JPH0635189Y2

JPH0635189Y2 - 高周波プローブ

Info

Publication number: JPH0635189Y2
Application number: JP7582088U
Authority: JP
Inventors: 克哉佐藤
Original assignee: Anritsu Corp
Current assignee: Anritsu Corp
Priority date: 1988-06-09
Filing date: 1988-06-09
Publication date: 1994-09-14
Anticipated expiration: 2003-06-09
Also published as: JPH01179286U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は高周波プローブに関するものである。

［従来の技術］第３図（ａ），（ｂ）は各々、従来の同軸伝送路を使用
した高周波プローブを示す平面図及び側面図である。

IC等の被測定物５には、複数の入出力端子5aが設けられ
ている。

そして高周波プローブは、例えば入出力端子5aの数に対
応して複数のプローブ10を用いこの信号用導体10aが入
出力端子5aに接触する。

また、これらプローブ10のアース導体10bは、アースリ
ング11にはんだ付けされ図示しないアース端子に接触し
て作用する。

この時、被測定物５のアースラインはこの被測定物５の
下部に位置しており、測定動作時、このアースライン部
分は作用せず、単に載置台上に載置されているだけであ
る。

［考案が解決しようとする問題点］したがって、上述の高周波プローブでは、対向するプロ
ーブ10間のアースの距離が長くなり、測定波形が乱れる
等の欠点があった。また、被測定物５とプローブ10との
アースの距離が長いため、被測定物５とプローブ10との
インピーダンス整合が悪くなり、本意の特性測定が正確
にできなかった。

本考案は、上述の欠点を取り除くために考案されたもの
であり、その目的は、被測定物の高周波特性をより正確
に測定することができる高周波プローブを提供すること
にある。

［問題点を解決するための手段］上記問題点を解決するため、本考案の高周波プローブ
は、板状共通アース導体６の開口部6aにアース接続板７
を一枚もしくは複数枚ほぼ垂直に立てて固定したことを
特徴としている。

また、上記アース接続板７を板状共通アース導体６の下
部までのばし、その下面に被測定物５の入出力端子5aが
上部から見え、かつ被測定物５の回路部分を覆い隠すよ
うな整合板８を固定したことを特徴としている。

［作用］上述の構成による作用を説明すると、被測定物５の入出
力端子5aには各膜状導体２が接触して入出力信号を被測
定物との間で伝送する。

また、アース導体３は板状共通アース導体６に接触して
いる。板状共通アース導体６には被測定物５の入出力端
子5aが上部から確認できるよう開口部6aが開けられてい
るが、この開口部6aには各プローブの間にアース接続板
７が立設されていてプローブ間のアースを最短距離で結
んでいる。

また、第２の実施例では、アース接続板７を被測定物５
の近くまでのばし、回路部分を所定の隙間で覆う整合板
８を設けたので、インピーダンスをさらに良好に整合さ
せることができる。

［実施例］第１図（ａ）は、本発明の高周波プローブを示す平面
図、第１図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図であ
る。

不図示であるが、板状誘電体１の被測定物と反対側は、
同軸伝送路と接続されている。この同軸伝送路の信号用
導体は、板状誘電体１の一方の面（下面）に形成された
膜状信号用導体２にはんだ付けされている。また、板状
誘電体１は、同軸伝送路に対応した数だけ設けられるも
ので各々が先端部に従いテーパー状に形成されている。

さらに、同軸伝送路のアース導体は、固定金具を介して
はんだ付けにより板状アース導体３、３に接続されてい
る。板状アース導体３は、各板状誘電体１の側部に垂直
に設けられたものであり、先端部には接点部3bが形成さ
れ、板状共通アース導体６に接触するようになってい
る。

そして、これら膜状信号用導体２、板状アース導体３
は、一定の特性インピーダンス（例えば50Ω）を保つた
めに、膜状信号用導体２の先端につれテーパー状になっ
ている。つまり、膜状信号用導体２と、この両側の板状
アース導体３は先端につれ所定のギャップ比で序序に小
さくなり接近したものとなっている。

前記板状アース導体３の一方の面（上面）には、被測定
物５の入出力端子5aが上部から見えるように被測定物５
の外形に対応した開口部6aを有する板状共通アース導体
６が設けられている。この板状共通アース導体６は、例
えば不図示の固定金具を介してはんだ付けにより同軸伝
送路のアース導体に接続されている。

