KR20200123646A - 검사장치 - Google Patents

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Abstract

피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 개시된다. 검사장치는, 프로브공을 가진 블록과, 상기 프로브공에 지지되며, 상기 피검사체의 피검사접점과 검사신호를 인가하는 신호접점 사이를 신축적으로 연결하는 복수의 신호프로브와, 절연피복, 및 상기 절연피복으로 감싸여진 메인심선과 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 메인심선으로부터 연장하여 상기 신호브로브에 접촉하는 프로브접촉부를 가진 동축케이블과, 상기 신호프로브의 축과 상기 동축케이블의 축은 이격되어 있고, 상기 프로브접촉부는 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 동축케이블의 축 방향으로 연장하는 선형연장부와 상기 선형연장부로부터 신호프로브의 축을 향해 연장하는 접촉단부를 포함 한다.

Description

검사장치{Test Device}
본 발명은 인접하는 신호라인과의 노이즈를 효과적으로 차단하고 신호의 전달 특성이 우수한 고속 및 고주파 검사용 검사장치에 관한 것이다.
반도체와 같은 검사대상 디바이스의 전기적 특성을 검사하기 위해 검사장치는 검사프로브를 지지하는 프로브 소켓 및 검사프로브에 접촉하여 검사신호를 인가하는 검사회로기판이 사용되고 있다. 고주파수, 고속용 반도체는 그 피치가 작아지고 허용 전류가 늘어나고 있는 추세로서, 프로브 소켓의 신호용 프로브들 간의 노이즈 차폐가 매우 중요한 인자가 되고 있다. 즉, 테스트 속도 및 주파수가 점점 높아짐에 따라 검사회로기판의 기구적인 길이, 임피던스 매칭 등이 중요한 요소가 되고 있다.
종래의 검사장치는 신호용 프로브를 지지하는 프로브소켓 및 프로브소켓의 하측에 배치되어 검사신호를 제공하는 검사회로기판을 포함한다. 프로브소켓은 도전성 황동블록에 신호용 프로브가 비접촉 상태로 삽입되어 검사가 수행된다. 또한, 검사회로기판은 절연성 유전체 기판에 형성된 검사신호를 전달하는 도전컬럼 및 신호패드를 포함한다. 고주파수, 고속용 반도체와 같이 고격리성(High Isolation)이 요구되는 대상을 검사할 경우 프로브소켓의 인접한 신호용 프로브들 사이를 도전성 접지체로 차폐하는 기술이 적용되고 있다. 그러나 더욱 신뢰성 있는 검사를 위해서는 검사회로기판의 도전컬럼들 사이 및 신호패드들 사이에서 발생하는 노이즈에 의한 격리(Isolation) 손실을 최소한으로 관리할 필요가 있다. 또한, 검사회로기판은 일정 길이의 선로를 갖기 때문에, 선로 길이에 따른 신호손실을 초래하여 신호전달특성이 나빠진다.
본원 출원인은 특허출원 제2017-0162775호에 동축케이블의 심선과 신호프로브를 직접 접촉시키는 검사장치를 개시한 바 있다. 이때, 심선은 동축케이블로부터 노출되어 신호프로브의 단부에 접촉하기 때문에 심선이 휘어지거나 접촉신뢰성이 저하될 수 있다. 또한, 동축케이블은 절연피복으로 인해 직경이 크기 때문에 검사대상의 피검사접점 간의 피치가 작은 경우 심선과 신호프로브 간의 직접 접촉이 어려울 수 있다.
본 발명의 목적은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 파인 피치의 피검사접점을 가진 검사대상을 검사함에 있어 동축케이블의 심선과 신호프로브를 직접 접촉시켜 검사할 수 있는 검사장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 동축케이블의 심선과 신호프로브를 직접 접촉시켜 검사함에 있어 접촉신뢰성을 향상시킬 수 있는 검사장치를 제공함에 있다.
상술한 과제를 달성하기 위한, 본 발명의 제1측면에 따른 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 제공된다. 검사장치는, 프로브공을 가진 블록과, 상기 프로브공에 지지되며, 상기 피검사체의 피검사접점과 검사신호를 인가하는 신호접점 사이를 신축적으로 연결하는 복수의 신호프로브와, 절연피복, 및 상기 절연피복으로 감싸여진 메인심선과 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 메인심선으로부터 연장하여 상기 신호브로브에 접촉하는 프로브접촉부를 가진 동축케이블과, 상기 신호프로브의 축과 상기 동축케이블의 축은 이격되어 있고, 상기 프로브접촉부는 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 동축케이블의 축 방향으로 연장하는 선형연장부와 상기 선형연장부로부터 신호프로브의 축을 향해 연장하는 접촉단부를 포함 한다.
