JP2001099889A - 高周波回路の検査装置 - Google Patents
高周波回路の検査装置Info
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- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06772—High frequency probes
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐久性がよく、しかも高周波信号に対しても
精度が高く再現性のよい安定で信頼性の高い高周波回路
の検査装置を提供する。 【解決手段】 金属ブロック1の一面側で被検査物20
の各電極端子21〜24とそれぞれ対応する部分に、可
動ピン11の先端部が突出するように、RF信号用プロ
ーブ3、電源用プローブ4、および接地用プローブ5が
設けられている。RF信号用プローブ3および電源用プ
ローブ4は可動ピン11と電気的に接続される金属パイ
プ13の周囲が絶縁体15、16によりそれぞれ被覆さ
れて金属ブロック1内に埋め込まれている。金属ブロッ
ク1の他面側には、少なくとも電源用プローブ4に電源
を供給できるように電源端子が形成された配線基板6が
固定されている。そして、RF信号用プローブ3の他端
部側には、RF信号入出力用の同軸ケーブル7が接続さ
れている。
精度が高く再現性のよい安定で信頼性の高い高周波回路
の検査装置を提供する。 【解決手段】 金属ブロック1の一面側で被検査物20
の各電極端子21〜24とそれぞれ対応する部分に、可
動ピン11の先端部が突出するように、RF信号用プロ
ーブ3、電源用プローブ4、および接地用プローブ5が
設けられている。RF信号用プローブ3および電源用プ
ローブ4は可動ピン11と電気的に接続される金属パイ
プ13の周囲が絶縁体15、16によりそれぞれ被覆さ
れて金属ブロック1内に埋め込まれている。金属ブロッ
ク1の他面側には、少なくとも電源用プローブ4に電源
を供給できるように電源端子が形成された配線基板6が
固定されている。そして、RF信号用プローブ3の他端
部側には、RF信号入出力用の同軸ケーブル7が接続さ
れている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば携帯電話
に組み込まれる増幅回路やミキサ回路など、高周波回路
のモジュールを機器の回路基板などに組み込む前にその
電気的特性を検査する場合などの高周波回路のモジュー
ルの検査装置に関する。さらに詳しくは、被検査物であ
るモジュールをハンダ付けなどしないで、かつ、高周波
に対しても電気的接触を完全に行い、耐久性がよく信頼
性の高い正確な検査をすることができる高周波回路の検
査装置に関する。
に組み込まれる増幅回路やミキサ回路など、高周波回路
のモジュールを機器の回路基板などに組み込む前にその
電気的特性を検査する場合などの高周波回路のモジュー
ルの検査装置に関する。さらに詳しくは、被検査物であ
るモジュールをハンダ付けなどしないで、かつ、高周波
に対しても電気的接触を完全に行い、耐久性がよく信頼
性の高い正確な検査をすることができる高周波回路の検
査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の高周波回路の検査を行う場合、と
くに端子部の接触状態が充分でないとインピーダンスな
どが変化し測定値が変動するため、たとえば図4に示さ
れるような構成で行われる。すなわち、被検査物である
高周波回路は、外界との干渉を避けるため、金属製の筐
体内に増幅回路やミキサ回路などが組み込まれてモジュ
ール20とされ、その筐体の裏面に高周波信号の入出力
端子21、24、電源端子23、接地(アース)端子2
2などが配置されることにより構成されている。そし
て、検査用の配線が施された配線基板31の各端子に異
方性導電ゴム32などを介して被検査物20を押し付け
ることにより、それぞれの電源端子や高周波入出力端子
を電気的に接続して検査をする方法が用いられている。
くに端子部の接触状態が充分でないとインピーダンスな
どが変化し測定値が変動するため、たとえば図4に示さ
れるような構成で行われる。すなわち、被検査物である
高周波回路は、外界との干渉を避けるため、金属製の筐
体内に増幅回路やミキサ回路などが組み込まれてモジュ
ール20とされ、その筐体の裏面に高周波信号の入出力
端子21、24、電源端子23、接地(アース)端子2
2などが配置されることにより構成されている。そし
