JP2003270291A

JP2003270291A - 高周波製品の検査装置

Info

Publication number: JP2003270291A
Application number: JP2002073938A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Fujimoto; 力藤本; Takeshi Kamiya; 岳神谷
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-03-18
Filing date: 2002-03-18
Publication date: 2003-09-25

Abstract

(57)【要約】【課題】高周波製品の検査装置において、同軸構造をな
す先端部における寄生容量などの発生を抑制でき、ＲＦ
信号による検査において測定される特性値にばらつきが
大きく生じるのを抑制できるようにする。【解決手段】金属ブロック１と、該金属ブロック１に形
成された貫通孔３に装着された絶縁チューブ６と、該絶
縁チューブ６に挿入される信号用プローブ２とによって
同軸構造を構成し、信号用プローブ２の一方端側に被検
体７に対する接触部を設け、他方端側に測定系の信号線
８と接続する接続部を設けている高周波製品の検査装置
において、被検体７と接触するＧＮＤ用プローブ４を、
金属ブロック１における被検体７に臨む面側で、かつ、
信号用プローブ２の側方箇所において、金属ブロック１
に結合している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主に高周波信号を
扱う電子部品や回路の特性検査や測定などに供される高
周波製品の検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の検査装置にあっては、被
検体を測定器の信号線に接触させる端子ブロックとし
て、例えば特開２００１−９９８８９号公報に開示され
たもののように、金属ブロックの一面側で、被検査物の
各電極端子とそれぞれに対応する位置に可動ピンの先端
部が突出するように、ＲＦ信号用プローブ、電源用プロ
ーブ、およびＧＮＤ（接地）用プローブが設けられたも
のが知られている。

【０００３】ＲＦ信号用プローブの外周には例えばテフ
ロン（登録商標）チューブなどの絶縁物が被覆され、Ｒ
Ｆ信号用プローブを内部導体とし、金属ブロックを外部
導体とする同軸構造に構成している。

【０００４】また、電源用プローブもＲＦ信号用プロー
ブと同様に絶縁物が被覆され金属ブロックに設置されて
いる。

【０００５】一方、ＧＮＤ用プローブは金属ブロックと
直接接触してよいため、絶縁物を介さないで直接金属ブ
ロックの孔に単に挿入して保持されるようにしていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、金属ブロックに形成した孔にＧＮＤ用プロ
ーブを差し込んだだけのものであったため、そのＧＮＤ
用プローブと金属ブロックとの接触点がどこで得られて
いるか確定させることができなかった。場合によって
は、ＧＮＤ用プローブが金属ブロックと接触することな
く、金属ブロックの下方に配置された配線基板上のＧＮ
Ｄ部にＧＮＤ信号電流が流れてしまうことがあった。そ
の従来技術の一例を図１５に示している。この図示され
た従来技術では、ＧＮＤ用プローブ４が金属ブロック１
に形成された有底孔５に単に差し込まれ、そのＧＮＤ用
プローブ４や信号用プローブ２が抜け出ないよう上面に
押え板Ｃを設けた構造となっていた。したがって、ＧＮ
Ｄ用プローブ４と金属ブロック１との接触はそのＧＮＤ
用プローブ４の下端位置でのみ確実なものとなってい
て、被検体７との接触箇所近くでＧＮＤ用プローブ４と
金属ブロック１とが接触できるものとなっていない。

【０００７】このため、電気的な同軸構造を形成する信
号電流の流れ（電気的な同軸構造を形成するためには、
ＧＮＤ信号電流はＲＦ信号電流が形成する同軸部に近接
する金属部を流れなければならない）が安定して再現す
ることができない。すなわち、ＧＮＤ用プローブ４と被
検体７との接触部から比較的離れた箇所でＧＮＤ用プロ
ーブ４が金属ブロック１と接触する場合、同軸構造部の
先端部において寄生容量やインダクタンス成分が発生す
るため、被検体を測定した際の特性値が大きくばらつい
てしまうという問題があった。