본 발명의 제2측면에 따른 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 제공된다. 검사장치는, 프로브공을 가진 블록과, 상기 프로브공에 지지되며, 상기 피검사체의 피검사접점과 검사신호를 인가하는 신호접점 사이를 신축적으로 연결하는 복수의 신호프로브와, 절연피복, 및 상기 절연피복으로 감싸여진 메인심선과 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 메인심선으로부터 연장하여 상기 신호프로브에 접촉하는 프로브접촉부를 가진 동축케이블과, 상기 메인심선은 상기 프로브접촉부에 피복된 심선보강부를 포함한다.
제1측면의 검사장치는 상기 프로브접촉부에 피복된 심선보강부를 더 포함할 수 있다.
상기 심선보강부는 액상수지를 도포 및 경화하여 형성할 수 있다.
상기 심선보강부는 절연재질로 이루어지며, 상기 신호프로브에 접촉할 수 있도록 상기 프로브접촉부로부터 부분적으로 제거될 수 있다.
검사장치는 상기 동축케이블을 수용하는 케이블수용공을 포함하고, 상기 프로브공과 상기 케이블수용공이 대응하도록 상기 도전성블록에 결합되는 케이블지지블록을 가진 케이블지지부를 더 포함할 수 있다.
상기 프로브접촉부는 상기 신호프로브의 접촉부분이 평탄하게 연마될 수 있다.
상기 평탄하게 연마된 부분은 전도성 재료로 도금하는 도금층을 포함할 수 있다.
상기 프로브접촉부는 상기 신호프로브의 접촉부분을 전도성 재료로 도금하는 도금층을 포함할 수 있다.
상기 도금층은 상기 평탄하게 연마된 부분의 면적보다 넓게 도금될 수 있다.
상기 도금층은 상기 메인심선의 단면적보다 넓게 도금될 수 있다.
상기 프로브접촉부는 1회 이상 절곡될 수 있다.
상기 접촉단부는 상기 선형연장부에 결합될 수 있다.
상기 심선보강부는 상기 프로브접촉부를 수용하는 도전성의 튜브를 포함할 수 있다.
상기 심선보강부는 상기 튜브의 일단부에 마련되어 상기 신호프로브에 접촉하는 도전성의 캡을 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 동축케이블의 심선과 신호프로브를 직접 접촉시키는 검사장치에서 절연피복이 벗겨진 프로브접촉부를 보강함으로써 심선접촉부의 변형을 최소화하여 접촉신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 동축케이블의 심선과 신호프로브를 직접 접촉시키는 검사장치에서 심선접촉부를 절곡시켜 파인 피치의 피검사접점을 가진 검사대상도 용이하게 검사할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치를 나타내는 평면도,
도 2는 본 발명의 검사장치의 하부사시도,
도 3은 본 발명의 검사장치의 분해사시도,
도 4는 본 발명의 검사장치의 단면도,
도 5는 신호프로브와 동축케이블의 결합상태를 상세히 나타내는 부분확대단면도,
도 6 및 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 동축케이블의 배열을 나타내는 평면도 및 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사장치를 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제4실시예에 따른 동축케이블의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제5실시예에 따른 동축케이블의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제6실시예에 따른 동축케이블의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 12는 본 발명의 제7실시예에 따른 동축케이블의 구조를 나타내는 단면도이다.
이하 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 검사장치(1)를 상세히 설명하기로 한다.
도 1 내지 5는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치(1)의 평면도, 하부사시도, 분해사시도, 단면도 및 부분확대단면이다. 도시한 바와 같이, 검사장치(1)는 검사소켓(100), 동축케이블(200), 및 케이블지지부(300)를 포함한다.
검사소켓(100)은 적어도 하나의 신호프로브공(112) 및 적어도 하나의 접지프로브공(114)을 가진 도전성블록(110), 신호프로브공(112)에 비접촉 상태로 수용되는 신호프로브(120), 접지프로브공(114)에 접촉 상태로 수용되는 접지프로브(130), 신호프로브(112)의 상단을 지지하는 상부지지부재(140) 및 신호프로브(112)의 하단을 지지하는 하부지지부재(150)를 포함한다.