て、検査用の配線が施された配線基板31の各端子に異
方性導電ゴム32などを介して被検査物20を押し付け
ることにより、それぞれの電源端子や高周波入出力端子
を電気的に接続して検査をする方法が用いられている。
【0003】この異方性導電ゴム32は、弾力性のある
絶縁性材料の中に縦方向に細い導電線32aが多数本埋
め込まれているもので、上下から異方性導電ゴム32を
挟みつけると、上下に位置する端子が導電線32aを介
して電気的に接続される一方、横方向には絶縁されて隣
接する端子間をショートする虞れのないもので、弾力性
を有するため押し付けることにより電気的に接触が得ら
れ、接触状態により微妙に特性が変化する高周波回路に
おいても、比較的安定した検査をすることができる。
絶縁性材料の中に縦方向に細い導電線32aが多数本埋
め込まれているもので、上下から異方性導電ゴム32を
挟みつけると、上下に位置する端子が導電線32aを介
して電気的に接続される一方、横方向には絶縁されて隣
接する端子間をショートする虞れのないもので、弾力性
を有するため押し付けることにより電気的に接触が得ら
れ、接触状態により微妙に特性が変化する高周波回路に
おいても、比較的安定した検査をすることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、異方性
導電ゴムを介して接続することにより、検査用基板と被
検査物の端子同士を比較的確実に接続することができる
が、導電線を保持する絶縁体が弾力性のあるゴム状のも
ので、導電線自体も0.1mmφ程度の非常に細いもの
であるため、耐久性がなく、1000回ぐらい行うと接
触が不充分になり、検査の信頼性が低下するという問題
がある。さらに、異方性導電ゴムの高さは数mm程度
で、非常に短いとはいえ、シールド構造ではないため、
外部と干渉しやすく、とくに高周波信号の入出力端子に
ノイズが乗りやすいという問題がある。
導電ゴムを介して接続することにより、検査用基板と被
検査物の端子同士を比較的確実に接続することができる
が、導電線を保持する絶縁体が弾力性のあるゴム状のも
ので、導電線自体も0.1mmφ程度の非常に細いもの
であるため、耐久性がなく、1000回ぐらい行うと接
触が不充分になり、検査の信頼性が低下するという問題
がある。さらに、異方性導電ゴムの高さは数mm程度
で、非常に短いとはいえ、シールド構造ではないため、
外部と干渉しやすく、とくに高周波信号の入出力端子に
ノイズが乗りやすいという問題がある。
【0005】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、耐久性がよく、しかも高周波信号に
対しても外部との干渉を生じず、安定で信頼性の高い高
周波回路の検査装置を提供することを目的とする。
になされたもので、耐久性がよく、しかも高周波信号に
対しても外部との干渉を生じず、安定で信頼性の高い高
周波回路の検査装置を提供することを目的とする。
【0006】本発明の他の目的は、プローブが消耗した
り、異物が隙間に入り込んだりしても、容易に修理をす
ることができる構造の検査装置を提供することにある。
り、異物が隙間に入り込んだりしても、容易に修理をす
ることができる構造の検査装置を提供することにある。
【0007】本発明のさらに他の目的は、被検査物の回
路構成により、電源端子間などの端子間にコンデンサな
どの部品を接続することが好ましい場合でも、容易に配
線基板に部品を搭載することができる構造の検査装置を
提供することにある。
路構成により、電源端子間などの端子間にコンデンサな
どの部品を接続することが好ましい場合でも、容易に配
線基板に部品を搭載することができる構造の検査装置を
提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明による高周波回路
の検査装置は、金属ブロックと、該金属ブロックの一面
側で被検査物の各電極端子とそれぞれ対応する部分に、
可動ピンの先端部が突出するように設けられるRF信号
用プローブおよび接地用プローブとからなり、前記RF
信号用プローブはその周囲が絶縁体により被覆されて前
記金属ブロック内に埋め込まれ、該プローブを内導体と
し前記金属ブロックを外導体とする同軸線を構成するよ
うに前記絶縁体が設けられ、該RF信号用プローブの他
端部側にRF信号入出力用の同軸ケーブルが接続されて
いる。
の検査装置は、金属ブロックと、該金属ブロックの一面
側で被検査物の各電極端子とそれぞれ対応する部分に、
可動ピンの先端部が突出するように設けられるRF信号