【０００８】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
であって、高周波製品の検査装置において、同軸構造を
なす先端部における寄生容量などの発生を抑制でき、Ｒ
Ｆ信号による検査において測定される特性値にばらつき
が大きく生じるのを抑制できるようにすることを解決課
題としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
高周波製品の検査装置は、金属ブロックと、該金属ブロ
ックに形成された貫通孔に装着された絶縁チューブと、
該絶縁チューブに挿入される信号用プローブとによって
同軸構造を構成し、前記信号用プローブの一方端側に被
検体に対する接触部を設け、他方端側に測定系の信号線
と電気的に接続する接続部を設けるとともに、前記被検
体と接触するＧＮＤ用プローブを前記金属ブロックに設
けている高周波製品の検査装置において、前記金属ブロ
ックにおける前記被検体に臨む面の近傍に、前記ＧＮＤ
用プローブと金属ブロックとを接続する接続構造を設け
ていることを特徴とする。

【００１０】本発明の請求項１に係る高周波製品の検査
装置によれば、金属ブロックにおける前記被検体に臨む
面の近傍に、ＧＮＤ用プローブと金属ブロックとを接続
する接続構造を設けていることで、被検体からの帰還電
流は比較的短い経路で信号用プローブと同軸構造を成す
金属ブロックに確実に流れるようになるから、同軸構造
箇所の先端部において寄生容量やインダクタンス成分の
発生が抑制され、その結果、特性インピーダンスを一定
に調整できるとともに、被検体を測定した際の特性値の
大きなばらつきも解消できることになって、高精度の測
定を行える。

【００１１】本発明の請求項２に係る高周波製品の検査
装置は、請求項１に記載の高周波製品の検査装置におい
て、前記ＧＮＤ用プローブは、前記金属ブロックに形成
された孔に挿入されるとともに、前記被検体に臨む面側
において、前記信号用プローブ側に向かって弾性付勢手
段によって前記金属ブロックに押し付けられていること
を特徴とする。

【００１２】本発明の請求項２に係る高周波製品の検査
装置によれば、金属ブロックに形成された孔に挿入され
たＧＮＤ用プローブが弾性付勢手段によって信号用プロ
ーブ側に向かって押し付けられているから、このＧＮＤ
用プローブは孔における信号用プローブ側の壁に比較的
強く接触して、金属ブロックに対して確実性高く接続さ
れた状態となり、その接触箇所を通してＧＮＤ用プロー
ブから帰還電流が流れることになる。

【００１３】本発明の請求項３に係る高周波製品の検査
装置は、請求項２に記載の高周波製品の検査装置におい
て、前記金属ブロックの前記ＧＮＤ用プローブを挿入す
る孔に孔径の異なる段差構造を設けるとともに、該段差
構造は前記被検体側の孔径を小さくし、前記ＧＮＤ用プ
ローブを被検体側とは反対側から挿入し、前記被検体側
の孔径を小さくした部分において前記ＧＮＤ用プローブ
が位置規制されて固定され、前記被検体に臨む側とは反
対側から前記ＧＮＤ用プローブを金属ブロックに押し付
けていることを特徴とする。

【００１４】本発明の請求項３に係る高周波製品の検査
装置によれば、ＧＮＤ用プローブは被検体側の孔径の小
さい部分とそれより孔径の大きな部分との間に構成され
る段差部分に当接するので、その当接箇所を通してＧＮ
Ｄ用プローブから金属ブロックに帰還電流が流れること
になる。

【００１５】本発明の請求項４に係る高周波製品の検査
装置は、請求項２に記載の高周波製品の検査装置におい
て、前記ＧＮＤ用プローブは被検体に対する接触部と該
接触部を支持するスリーブとからなり、前記スリーブに
おける前記被検体を臨む面側の端部に前記スリーブの径
方向に突出する突起を設けるとともに、前記突起を前記
被検体を望む面側から前記金属ブロックに押し付けた状
態で保持することで、前記ＧＮＤ用プローブと前記金属
ブロックとを電気的に接続する接続構造とすることを特
徴とする。