도전성블록(110)은 상부도전블록(111)과 하부도전블록(113)을 포함한다.
상부도전블록(111)은 도전성블록(110)은 상측에 상부지지부재(140)를 수용하는 상부지지부재 수용홈(116)을 포함한다. 상부지지부재 수용홈(116)은 중앙에 돌출하는 차폐아일랜드(117)를 포함한다. 차폐아일랜드(117)는 비도전성의 상부지지부재(140)에 지지되는 신호프로브들(112) 사이의 노이즈를 차폐한다. 즉 3개의 신호브로브들(112) 사이에는 차폐아일랜드(117)가 개재된다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 5개의 접지프로브(114)는 차폐아일랜드(117)에 지지되어 부분 돌출하고, 3개의 신호브프로브(112)는 상부지지부재(140)에 지지되어 부분 돌출한다.
하부도전블록(113)은 상부도전블록(111)의 하부도전블록 수용홈(118)에 수용된다. 신호프로브공(112)과 접지프로브공(114)은 상부도전블록(111)과 하부도전블록(113)에 연통하여 형성된다. 결과적으로 신호프로브(120) 및 접지프로브(130)는 상부도전블록(111)과 하부도전블록(113)에 연통하여 형성된 신호프로브공(112)과 접지프로브공(114)에 각각 비접촉상태 및 접촉상태로 삽입된다. 이때, 신호프로브(120) 및 접지프로브(130)는 양단이 도전성블록(110)의 상면과 하면으로부터 부분 돌출된다. 하부도전블록(113)은 하면의 신호프로브공(112) 주위에 하부지지부재(150)를 수용하는 하부지지부재 수용홈(115)이 형성되어 있다.
신호프로브(120)는 상단이 피검사체의 피검사접점에 접촉하고 하단이 동축케이블(200)의 프로브접촉부(212)에 접촉한다. 신호프로브(120)는 동축케이블(200)의 프로브접촉부(212)을 통해 검사신호가 인가된다. 신호프로브(120)는 신축 가능하도록 포고핀 타입으로 구현될 수 있다. 신호프로브(120)는 배럴(미도시), 배럴 양단에 부분 삽입되는 상부 및 하부플런저(미도시), 및 배럴 내에 상하플런저 사이에 배치된 스프링(미도시)을 포함한다. 상부 및 하부플런저 중 적어도 하나는 배럴 내에서 스프링을 압축할 수 있도록 슬라이딩 이동 가능하게 삽입된다.
접지프로브(130)는 상단이 피검사체(미도시)의 접지단자에 접촉하고, 하단이 케이블지지부(300)에 접촉한다. 접지프로브(130)는 피검사체로부터 접지신호가 인가된다. 접지프로브(130)는 신축 가능하도록 포고핀 타입으로 구현될 수 있다. 접지프로브(120)는 배럴(미도시), 배럴 양단에 부분 삽입되는 상부 및 하부플런저(미도시), 및 배럴 내에 상하플런저 사이에 배치된 스프링(미도시)을 포함한다. 상부 및 하부플런저 중 적어도 하나는 배럴 내에서 스프링을 압축할 수 있도록 슬라이딩 이동 가능하게 삽입된다.
상부지지부재(140)는 신호프로브(120)의 상단을 지지하기 위해 제1나사(142)에 의해 상부지지부재 수용홈(116)에 수용된 상태로 상부도전블록(111)에 고정된다. 신호프로브(120)는 쇼트 방지를 위해 도전성블록(110)의 신호프로브공(112)에 비접촉 상태로 플로팅 삽입되며, 이를 위해 절연성의 상부지지부재(140)가 신호프로브(120)의 상단을 지지한다.
마찬가지로, 하부지지부재(150)는 신호프로브(120)의 하단을 지지하기 위해 하부지지부재 수용홈(118)에 수용된다. 신호프로브(120)는 쇼트 방지를 위해 도전성블록(110)의 신호프로브공(112)에 비접촉 상태로 플로팅 삽입되며, 이를 위해 절연성의 하부지지부재(150)가 신호프로브(120)의 하단을 지지한다.