用プローブおよび接地用プローブとからなり、前記RF
信号用プローブはその周囲が絶縁体により被覆されて前
記金属ブロック内に埋め込まれ、該プローブを内導体と
し前記金属ブロックを外導体とする同軸線を構成するよ
うに前記絶縁体が設けられ、該RF信号用プローブの他
端部側にRF信号入出力用の同軸ケーブルが接続されて
いる。
【0009】ここに可動ピンとは、たとえばリード線が
スプリングなどにより保持されて押し付ければスプリン
グの収縮によりその先端が縮むような、先端が軸方向に
沿って移動し得るピンを意味する。また、同軸ケーブル
には、外導体が網状でなくパイプ上に形成され、高周波
特性が良好なセミリジッドケーブルなども含む意味であ
る。
スプリングなどにより保持されて押し付ければスプリン
グの収縮によりその先端が縮むような、先端が軸方向に
沿って移動し得るピンを意味する。また、同軸ケーブル
には、外導体が網状でなくパイプ上に形成され、高周波
特性が良好なセミリジッドケーブルなども含む意味であ
る。
【0010】この構造にすることにより、被検査物の各
電極端子と接続するプローブの先端部に可動ピンが設け
られているため、被検査物を載置し、適切な圧力を加え
れば確実に電気的接続が得られる。さらに、RF信号用
プローブが同軸線で構成されると共に、その端部には同
軸ケーブルおよびコネクタを介してRF信号の入出力が
なされる構造になっているため、外部との干渉を生じる
ことなく、または所望の特性インピーダンスの同軸線路
を接続できるため、非常に正確で、かつ、安定した検査
をすることができる。
電極端子と接続するプローブの先端部に可動ピンが設け
られているため、被検査物を載置し、適切な圧力を加え
れば確実に電気的接続が得られる。さらに、RF信号用
プローブが同軸線で構成されると共に、その端部には同
軸ケーブルおよびコネクタを介してRF信号の入出力が
なされる構造になっているため、外部との干渉を生じる
ことなく、または所望の特性インピーダンスの同軸線路
を接続できるため、非常に正確で、かつ、安定した検査
をすることができる。
【0011】前記金属ブロックの一面側で前記被検査物
の電源端子と対応する部分に、可動ピンの先端部が突出
するように電源用プローブがさらに設けられ、前記金属
ブロックの他面側に前記電源用プローブに電源を供給で
きるように電源端子が形成された配線基板が設けられて
おれば、被検査物が受動回路だけでなく、能動回路を有
する場合にも使用できるため好ましい。
の電源端子と対応する部分に、可動ピンの先端部が突出
するように電源用プローブがさらに設けられ、前記金属
ブロックの他面側に前記電源用プローブに電源を供給で
きるように電源端子が形成された配線基板が設けられて
おれば、被検査物が受動回路だけでなく、能動回路を有
する場合にも使用できるため好ましい。
【0012】前記金属ブロックの一面側に電気的絶縁性
の押え板が設けられ、前記各プローブの可動ピンは、該
押え板を貫通して突出するように設けられておれば、必
要な場合、この押え板を取り外すことにより、容易に各
プローブを交換することもできるし、検査中などに可動
ピンの周囲の隙間などに異物が入り込んで、ピンの可動
が不充分になっても、押え板を取り外すことにより、容
易に修理をすることができるため好ましい。
の押え板が設けられ、前記各プローブの可動ピンは、該
押え板を貫通して突出するように設けられておれば、必
要な場合、この押え板を取り外すことにより、容易に各
プローブを交換することもできるし、検査中などに可動
ピンの周囲の隙間などに異物が入り込んで、ピンの可動
が不充分になっても、押え板を取り外すことにより、容
易に修理をすることができるため好ましい。
【0013】前記金属ブロックの他面側では、少なくと
も前記電源用プローブの近傍に、前記配線基板との間で
間隙部が形成されるように前記配線基板が設けられるこ
とにより、増幅器を検査する場合などに電源端子と接地
間にチップコンデンサを接続すると安定した測定を行う
ことができるが、このような場合でも容易にそのチップ
コンデンサなどを接続することができる。
も前記電源用プローブの近傍に、前記配線基板との間で
間隙部が形成されるように前記配線基板が設けられるこ
とにより、増幅器を検査する場合などに電源端子と接地
間にチップコンデンサを接続すると安定した測定を行う
ことができるが、このような場合でも容易にそのチップ
コンデンサなどを接続することができる。
【0014】前記同軸ケーブルにおける前記RF信号用
プローブとの接続側端部にGNDリングが設けられ、該