したがって、各板状アース導体３はすべて板状共通アー
ス導体６に電気的に導通している。

そして、この板状共通アース導体６の開口部6aには、垂
直に立設したアース接続板７がはんだ付け等で固定され
ている。このアース接続板７は、上部から被測定物５の
入出力端子5aが見えるように、対向する入出力端子5a間
に位置しており、開口部6aと略同等の面積を有してい
る。

次に上述の構成による動作を説明すると、被測定物５の
入出力端子5aには各膜状導体２が接触して入出力信号を
被測定物との間で伝送する。このとき、膜状信号用導体
２が形成された板状誘電体１と板状共通アース導体６と
は互いに固定されておらず、各々が別個に可撓性を有し
て支持されているので平面状の被測定物５に接触する際
に良好な接触状態を得ることができる。

また、板状共通アース導体６に設けられた開口部6aは各
プローブ間のアース距離を長くするが、開口部6a間に連
架されたアース接続板７により、プローブ間のアースを
最短距離で結んでいる。板状共通アース導体６のアース
を開口部6aでも通るようになり、インピーダンスが整合
される。

第２図（ａ）は、高周波プローブの第２の実施例を示す
平面図、第２図（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
である。

同実施例において前述の実施例と同一の構成部には同一
の符号を付しその説明を省略する。

この実施例では、２つのアース接続板７には各々、側面
略Ｔ字型の突出部7aが形成されている。この突出部7a
は、被測定物５の回路部分まで近接しているとともに、
これらアース接続板７、７の突出部7a、7a間には回路部
分と所定の間隔を有し、被測定物５の入出力端子5a以外
の部分を覆う形状の整合板８が設けられている。

この整合板８と回路部分との隙間によりインピーダンス
の整合がとれ、被測定物の高周波特性を正確に測定する
ことができる。

［考案の効果］以上説明したように、本考案による高周波プローブによ
れば、板状共通アース導体に開口部が形成されていても
この開口部部分には対向するプローブ間にアース接続板
を設けたので、アースを原因とする測定波形の乱れを少
なくすることができる。

また、板状共通アース導体を被測定物の回路部分までの
ばし、この部分に整合板を設けたので、測定時に被測定
物とプローブとのインピーダンス整合を良好に取ること
ができ、被測定物の高周波特性を正確に測定することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は、本考案による高周波プローブを示す平
面図、第１図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図、
第２図（ａ）は、本考案の第２の実施例を示すプローブ
の平面図、第２図（ｂ）は、同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面
図、第３図（ａ）、（ｂ）は、従来の高周波プローブを
示す平面図、及び断面図である。１……板状誘電体、２……膜状信号用導体、３……板状
アース導体、3b……接点部、５……被測定物、5a……入
出力端子、６……板状共通アース導体、6a……開口部、
７……アース接続板、８……整合板。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】可撓性のある板状誘電体（１）の一方の面
に膜状信号用導体（２）を形成し少なくとも板状誘電体
の面に垂直な面を有し、かつ膜状信号用導体との間で常
に一定の特性インピーダンスを形成するように板状誘電
体に対し相対的に揺動可能にされた板状アース用導体
（３）を配置した高周波プローブと、被測定物（５）の入出力端子（5a）に対応して前記プロ
ーブを複数個設けるとともに、各プローブの各板状アー
ス導体の端子側先端近傍（3b）で同時に電気的に接触す
る板状共通アース導体（６）とを備え、板状誘電体と板
状アース導体及び板状共通アース導体が個々に揺動可能
に配置された高周波プローブにおいて：前記板状共通アース導体は、被測定物の入出力端子確認
用の開口部（6a）を設けるとともに、この板状共通アー
ス導体（６）の開口部部分には、対向するプローブ間に
アース接続板（７）を該プローブの配列面に対して１枚
もしくは複数枚ほぼ垂直に立てて固定したことを特徴と
する高周波プローブ。
【請求項２】請求項１記載のアース接続板（７）を板状
共通アース導体（６）から被測定物（５）近傍まで位置
させ、被測定物（５）の回路部分のみ覆う如くこの回路
部分から所定の隙間を有してアース接続板（７）に固定
された整合板（８）を設けた高周波プローブ。