JP3356736B2 - 高周波プローブ - Google Patents
高周波プローブInfo
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Description
電気計測に用いる高周波プローブに関し、特に実使用と
等価な状態で信号レベルの測定が可能な高周波プローブ
に関する。
用いる高周波プローブは、信号接続用とグランド接続用
との2種類1組の針を有し、同一平面内に近接配置され
た測定用の信号およびグランド電極パッドに当てて使用
されている。
スの出力端のみでなく、電気調整あるいは電気検査を必
要とする各ポイントで測定できることが要求されてい
る。
実施形態の平面図である。図4を参照すると、従来の高
周波プローブは、被測定物61上のマイクロストリップ
線路62の切り欠き部の片側に設けられた信号電極パッ
ド63に接触する信号用探針28および信号電極パッド
63の両側に設けられたグランド電極パッド64に接触
してグランド電位をとる一対のグランド用探針29から
なる先端部24と、先端部24で取り込んだ信号を外部
計測器に送る同軸線路部22とより構成されている。
イクロストリップ線路62に予め切り欠き部を設け、切
り欠き部の片側に信号電極パッド63とその両側にスル
ーホール65により裏面のグランド導体に接続されたグ
ランド電極パッド64とで構成されている。
定物61における信号レベルを測定する場合には、電気
計測個所となるマイクロストリップ線路62の切り欠き
部の接続に使用されている金リボン66を接続変更され
た信号電極パッド63に高周波プローブの信号用探針2
8を当て、一対のグランド電極パッド64に高周波プロ
ーブの外周グランド導体27に結合されたリード等の一
対のグランド用探針29を接触させて測定を行ってい
た。
ストリップ線路62と高周波プローブとは、その特性イ
ンピーダンスが等しいとき、高周波信号の反射がなく測
定することが可能である。
る測定時は、マイクロストリップ線路62の切り欠き部
で接続に使用している金リボン66を信号電極パッド6
3へ接続変更し、測定終了後には先の金リボン66を取
り除きマイクロストリップ線路62の切り欠き部分を金
リボン66で再接続する半田付け作業が必要であり、調
整および検査の効率が悪くなることが避けられなかっ
た。
プローブは、電気計測用の信号電極パッドを別に設けマ
イクロストリップ線路の接続切り替えを半田付けによる
手作業で行うため、測定および検査の効率が悪いという
問題点がある。
除去するため、高周波プローブの信号用探針が接触する
計測点でのマイクロストリップ線路の線路インピーダン
スを高くすることにより、実使用と等価な状態で信号レ
ベルの測定が行える高周波プローブを提供することにあ
る。
は、被測定物である高周波デバイスのマイクロストリッ
プ線路に接触する信号用探針および前記マイクロストリ
ップ線路の両側に設けられたグランド電極パッドに接触
してグランド電位をとるグランド用探針からなる先端部
と、前記先端部で取り込んだ信号を外部計測器に送る同
軸線路部と、前記同軸線路部の外周グランド導体に結合
し前記マイクロストリップ線路および前記グランド電極
パッドに共通して接触する金属ブロックとを有する高周
波プローブであって、前記金属ブロックは、前記信号用
探針が前記マイクロストリップ線路に接触する点から測
定周波数により定められた距離Lで、前記マイクロスト
リップ線路と直角を成し前記マイクロストリップ線路お
よび前記グランド電極パッドに共通して接触することを
特徴としている。
測定周波数の1/4波長とする位置で接触することを特
徴としている。
を可変できる構成とすることを特徴としている。
成り前記同軸線路部の前記外周グランド導体に結合し前
記信号用探針の先端に向けて前記信号用探針に対して勾
配をもつことを特徴としている。
記グランド用探針とは、グランド−信号−グランドから
成るコプレーナ線路を構成することを特徴としている。
て図面を参照して説明する。
施の形態を示す図である。図1(a)は平面図であり、
図1(b)はA−A′部の断面図であり、図1(c)は
B−B′部の断面図である。
上のマイクロストリップ線路52に接触する信号用探針
8およびマイクロストリップ線路52の両側に設けられ
たグランド電極パッド54に接触してグランド電位をと
る一対のグランド用探針9からなる先端部4と、先端部
4で取り込んだ信号を外部計測器に送る同軸線路部2と
からなる高周波プローブ本体1に加えて、同軸線路部2
の外周グランド導体7に結合しマイクロストリップ線路
52およびマイクロストリップ線路52の両側のグラン
ド電極パッド54に共通して接触する金属ブロック10
とより構成されている。
イクロストリップ線路52の両側に平行して配置され、
スルーホール55で裏面のグランド導体と接続されたグ
ランド電極パッド54で構成されている。
例の構成を図2に示す。図2(a)はグランド用探針の
面に沿った断面図であり、図2(b)は左側面図であ
る。
心導体5、誘電体6および外周グランド導体7からなる
同軸線路部2と、中心導体5と一体の信号用探針8およ