GNDリングの先端部が前記金属ブロックと電気的に接
続されると共に、前記RF信号用プローブは、該プロー
ブの前記他端部に設けられる可動ピンを介して前記同軸
ケーブルの中心導体の先端部と電気的に接続される構造
にすることが好ましい。すなわち、GNDリングが設け
られることにより、たとえば前述の金属ブロックと配線
基板との間に間隙部が設けられることによりRF信号用
プローブが金属ブロックから露出しても、GNDリング
が外導体となって完全に同軸線構造で接続することがで
きる。
プローブとの接続側端部にGNDリングが設けられ、該
GNDリングの先端部が前記金属ブロックと電気的に接
続されると共に、前記RF信号用プローブは、該プロー
ブの前記他端部に設けられる可動ピンを介して前記同軸
ケーブルの中心導体の先端部と電気的に接続される構造
にすることが好ましい。すなわち、GNDリングが設け
られることにより、たとえば前述の金属ブロックと配線
基板との間に間隙部が設けられることによりRF信号用
プローブが金属ブロックから露出しても、GNDリング
が外導体となって完全に同軸線構造で接続することがで
きる。
【0015】前記同軸ケーブルの中心導体の先端部に金
メッキを施すことにより、良好な電気的接続を実現で
き、かつ、先端部の耐久性を向上させることができる。
メッキを施すことにより、良好な電気的接続を実現で
き、かつ、先端部の耐久性を向上させることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】つぎに、図面を参照しながら本発
明の高周波回路の検査装置について説明をする。本発明
の高周波回路の検査装置は、図1にその一実施形態の構
成説明図が平面図および断面図で、図2にプローブ部の
拡大断面図で示されるように、金属ブロック1の一面側
で被検査物20の各電極端子21〜24とそれぞれ対応
する部分に、可動ピン11の先端部が突出するように、
RF信号用プローブ3、電源用プローブ4、および接地
用プローブ5が設けられている。RF信号用プローブ3
および電源用プローブ4は図2および3に示されるよう
に、可動ピン11と電気的に接続される金属パイプ13
の周囲が絶縁体15、16によりそれぞれ被覆されて金
属ブロック1内に埋め込まれている。金属ブロック1の
他面側には、少なくとも電源用プローブ4に電源を供給
できるように電源端子が形成された配線基板6が固定さ
れている。そして、RF信号用プローブ3の他端部側に
は、RF信号入出力用の同軸ケーブル7が接続されてい
る。
明の高周波回路の検査装置について説明をする。本発明
の高周波回路の検査装置は、図1にその一実施形態の構
成説明図が平面図および断面図で、図2にプローブ部の
拡大断面図で示されるように、金属ブロック1の一面側
で被検査物20の各電極端子21〜24とそれぞれ対応
する部分に、可動ピン11の先端部が突出するように、
RF信号用プローブ3、電源用プローブ4、および接地
用プローブ5が設けられている。RF信号用プローブ3
および電源用プローブ4は図2および3に示されるよう
に、可動ピン11と電気的に接続される金属パイプ13
の周囲が絶縁体15、16によりそれぞれ被覆されて金
属ブロック1内に埋め込まれている。金属ブロック1の
他面側には、少なくとも電源用プローブ4に電源を供給
できるように電源端子が形成された配線基板6が固定さ
れている。そして、RF信号用プローブ3の他端部側に
は、RF信号入出力用の同軸ケーブル7が接続されてい
る。
【0017】金属ブロック1は、RF信号用や電源用な
どのプローブ3、4を保持するもので、金属板を用いる
ことにより、プローブの周囲に絶縁体を介して保持する
ことにより、その絶縁体の選択により同軸線を形成しや
すいため好ましい。
どのプローブ3、4を保持するもので、金属板を用いる
ことにより、プローブの周囲に絶縁体を介して保持する
ことにより、その絶縁体の選択により同軸線を形成しや
すいため好ましい。
【0018】RF信号用プローブ3や電源用プローブ
4、接地用プローブ5などのプローブ10は、図3にそ
の断面説明図が示されるように、金属パイプ13内にス
プリング14により可動ピン11が保持される構造にな
っている。図1〜3に示される例では、両端に可動ピン
11、12が設けられる構造になっているが、少なくと
も被検査物との接触側の一方が可動ピン11となる構造
になっておればよい。可動ピン11のスプリング側の端
部は、図3に示されるように斜めに切断されており、可
動ピン11の先端が押されてスプリング14が縮む状態