동축케이블(200)은 중앙에 신호 전달을 위한 메인심선(210), 메인심선(210)을 둘러싸는 절연재질의 절연피복(230), 메인심선(210)으로부터 일체로 연장하고 절연피복(230)이 제거된 프로브접촉부(212), 및 프로브접촉부(212)에 피복된 심선보강부(214)를 포함한다. 심선보강부(214)는 프로브접촉부(212)에 예를 들면 에폭시 액상수지로 도포한 후 경화시켜 형성할 수 있다. 에폭시 액상수지의 도포는 후술하는 케이블지지블록(310)에 수용되기 전 또는 후의 프로브접촉부(212)에 도포될 수 있다. 동축케이블(200)의 프로브접촉부(212)는 신호프로브(120)에 접촉을 위해 연마 처리되거나 마스크를 배치한 후에 에폭시 액상수지가 도포될 수 있다. 심선보강부(214)는 사전에 제조되어 프로브접촉부(212)에 끼워질 수 있다.
신호프로브(120)에 접촉하는 동축케이블(200)의 일단은 후술하는 케이블지지블록(310)에, 타단은 일단으로부터 이격된 위치의 절연기판(320)에 지지된다. 동축케이블(200)는 외부로부터 검사신호를 수신하기 위한 신호커넥터(240)를 포함한다. 신호커넥터(240)는 절연기판(320)에 장착된다.
도 6 및 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 동축케이블(200)의 배열을 나타내는 평면도 및 사시도이다. 동축케이블(200)은 직경이 큰 절연피복(230)을 갖고 있기 때문에, 동축케이블(200)의 축(X)과 신호프로브(120)의 축(Y)은 서로 이격되게 위치한다.
동축케이블(200)은 중앙에 신호 전달을 위한 메인심선(210), 메인심선(210)을 둘러싸는 절연재질의 절연피복(230), 메인심선(210)으로부터 일체로 연장하고 절연피복(230)이 제거된 프로브접촉부(212), 및 프로브접촉부(212)에 피복된 심선보강부(214)를 포함한다.
프로브접촉부(212)는 동축케이블(200)의 축(X)을 따라 연장하는 선형연장부(215) 및 선형연장부(215)로부터 신호프로브(120)의 축(Y)을 향해 절곡된 접촉단부(216)를 포함한다. 또한, 프로브접촉부(212)는 1회 이상 다양한 형태로 절곡될 수도 있다. 또한, 프로브접촉부(212)는 신호프로브(120)의 단부를 향해 경사지게 연장할 수도 있다. 접촉단부(216)의 상부는 심선보강부(214)가 배제되어 노출된다. 신호프로브(120)는 접촉단부(216)의 노출된 상부에 접촉한다. 접촉단부(216)의 상부는 심선보강부(214)로 프로브접촉부(212)를 전체적으로 피복한 후에 연마하거나 프로브접촉부(212)의 상부를 마스크(미도시)를 배치한 후에 도포하여 형성할 수 있다.
신호프로브(120)에 접촉하는 동축케이블(200)의 일단은 후술하는 케이블지지블록(310)에, 타단은 일단으로부터 이격된 위치의 절연기판(320)에 지지된다. 동축케이블(200)은 외부로부터 검사신호를 수신하기 위한 신호커넥터(240)를 포함한다. 신호커넥터(240)는 절연기판(320)에 장착된다.
케이블지지부(300)는 동축케이블(200)을 수용하는 케이블수용공(312)을 가진 케이블지지블록(310) 및 검사소켓(100)을 장착하는 절연기판(320)을 포함한다.
케이블지지블록(310)은 하부도전블록(113)의 신호프로브공(112)에 상응하는 위치에 다수의 케이블수용공(312)을 포함한다. 케이블지지블록(310)은 도전성을 가진 금속으로 제작되는 것이 바람직하다. 케이블지지블록(310)은 절연기판(320)의 관통공(322)에 삽입된 상태에서 도전성블록(110)에 제2나사(144)로 고정결합된다. 케이블지지블록(310)은 도전성블록(110)에 접촉하는 부위의 반대측에 파여진 케이블지지함몰부(314) 및 횡으로 확장되는 확장판부(316)를 포함한다. 동축케이블(200)은 케이블지지함몰부(314) 내의 케이블수용공(312)에 삽입된 상태에서 접(점)착제(315)가 케이블지지함몰부(314)에 채워 넣어져 고정된다. 확장판부(316)는 절연기판(320)의 이면에 접촉하여 검사소켓(100)과 함께 절연기판(320)을 지지한다.
