軸線路部 ３ 変換部 ４、２４ 先端部 ５ 中心導体 ６ 誘電体 ７、２７ 外周グランド導体 ８、２８ 信号用探針 ９、２９ グランド用探針 １０ 金属ブロック １１ 金属ブロックＡ １２ 金属ブロックＢ ５１、６１ 被測定物 ５２、６２ マイクロストリップ線路 ５４、６４ グランド電極パッド ５５、６５ スルーホール ６３ 信号電極パッド ６６ 金リボン
Claims (6)
- 【請求項１】 被測定物である高周波デバイスのマイク
ロストリップ線路に接触する信号用探針および前記マイ
クロストリップ線路の両側に設けられたグランド電極パ
ッドに接触してグランド電位をとるグランド用探針から
なる先端部と、前記先端部で取り込んだ信号を外部計測
器に送る同軸線路部と、前記同軸線路部の外周グランド
導体に結合し前記マイクロストリップ線路および前記グ
ランド電極パッドに共通して接触する金属ブロックと、
を有することを特徴とする高周波プローブ。 - 【請求項２】 前記金属ブロックは、前記信号用探針が
前記マイクロストリップ線路に接触する点から定められ
た距離Ｌで、前記マイクロストリップ線路と直角を成し
前記マイクロストリップ線路および前記グランド電極パ
ッドに共通して接触することを特徴とする請求項１に記
載の高周波プローブ。 - 【請求項３】 前記金属ブロックは、前記距離Ｌを測定
周波数の１／４波長とする位置で接触することを特徴と
する請求項１又は請求項２記載の高周波プローブ。 - 【請求項４】 前記金属ブロックは、前記距離Ｌを可変
できる構成とすることを特徴とする請求項１、２又は３
記載の高周波プローブ。 - 【請求項５】 前記グランド用探針は、金属片から成り
前記同軸線路部の前記外周グランド導体に結合し前記信
号用探針の先端に向けて前記信号用探針に対して勾配を
もつことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の高
周波プローブ。 - 【請求項６】 前記先端部の前記信号用探針と前記グラ
ンド用探針とは、グランド−信号−グランドから成るコ
プレーナ線路を構成することを特徴とする請求項１、
２、３、４又は５記載の高周波プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31128399A JP3356736B2 (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 高周波プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31128399A JP3356736B2 (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 高周波プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001133482A true JP2001133482A (ja) | 2001-05-18 |
| JP3356736B2 JP3356736B2 (ja) | 2002-12-16 |
Family
ID=18015282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31128399A Expired - Fee Related JP3356736B2 (ja) | 1999-11-01 | 1999-11-01 | 高周波プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3356736B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100424408B1 (ko) * | 2002-02-18 | 2004-03-25 | 전자부품연구원 | 고주파 신호 전송선로의 특성 측정 장치 및 방법 |
| US7504837B2 (en) | 2004-03-26 | 2009-03-17 | Nec Corporation | Electrical characteristics measurement method and electrical characteristics measurement device |
| US7990165B2 (en) * | 2006-04-21 | 2011-08-02 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Contact probe and method of making the same |
| CN106133531A (zh) * | 2014-04-01 | 2016-11-16 | 罗森伯格高频技术有限及两合公司 | 接触组件、特别是hf测量头 |
| WO2021220460A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 日本電信電話株式会社 | インピーダンス変換器 |
-
1999
- 1999-11-01 JP JP31128399A patent/JP3356736B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
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| US7504837B2 (en) | 2004-03-26 | 2009-03-17 | Nec Corporation | Electrical characteristics measurement method and electrical characteristics measurement device |
| US7990165B2 (en) * | 2006-04-21 | 2011-08-02 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Contact probe and method of making the same |
| US9134346B2 (en) | 2006-04-21 | 2015-09-15 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Method of making contact probe |
| CN106133531A (zh) * | 2014-04-01 | 2016-11-16 | 罗森伯格高频技术有限及两合公司 | 接触组件、特别是hf测量头 |
| JP2017516084A (ja) * | 2014-04-01 | 2017-06-15 | ローゼンベルガー ホーフフレクベンツテクニーク ゲーエムベーハー ウント ツェーオー カーゲー | 接触アセンブリ、特にｈｆ測定チップ |
| WO2021220460A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 日本電信電話株式会社 | インピーダンス変換器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3356736B2 (ja) | 2002-12-16 |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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