では、可動ピン11が斜めに傾いて金属パイプ13に押
しつけられて接触し、可動ピン11に伝わる電気信号
は、細いスプリング14ではなく電気抵抗が低くインピ
ーダンスの小さい金属パイプ13を介して伝達するよう
にすれば、再現性のよい特性が得られる。また、金属パ
イプ13の端部側には、くびれ部13aが両側に設けら
れており、可動ピン11、12が抜け落ちない構造にな
っている。
4、接地用プローブ5などのプローブ10は、図3にそ
の断面説明図が示されるように、金属パイプ13内にス
プリング14により可動ピン11が保持される構造にな
っている。図1〜3に示される例では、両端に可動ピン
11、12が設けられる構造になっているが、少なくと
も被検査物との接触側の一方が可動ピン11となる構造
になっておればよい。可動ピン11のスプリング側の端
部は、図3に示されるように斜めに切断されており、可
動ピン11の先端が押されてスプリング14が縮む状態
では、可動ピン11が斜めに傾いて金属パイプ13に押
しつけられて接触し、可動ピン11に伝わる電気信号
は、細いスプリング14ではなく電気抵抗が低くインピ
ーダンスの小さい金属パイプ13を介して伝達するよう
にすれば、再現性のよい特性が得られる。また、金属パ
イプ13の端部側には、くびれ部13aが両側に設けら
れており、可動ピン11、12が抜け落ちない構造にな
っている。
【0019】RF信号用プローブ3の外周には、たとえ
ばテフロン(登録商標)チューブ15などの絶縁体が被
覆され、前述のように、プローブ3および金属ブロック
1とをそれぞれ内導体および外導体とする同軸線を構成
し、所望の特性インピーダンスが得られるように、その
絶縁体の厚さおよび誘電率が設定されている。電源用プ
ローブ4は、そのような制限はなく、金属ブロック1と
電気的に絶縁されるように絶縁体16を介して保持され
ればよい。また、接地用プローブ5は、金属ブロック1
と直接接触してよいため、絶縁体を介しないで、直接金
属ブロック1の孔内に挿入して保持されている。この各
プローブ3〜5は、図2に拡大断面図が示されるよう
に、下端部は配線基板6により固定され、上端部はアク
リル板などからなる電気的絶縁性の押え板8により固定
されて、上下に動かないようになっている。この配線基
板6および押え板8は、ビス9により金属ブロック1に
固定されている。
ばテフロン(登録商標)チューブ15などの絶縁体が被
覆され、前述のように、プローブ3および金属ブロック
1とをそれぞれ内導体および外導体とする同軸線を構成
し、所望の特性インピーダンスが得られるように、その
絶縁体の厚さおよび誘電率が設定されている。電源用プ
ローブ4は、そのような制限はなく、金属ブロック1と
電気的に絶縁されるように絶縁体16を介して保持され
ればよい。また、接地用プローブ5は、金属ブロック1
と直接接触してよいため、絶縁体を介しないで、直接金
属ブロック1の孔内に挿入して保持されている。この各
プローブ3〜5は、図2に拡大断面図が示されるよう
に、下端部は配線基板6により固定され、上端部はアク
リル板などからなる電気的絶縁性の押え板8により固定
されて、上下に動かないようになっている。この配線基
板6および押え板8は、ビス9により金属ブロック1に
固定されている。
【0020】RF信号用プローブ3の他端部は、セミリ
ジッドなどの同軸ケーブル7に接続されている。この同
軸ケーブル7との接続は、図2に拡大断面図が示される
ように、同軸ケーブル7の接続側端部にGNDリング7
aが設けられ、そのGNDリング7aの先端部を金属ブ
ロック1内に挿入することにより、金属ブロック1と電
気的に接続し、金属ブロック1と配線基板6との間の間
隙部に露出するプローブ3および絶縁体15の外周の外
導体として機能し、間隙部においても同軸線路構造を維
持している。このGNDリング7aはその外周部と配線
基板との間でハンダ7bなどにより固定され、同軸ケー
ブル7が固定されると共に、同軸ケーブルの中心導体7
cの端部にRF信号用プローブ3の他端部の可動ピン1
2が前述のスプリングにより押し付けられている。
ジッドなどの同軸ケーブル7に接続されている。この同
軸ケーブル7との接続は、図2に拡大断面図が示される
ように、同軸ケーブル7の接続側端部にGNDリング7
aが設けられ、そのGNDリング7aの先端部を金属ブ
ロック1内に挿入することにより、金属ブロック1と電
気的に接続し、金属ブロック1と配線基板6との間の間
隙部に露出するプローブ3および絶縁体15の外周の外
導体として機能し、間隙部においても同軸線路構造を維