び一対のグランド用探針9がグランド−信号−グランド
から成るコプレーナ線路を構成する先端部4と、同軸線
路からコプレーナ線路へ変換する変換部3とから構成さ
れている。
るコプレーナ線路とのそれぞれの形状の差から生じるイ
ンピーダンスの不連続を最小限とするため、グランド用
探針9をテーパ状にし先端に向けて信号用探針8に対し
勾配をもって同軸線路部2に結合している。
1および図2を参照して詳細に説明する。
す外周グランド導体7により外部からの不要電磁波の影
響を低減し、信号用探針8で得られた高周波信号を外部
の計測器に信号伝送する。
ら成るコプレーナ線路を構成することにより、特性イン
ピーダンスを確保しながら、被測定物51の電気計測個
所となるマイクロストリップ線路52および両側に配置
されたグランド電極パッド54に信号用探針8および一
対のグランド用探針9をそれぞれ当てて測定することが
できる。
がマイクロストリップ線路52に接触する点から信号の
流れ方向に距離Lの位置でマイクロストリップ線路52
とマイクロストリップ線路52の両側に平行して配置さ
れたグランド電極パッド54とに接触するよう同軸線路
部2の外周グランド導体7に取り付けられている。
用して被測定物51における信号レベルを測定する場
合、信号用探針8の先端から金属ブロック10までの距
離Lを測定周波数の1/4波長に選ぶことにより、信号
用探針8の先端から金属ブロック10までの距離Lのマ
イクロストリップ線路をショートスタブとすることがで
きる。
リップ線路52に接触する点から信号の流れ方向を見た
線路インピーダンスが大きくなることから、信号用探針
8すなわち高周波プローブのみ接続されて実使用と等価
な状態で信号レベルの測定が可能となる。
施の形態を示す図である。図3(a)は平面図であり、
図3(b)はA−A′部の断面図であり、図3(c)は
B−B′部の断面図である。
は図2と同じであるが、金属ブロックの構成を金属ブロ
ックA11と金属ブロックB12とに分けたことが異な
る。
に対して、結合位置を可変できる構成とすることによ
り、信号用探針8の先端から金属ブロックB12がマイ
クロストリップ線路52に接触するまでの距離Lを自由
に変えることができる。
ける金属ブロックを、信号用探針8の先端からの距離L
を自由に変えられる構成とすることにより、1つの高周
波プローブでさまざまな動作周波数の高周波デバイスに
対応した電気計測が可能となる。
ンド電極パッドの長さを高周波デバイスで電気計測する
周波数の範囲に対応して決定することができる。
て、金属ブロックによりマイクロストリップ線路とグラ
ンド電極パッドとを短絡することになるが、計測個所の
前後で例えばコンデンサにより直流を遮断するか、グラ
ンド電極パッドあるいは金属ブロックを直流遮断した高
周波グランドの構成にするかを選ぶことができる。
は、コプレーナ線路を成す先端部、同軸線路部および変
換部に加えて、電気計測個所におけるマイクロストリッ
プ線路のインピーダンスを高くする金属ブロックを設け
るようにしたので、電気計測用の信号電極パッドおよび
金属リボンによる接続切り替えの半田付け作業をなくし
高周波デバイスを実使用と等価な状態で測定することが
できるため、測定および検査の効率向上に寄与する効果
がある。
示す図である。
示す図である。
す図である。
平面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 被測定物である高周波デバイスのマイク
ロストリップ線路に接触する信号用探針および前記マイ
クロストリップ線路の両側に設けられたグランド電極パ
ッドに接触してグランド電位をとるグランド用探針から
なる先端部と、前記先端部で取り込んだ信号を外部計測
器に送る同軸線路部と、前記同軸線路部の外周グランド
導体に結合し前記マイクロストリップ線路および前記グ
ランド電極パッドに共通して接触する金属ブロックとを
有する高周波プローブであって、前記金属ブロックは、
前記信号用探針が前記マイクロストリップ線路に接触す
る点から測定周波数により定められた距離Lで、前記マ
イクロストリップ線路と直角を成し前記マイクロストリ
ップ線路および前記グランド電極パッドに共通して接触
することを特徴とする高周波プローブ。 - 【請求項2】 前記金属ブロックは、前記距離Lを測定
周波数の1/4波長とする位置で接触することを特徴と
する請求項1に記載の高周波プローブ。 - 【請求項3】 前記金属ブロックは、前記距離Lを可変
できる構成とすることを特徴とする請求項1又は請求項
2記載の高周波プローブ。 - 【請求項4】 前記グランド用探針は、金属片から成り
前記同軸線路部の前記外周グランド導体に結合し前記信
号用探針の先端に向けて前記信号用探針に対して勾配を
もつことを特徴とする請求項1、2又は3記載の高周波
プローブ。 - 【請求項5】 前記先端部の前記信号用探針と前記グラ
ンド用探針とは、グランド−信号−グランドから成るコ
プレーナ線路を構成することを特徴とする請求項1、
2、3又は4記載の高周波プローブ。
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