【００１６】本発明の請求項４に係る高周波製品の検査
装置によれば、検査時に被検体の電極がＧＮＤ用プロー
ブに押し付けられる際のその押圧力によってＧＮＤ用プ
ローブのスリーブが金属ブロックに押し付けられ、その
押し付けによりＧＮＤ用プローブの突出部と金属ブロッ
クとが強く接触することになって、その接触箇所を通し
てＧＮＤ用プローブから金属ブロックに帰還電流が流れ
ることになる。

【００１７】本発明の請求項５に係る高周波製品の検査
装置は、請求項２に記載の高周波製品の検査装置におい
て、前記ＧＮＤ用プローブは被検体に対する接触部と該
接触部を支持するスリーブとからなり、前記スリーブ
に、前記金属ブロックに形成されたＧＮＤ用プローブ挿
入用の孔の孔径よりも大きい外径の太径部分を設けると
ともに、前記ＧＮＤ用プローブを前記孔に圧入し、前記
ＧＮＤ用プローブと前記金属ブロックとを電気的に接続
する接続構造とすることを特徴とする。

【００１８】本発明の請求項５に係る高周波製品の検査
装置によれば、ＧＮＤ用プローブのスリーブの太径部分
が金属ブロックのＧＮＤ用プローブの孔に圧入されてい
るから、その圧入箇所を通してＧＮＤ用プローブから金
属ブロックに帰還電流が流れることになる。

【００１９】本発明の請求項６に係る高周波製品の検査
装置は、請求項５に記載の高周波製品の検査装置におい
て、前記ＧＮＤ用プローブの前記太径部分を、前記被検
体を臨む面側に設けていることを特徴とする。

【００２０】本発明の請求項６に係る高周波製品の検査
装置によれば、ＧＮＤ用プローブの孔における被検体と
接触する側寄り部分を通してＧＮＤ用プローブから金属
ブロックに帰還電流が流れることになるから、信号用プ
ローブに近接した位置で該信号用プローブの横側部分の
金属ブロックを通って被検体近くから帰還電流が流れる
ことになって、寄生容量などの悪影響が生じにくいとと
もに、ＧＮＤ用プローブのスリーブの孔への圧入範囲の
ほぼ全体を太径部分に構成するよりも圧入作業がし易
い。

【００２１】本発明の請求項７に係る高周波製品の検査
装置は、請求項１から６のいずれかに記載の高周波製品
の検査装置において、前記ＧＮＤ用プローブの前記被検
体に対する接触部は、前記被検体側に向けて弾性付勢さ
れるとともに、前記被検体との関係において遠近方向で
可動に構成していることを特徴とする。

【００２２】本発明の請求項７に係る高周波製品の検査
装置によれば、検査時にはＧＮＤ用プローブは被検体と
の接触が弾性的になされるとともに、信号用プローブな
どと被検体の電極との接触とＧＮＤ用プローブと被検体
の電極との接触とがタイミング的にずれていても、その
ずれ分を吸収して、信号用プローブと共にＧＮＤ用プロ
ーブも被検体の電極に確実に接触させることができ、ま
た、接触時の衝撃も吸収できる。

【００２３】本発明の請求項８に係る高周波製品の検査
装置は、請求項１から７のいずれかに記載の高周波製品
の検査装置において、前記ＧＮＤ用プローブを複数個備
えるとともに、該ＧＮＤ用プローブの一部が前記金属ブ
ロックと一体の固定ピンであることを特徴とする。

【００２４】本発明の請求項８に係る高周波製品の検査
装置によれば、複数個あるＧＮＤ用プローブの一部が可
動ピンでなく固定ピンとなっているので、その固定ピン
においては被検体からの帰還信号がただちに金属ブロッ
クに伝わることになる。

【００２５】本発明の請求項９に係る高周波製品の検査
装置は、請求項８に記載の高周波製品の検査装置におい
て、前記ＧＮＤ用プローブのうち固定ピンは、前記金属
ブロックに螺子止めされていることを特徴とする。

【００２６】本発明の請求項９に係る高周波製品の検査
装置によれば、長期使用に伴い固定ピンが摩耗等した場
合でも、螺子止めされている部分を交換することで固定
ピンを良好な状態に維持できる。