持している。このGNDリング7aはその外周部と配線
基板との間でハンダ7bなどにより固定され、同軸ケー
ブル7が固定されると共に、同軸ケーブルの中心導体7
cの端部にRF信号用プローブ3の他端部の可動ピン1
2が前述のスプリングにより押し付けられている。
【0021】同軸ケーブル7の中心導体7cは、金属導
電体からなっており、可動ピン12と良好な電気的接続
を維持するために、中心導体7cの端部にAuメッキな
どを施すことが好ましい。同軸ケーブル7の他端部に
は、図1に示されるように、コネクタ7dを設けること
により、良好な特性で測定器に接続することができる。
電体からなっており、可動ピン12と良好な電気的接続
を維持するために、中心導体7cの端部にAuメッキな
どを施すことが好ましい。同軸ケーブル7の他端部に
は、図1に示されるように、コネクタ7dを設けること
により、良好な特性で測定器に接続することができる。
【0022】配線基板6は、被検査物に電源の供給など
を行うもので、基板上に配線が形成されて、その端子が
被検査物の端子と対応する場所に、適切に形成されてい
る。この場合、被検査物が増幅器のような場合、配線基
板6上の電源端子と接地端子間にチップコンデンサ6a
などを接続することができる。図1および2に示される
ように、金属ブロック1の裏面側と配線基板6との間
の、少なくとも電源端子の近傍に間隙部が形成されるよ
うに、金属ブロック1に段差が設けられ、必要によりス
ペーサ9aを介して、金属ブロック1に取り付けられる
ことにより、チップコンデンサ6aを接続する場合など
にも容易に配線基板6上で、しかも被検査物から遠くな
い位置に搭載することができる。
を行うもので、基板上に配線が形成されて、その端子が
被検査物の端子と対応する場所に、適切に形成されてい
る。この場合、被検査物が増幅器のような場合、配線基
板6上の電源端子と接地端子間にチップコンデンサ6a
などを接続することができる。図1および2に示される
ように、金属ブロック1の裏面側と配線基板6との間
の、少なくとも電源端子の近傍に間隙部が形成されるよ
うに、金属ブロック1に段差が設けられ、必要によりス
ペーサ9aを介して、金属ブロック1に取り付けられる
ことにより、チップコンデンサ6aを接続する場合など
にも容易に配線基板6上で、しかも被検査物から遠くな
い位置に搭載することができる。
【0023】また、前述の例では、RF信号用プローブ
3の他端部側に同軸ケーブル7が接続されているが、配
線基板6にRF信号用配線を形成しておき、RF信号用
プローブ3の他端部側を直接配線基板6と接続すること
もできる。さらに、後述するように、被検査物が受動回
路のみからなり、電源を必要としない場合には、電源端
子も必要でなくなり、このような配線基板6を必要とし
ないが、RF信号用プローブ3などの保持のため、配線
基板6または他の支持基板が設けられることが好まし
い。
3の他端部側に同軸ケーブル7が接続されているが、配
線基板6にRF信号用配線を形成しておき、RF信号用
プローブ3の他端部側を直接配線基板6と接続すること
もできる。さらに、後述するように、被検査物が受動回
路のみからなり、電源を必要としない場合には、電源端
子も必要でなくなり、このような配線基板6を必要とし
ないが、RF信号用プローブ3などの保持のため、配線
基板6または他の支持基板が設けられることが好まし
い。
【0024】押え板8は、アクリル板などの電気的絶縁
性材料からなり、各プローブの可動ピン11が突出する
貫通孔が設けられ、ビス9により金属ブロック1に固定
されることにより、各プローブの金属パイプや絶縁体が
金属ブロック1から飛び出ないように固定している。こ
のような電気的絶縁性の押さえ板8が設けられることに
より、もしいずれかのプローブに異常が生じた場合と
か、プローブの隙間に異物などが入り込んだ場合でも、
押え板8を取り外すことにより、容易にプローブを取り
替えたり、異物を取り除いて修理をすることができると
共に、表面が電気的絶縁性になっているため、被検査物
を載置する場合でも再現性のよい安定した接触を得るこ
とができる。
性材料からなり、各プローブの可動ピン11が突出する
貫通孔が設けられ、ビス9により金属ブロック1に固定
されることにより、各プローブの金属パイプや絶縁体が
金属ブロック1から飛び出ないように固定している。こ
のような電気的絶縁性の押さえ板8が設けられることに
より、もしいずれかのプローブに異常が生じた場合と
か、プローブの隙間に異物などが入り込んだ場合でも、
押え板8を取り外すことにより、容易にプローブを取り