절연기판(320)은 일면에 검사소켓(100)을 장착하고, 이면에 노이즈 차폐를 위해 동축케이블들(200)의 타단을 각각 분리시켜 부착한다. 절연기판(300)은 케이블지지블록(310)이 관통하여 수용되는 관통공(322)을 포함한다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 검사장치(2)를 나타내는 단면도이다. 도 1 내지 5에 나타낸 제1실시예의 검사장치(1)와 동일한 부분은 동일부호를 부여하였고, 다른 부분만을 설명한다.
도시한 바와 같이, 검사장치(2)는 검사소켓(100), 동축케이블(200), 및 케이블지지부(300)를 포함한다.
케이블지지부(300)는 절연기판(320)이 생략되고, 신호커넥터(240)가 절연기판(320) 대신에 확장판부(316)에 고정되어 있다.
도 9는 본 발명의 제4실시예에 따른 동축케이블(200)의 구조를 나타내는 단면도이다.
동축케이블(200)은 절연피복(230)이 제거된 프로브접촉부(212), 및 프로브접촉부(212)에 피복된 심선보강부(214)를 포함한다.
프로브접촉부(212)는 동축케이블(200)의 축(X)을 따라 연장하는 선형연장부(215) 및 선형연장부(215)로부터 신호프로브(120)의 축(Y)을 향해 절곡된 접촉단부(216)를 포함한다. 접촉단부(216)의 상부는 심선보강부(214)가 배제되어 노출된다. 또한, 접촉단부(216)의 상부는 평탄하게 연마된 평면부(217) 및 평면부(217)의 신호프로브(120)가 접촉하는 부분에 전도성 재료, 예를 들면 금, 백금, 은 등으로 도금된 도금층(218)을 포함할 수 있다. 물론, 접촉단부(216)의 상부는 연마를 생략하고 도금층(218)만 마련될 수도 있다. 이때, 도금층(218)은 평면부를 포함할 수 있다. 접촉단부(216) 상부의 연마 또는 도금은 심선보강부(214)가 형성된 상태에서 이루어질 수도 있고, 심선보강부(214)가 형성되기 전에 이루어질 수 있다.
도 10은 본 발명의 제5실시예에 따른 동축케이블(200)의 구조를 나타내는 단면도이다.
동축케이블(200)은 절연피복(230)이 제거된 프로브접촉부(212), 및 프로브접촉부(212)에 피복된 심선보강부(214)를 포함한다.
프로브접촉부(212)는 동축케이블(200)의 축(X)을 따라 연장하는 선형연장부(215) 및 선형연장부(215)로부터 신호프로브(120)의 축(Y)을 향해 절곡된 접촉단부(216)를 포함한다. 접촉단부(216)의 상부는 심선보강부(214)가 배제되어 노출된다. 또한, 접촉단부(216)는 역방향으로 추가 절곡된 추가접촉단부(219) 및 추가 절곡되는 부분에 전도성 재료, 예를 들면 금, 백금, 은 등으로 도금된 도금층(218)을 포함할 수 있다. 접촉단부(216) 상부의 도금은 심선보강부(214)가 형성된 상태에서 이루어질 수도 있고, 심선보강부(214)가 형성되기 전에 이루어질 수 있다. 물론, 접촉단부(216)의 상부는 평탄하게 연마된 상태에서 도금층(218)이 마련될 수도 있다.
도 11은 본 발명의 제6실시예에 따른 동축케이블(200)의 구조를 나타내는 단면도이다.
동축케이블(200)은 절연피복(230)이 제거된 프로브접촉부(212), 및 프로브접촉부(212)에 피복된 심선보강부(214)를 포함한다.
프로브접촉부(212)는 동축케이블(200)의 축(X)을 따라 연장하는 선형연장부(215) 및 선형연장부(215)로부터 신호프로브(120)의 축(Y)을 향해 절곡된 접촉단부(216)를 포함한다. 접촉단부(216)는 중앙에 결합공(216-2)이 형성된 결합헤드(216-1)와 신호프로브(120)의 축(Y)을 향해 연장하는 접촉연장부(16-3)를 포함한다. 접촉단부(216)는 결합공(216-2)에 선형연장부(215)의 단부를 삽입시켜 결합된다. 결합공(216-2)에 끼워진 선형연장부(215)는 억지끼움, 납땜 또는 절연에폭시와 같은 접착제로 접합될 수 있다.