【００２７】本発明の請求項１０に係る高周波製品の検
査装置は、請求項８に記載の高周波製品の検査装置にお
いて、前記ＧＮＤ用プローブのうち固定ピンは、前記金
属ブロックに一体形成されていることを特徴とする。

【００２８】本発明の請求項１０に係る高周波製品の検
査装置によれば、固定ピンが金属ブロックと一体となっ
たものであるので、その固定ピン構造はきわめて簡易な
ものとなり、安価に構成できる。

【００２９】本発明の請求項１１に係る高周波製品の検
査装置は、請求項８から１０のいずれかに記載の高周波
製品の検査装置において、前記ＧＮＤ用プローブの固定
ピンを、仮想的な三角形の頂点上にそれぞれ位置するよ
うに３個のみ配置していることを特徴とする。

【００３０】本発明の請求項１１に係る高周波製品の検
査装置によれば、固定ピン自体は被検体の電極との接触
で被検体と遠近方向での移動がまったくないものである
から、３個の固定ピンのみをこのように配置することに
よって、被検体を検査のためにＧＮＤ用プローブに接触
させるとき、３個の固定ピンすべてに接触することにな
り、例えば１個、２個の固定ピンしか設けていない場合
は、接触が１点または２点のみであるので被検体の姿勢
が不安定となり易く、検査結果が安定しないという問題
があるが、請求項１１に係る発明では、３点ともに被検
体の電極に同時接触した状態となるとともに、傾きが生
じないようにできる。

【００３１】本発明の請求項１２に係る高周波製品の検
査装置は、請求項１から１１のいずれかに記載の高周波
製品の検査装置において、前記信号用プローブを装着す
る前記孔と、該孔に隣接する前記ＧＮＤ用プローブを装
着する前記孔との間に、前記ＧＮＤ用プローブからの帰
還電流が前記孔の近傍を流れるようにする切欠き孔を形
成していることを特徴とする。

【００３２】本発明の請求項１２に係る高周波製品の検
査装置によれば、切欠き孔を形成することによって、Ｇ
ＮＤ用プローブから金属ブロックへ流れる帰還電流が信
号用プローブの近傍を流れることになるので、信号の劣
化が少なく、同軸ケーブルに近い状態で帰還電流の流れ
る経路となる。

【００３３】本発明の請求項１３に係る高周波製品の検
査装置は、請求項１から１２のいずれかに記載の高周波
製品の検査装置において、前記金属ブロックと前記信号
線との取り付け部において、前記金属ブロックに設けら
れた信号線取り付け孔の内径を前記信号線の外部導体外
径よりもわずかに小さく設定し、この取り付け孔に前記
信号線を圧入していることを特徴とする。

【００３４】本発明の請求項１３に係る高周波製品の検
査装置によれば、信号線の外部導体外径よりもわずかに
小さく信号線取り付け孔の内径を設定しているから、そ
の信号線取り付け孔に圧入される信号線の外部導体と金
属ブロックとの密着性が高いものとなり、金属ブロック
を通してその信号線の外部導体に帰還信号が円滑に伝達
されることとなる。

【００３５】本発明の請求項１４に係る高周波製品の検
査装置は、請求項１から１３のいずれかに記載の高周波
製品の検査装置において、前記金属ブロックと前記信号
線との取り付け部は、前記信号線を保持する部材を設
け、この保持部材に前記信号線を固定し、前記金属ブロ
ックに設けられた前記信号線取り付け孔に前記信号線を
挿入するとともに、前記保持部材により信号線を前記金
属ブロックに保持固定して、前記信号線と前記金属ブロ
ック間の導通を得るように構成していることを特徴とす
る。

【００３６】本発明の請求項１４に係る高周波製品の検
査装置によれば、保持部材を金属ブロックに保持固定す
ることにより信号線と金属ブロック間の導通が得られる
から、信号線と金属ブロックとを電気的に導通を得るた
めの接続作業は簡易なものとなる。