替えたり、異物を取り除いて修理をすることができると
共に、表面が電気的絶縁性になっているため、被検査物
を載置する場合でも再現性のよい安定した接触を得るこ
とができる。
【0025】本発明の検査装置によれば、金属ブロック
に可動ピンを有するプローブを埋め込んでいるため、被
検査物の端子との接続が、スプリング性を有する可動ピ
ンにより確実に行われる。さらに、プローブを誘電体に
より被覆しておくことにより、容易に同軸線を構成する
ことができ、一定の特性インピーダンスの線路で測定器
に接続することができる。その結果、検査状態により検
査結果が大きく変動しやすい高周波回路の検査を非常に
信頼性よく検査をすることができる。しかも、接触部が
スプリングにより付勢されたピンにより構成されている
ため、耐久性が高く、従来の異方性導電ゴムでは100
0個ぐらいの検査が限度であったのが、100倍程度以
上に向上する。さらに、押え板を設けることにより、容
易にプローブを交換したり、修理をすることができ、一
層メンテナンス性が向上する。
に可動ピンを有するプローブを埋め込んでいるため、被
検査物の端子との接続が、スプリング性を有する可動ピ
ンにより確実に行われる。さらに、プローブを誘電体に
より被覆しておくことにより、容易に同軸線を構成する
ことができ、一定の特性インピーダンスの線路で測定器
に接続することができる。その結果、検査状態により検
査結果が大きく変動しやすい高周波回路の検査を非常に
信頼性よく検査をすることができる。しかも、接触部が
スプリングにより付勢されたピンにより構成されている
ため、耐久性が高く、従来の異方性導電ゴムでは100
0個ぐらいの検査が限度であったのが、100倍程度以
上に向上する。さらに、押え板を設けることにより、容
易にプローブを交換したり、修理をすることができ、一
層メンテナンス性が向上する。
【0026】前述の例では、被検査物として、能動素子
を有し電源を必要とする場合の例であったが、被検査物
が受動回路のみで、電源の供給を必要としない場合に
は、電源用プローブ5を必要としないことは言うまでも
ない。この場合、配線基板6を設ける必要もないが、R
F用信号プローブ3などを保持するための支持基板が設
けられることが望ましい。
を有し電源を必要とする場合の例であったが、被検査物
が受動回路のみで、電源の供給を必要としない場合に
は、電源用プローブ5を必要としないことは言うまでも
ない。この場合、配線基板6を設ける必要もないが、R
F用信号プローブ3などを保持するための支持基板が設
けられることが望ましい。
【0027】また、前述の例では、各プローブの両端が
可動ピンの例であったが、被検査物と接触する側は被検
査物が常に変ってその都度良好な接触を得なければなら
ないため、可動ピンにする必要がある。しかし、各プロ
ーブの他端側(被検査物と反対側)は同じ製品の検査を
する場合は常に同じ接触状態であるため、ハンダ付けな
どにより固定状態にすることもでき、必ずしも可動ピン
にする必要はない。また、接地用プローブは、他端部を
金属ブロック1から突出させないで、金属ブロック1の
内部で終端させ、金属ブロック1を直接、接地端子とし
て配線基板と接続する構造にしてもよい。
可動ピンの例であったが、被検査物と接触する側は被検
査物が常に変ってその都度良好な接触を得なければなら
ないため、可動ピンにする必要がある。しかし、各プロ
ーブの他端側(被検査物と反対側)は同じ製品の検査を
する場合は常に同じ接触状態であるため、ハンダ付けな
どにより固定状態にすることもでき、必ずしも可動ピン
にする必要はない。また、接地用プローブは、他端部を
金属ブロック1から突出させないで、金属ブロック1の
内部で終端させ、金属ブロック1を直接、接地端子とし
て配線基板と接続する構造にしてもよい。
【0028】
【発明の効果】本発明によれば、接触状態により検査結
果に影響を受けやすい高周波回路の検査を、非常に正確
に、しかも再現性よく行うことができ、信頼性のよい検
査装置が得られる。さらに、被検査物を所定の場所に載
置するだけで正確に測定することができ、検査時間の短
縮を図ることもできる。また、耐久性が非常に向上する
ため、低コストで高周波回路の検査をすることができ
る。
果に影響を受けやすい高周波回路の検査を、非常に正確
に、しかも再現性よく行うことができ、信頼性のよい検
査装置が得られる。さらに、被検査物を所定の場所に載
置するだけで正確に測定することができ、検査時間の短
縮を図ることもできる。また、耐久性が非常に向上する