도 12는 본 발명의 제7실시예에 따른 동축케이블(200)의 구조를 나타내는 단면도이다.
동축케이블(200)은 절연피복(230)이 제거된 프로브접촉부(212), 및 프로브접촉부(212)에 피복된 심선보강부(214)를 포함한다.
프로브접촉부(212)는 동축케이블(200)의 축(X)을 따라 연장한다. 심선보강부(214)는 도전성 재질로 이루어질 수 있다. 심선보강부(214)는 프로브접촉부(212)를 수용하는 튜브(214-1) 및 튜브(214-1)의 반경방향으로 확장하는 플랜지 형상의 접촉헤드(214-2)를 포함할 수 있다. 여기서, 도전성의 심선보강부(214)는 심선의 보강 및 접촉단자로서의 역할을 동시에 수행할 수 있다.
이상과 같이 본 발명은 한정된 예시적 실시예와 도면을 통해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 예시적 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로 본 발명의 범위는 설명된 예시적 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1, 2: 검사장치
100: 검사소켓
110: 도전성블록
120: 신호프로브
130: 접지프로브
140: 상부지지부재
150: 하부지지부재
200: 동축케이블
210: 메인심선
212: 프로브접촉부
214: 심선보강부
215: 선형연장부
216: 접촉단부
300: 케이블지지부
310: 케이블지지블록
320: 절연기판

Claims (15)

  1. 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치에 있어서,
    프로브공을 가진 블록과;
    상기 프로브공에 지지되며, 상기 피검사체의 피검사접점과 검사신호를 인가하는 신호접점 사이를 신축적으로 연결하는 복수의 신호프로브와;
    절연피복, 및 상기 절연피복으로 감싸여진 메인심선과 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 메인심선으로부터 연장하여 상기 신호브로브에 접촉하는 프로브접촉부를 가진 동축케이블과;
    상기 신호프로브의 축과 상기 동축케이블의 축은 이격되어 있고,
    상기 프로브접촉부는 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 동축케이블의 축 방향으로 연장하는 선형연장부와 상기 선형연장부로부터 신호프로브의 축을 향해 연장하는 접촉단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치.
  2. 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치에 있어서,
    프로브공을 가진 블록과;
    상기 프로브공에 지지되며, 상기 피검사체의 피검사접점과 검사신호를 인가하는 신호접점 사이를 신축적으로 연결하는 복수의 신호프로브와;
    절연피복, 및 상기 절연피복으로 감싸여진 메인심선과 상기 절연피복으로부터 노출되고 상기 메인심선으로부터 연장하여 상기 신호프로브에 접촉하는 프로브접촉부를 가진 동축케이블과;
    상기 메인심선은 상기 프로브접촉부에 피복된 심선보강부를 포함하는 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브접촉부에 피복된 심선보강부를 더 포함하는 검사장치.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 심선보강부는 액상수지를 도포 및 경화하여 형성하는 검사장치.
  5. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 심선보강부는 절연재질로 이루어지며, 상기 신호프로브에 접촉할 수 있도록 상기 프로브접촉부로부터 부분적으로 제거되는 검사장치.
  6. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 동축케이블을 수용하는 케이블수용공을 포함하고, 상기 프로브공과 상기 케이블수용공이 대응하도록 상기 도전성블록에 결합되는 케이블지지블록을 가진 케이블지지부를 더 포함하는 검사장치.
  7. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 프로브접촉부는 상기 신호프로브의 접촉부분이 평탄하게 연마되는 검사장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 평탄하게 연마된 부분은 전도성 재료로 도금하는 도금층을 포함하는 검사장치.
  9. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 프로브접촉부는 상기 신호프로브의 접촉부분을 전도성 재료로 도금하는 도금층을 포함하는 검사장치.
  10. 제 8항에 있어서,
    상기 도금층은 상기 평탄하게 연마된 부분의 면적보다 넓게 도금되는 검사장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 도금층은 상기 메인심선의 단면적보다 넓게 도금되는 검사장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브접촉부는 1회 이상 절곡되는 검사장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 접촉단부는 상기 선형연장부에 결합되는 검사장치.
  14. 제 2항에 있어서,
    상기 심선보강부는 상기 프로브접촉부를 수용하는 도전성의 튜브를 포함하는 검사장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 심선보강부는 상기 튜브의 일단부에 마련되어 상기 신호프로브에 접촉하는 도전성의 캡을 포함하는 검사장치.
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