ため、低コストで高周波回路の検査をすることができ
る。
【図1】本発明の検査装置の一実施形態である構成の説
明図である。
明図である。
【図2】図1の構成における主要部の拡大説明図であ
る。
る。
【図3】図1のプローブの断面説明図である。
【図4】従来の高周波回路の検査装置における一例の構
成説明図である。
成説明図である。
1 金属ブロック 3 RF信号用プローブ 4 電源用プローブ 5 接地用プローブ 6 配線基板 7 同軸ケーブル 8 押え板 11 可動ピン 13 金属パイプ 15 絶縁体 16 絶縁体 20 被検査物
フロントページの続き (72)発明者 柳沢 和介 東京都北区滝野川7丁目5番11号 株式会 社ヨコオ内 (72)発明者 斎田 勝利 群馬県富岡市神農原1112番地 株式会社ヨ コオ富岡工場内 Fターム(参考) 2G003 AE03 AG03 2G011 AA02 AA16 AB01 AB03 AB04 AB06 AB09 AC05 AC32 AE01 AF07
Claims (6)
- 【請求項1】 金属ブロックと、該金属ブロックの一面
側で被検査物の各電極端子とそれぞれ対応する部分に、
可動ピンの先端部が突出するように設けられるRF信号
用プローブおよび接地用プローブとからなり、前記RF
信号用プローブはその周囲が絶縁体により被覆されて前
記金属ブロック内に埋め込まれ、該プローブを内導体と
し前記金属ブロックを外導体とする同軸線を構成するよ
うに前記絶縁体が設けられ、該RF信号用プローブの他
端部側にRF信号入出力用の同軸ケーブルが接続されて
なる高周波回路の検査装置。 - 【請求項2】 前記金属ブロックの一面側で前記被検査
物の電源端子と対応する部分に、可動ピンの先端部が突
出するように電源用プローブがさらに設けられ、前記金
属ブロックの他面側に前記電源用プローブに電源を供給
できるように電源端子が形成された配線基板が設けられ
てなる請求項1記載の高周波回路の検査装置。 - 【請求項3】 前記金属ブロックの一面側に電気的絶縁
性の押え板が設けられ、前記各プローブの可動ピンは、
該押え板を貫通して突出するように設けられてなる請求
項1または2記載の検査装置。 - 【請求項4】 前記金属ブロックの他面側で、少なくと
も前記電源用プローブの近傍に、前記配線基板との間で
間隙部が形成されるように前記配線基板が設けられてな
る請求項2または3記載の検査装置。 - 【請求項5】 前記同軸ケーブルにおける前記RF信号
用プローブとの接続側端部にGNDリングが設けられ、
該GNDリングの先端部が前記金属ブロックと電気的に
接続されると共に、前記RF信号用プローブは、該プロ
ーブの前記他端部に設けられる可動ピンを介して前記同
軸ケーブルの中心導体の先端部と電気的に接続されてな
る請求項1、2、3または4記載の検査装置。 - 【請求項6】 前記同軸ケーブルの中心導体の先端部に
金メッキが施されてなる請求項5記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27751199A JP2001099889A (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 高周波回路の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27751199A JP2001099889A (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 高周波回路の検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001099889A true JP2001099889A (ja) | 2001-04-13 |
Family
ID=17584627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27751199A Pending JP2001099889A (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 高周波回路の検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001099889A (ja) |
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-
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