【００３７】本発明の請求項１５に係る高周波製品の検
査装置は、請求項１から１４のいずれかに記載の高周波
製品の検査装置において、前記信号用プローブ、及び、
前記信号線を挿入するための前記貫通孔において、前記
信号用プローブを挿入する部分の内径が前記信号線の外
部導体外径よりも小さくなるように、前記貫通孔内に段
差を設けていることを特徴とする。

【００３８】本発明の請求項１５に係る高周波製品の検
査装置によれば、信号線を金属ブロックに形成した貫通
孔に差し込み装着した際に、その信号線の先端は絶縁チ
ューブによって位置規制されることになり、その位置規
制された状態で信号線は金属ブロックに保持されること
になる。

【００３９】本発明の請求項１６に係る高周波製品の検
査装置は、請求項１５に記載の高周波製品の検査装置に
おいて、前記金属ブロックに設けられた貫通孔のうち、
前記信号線側の開口部から前記段差までで構成される信
号線取り付け孔の孔深さより若干長くなるように、前記
信号線を突出させて保持部材を前記信号線に固定し、こ
の信号線の突出部分を前記信号線取り付け孔に挿入する
ように前記保持部材を前記金属ブロックに固定すること
により、前記信号線の外部導体を前記段差に圧接させて
前記金属ブロックと前記信号線の外部導体との導通が得
られるようにしていることを特徴とする。

【００４０】本発明の請求項１６に係る高周波製品の検
査装置によれば、保持部材を金属ブロックに保持固定す
ることによって、信号線の先端が取り付け孔内の段差部
分に圧接することになる。それにより、金属ブロックと
信号線の外部導体との接続、および、信号用プローブと
信号線の内部導体との接続が確実になされる。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面に示す
実施形態に基づいて説明する。

【００４２】（実施形態１）図１から図４は、実施形態
１を示すものであって、図１は、本発明に係る検査装置
の端子ブロックの要部を示し、その（ａ）は、平面図、
その（ｂ）は、側面図、その（ｃ）は、（ａ）における
Ａ−Ａ線縦断面図（被検体を各プローブに接触させる前
の状態を示している）、図２は、図１（ｃ）のものにお
いて、被検体を各プローブに接触させた状態を示す要部
拡大縦断面図、図３は、検査装置の測定系の接続状態を
示す概略説明図、図４は、図１（ａ）におけるＢ−Ｂ線
縦断面図である。

【００４３】図３に示すように、当該実施形態に係る検
査装置では、測定器の測定信号ポートからのＲＦ信号が
同軸ケーブルおよび測定治具である端子ブロックＴを介
して被検体７に入力されるとともに、被検体７からの出
力信号が端子ブロックＴおよび別の同軸ケーブルを介し
て測定器の入力ポートに入力されるようになっている。
そして、端子ブロックＴでは、後述するように同軸構造
を成す一対のＲＦ信号用プローブ２，２が被検体７の信
号用端子に接触できるように構成している。なお、図３
では、後述するＧＮＤ用プローブの図示を省略してい
る。

【００４４】図１（ａ），（ｂ），（ｃ）、図２および
図４に、その端子ブロックＴを示している。この端子ブ
ロックＴは、導電性材料（例えば真鍮）で構成された金
属ブロック１に、信号用プローブとしての一対のＲＦ信
号用プローブ２をそれぞれ埋設する貫通孔３、および、
４つのＧＮＤ用プローブ４をそれぞれ埋設する有底孔５
を形成している。

【００４５】各ＲＦ信号用プローブ２は、貫通孔３に対
して装着されたテフロン（登録商標）チューブなどの樹
脂材からなる絶縁チューブ６内に挿入された状態で設け
られている。そして、ＲＦ信号用プローブ２は、スリー
ブ２ａと、このスリーブ２ａに出退自在に、かつ抜け止
め状態で外方へ突出するよう内部のばねで弾性付勢され
た一対の可動ピン２ｂ，２ｃとで構成されている。

【００４６】したがって、ＲＦ信号用プローブ２の一端
の可動ピン２ｂは金属ブロック１から突出し、例えばＤ
ＵＴ（device under test）などの被検体７の電極７ａ
を接触させることができるようになっている。ＲＦ信号
用プローブ２の他端の可動ピンは測定機器に接続される
信号線８の芯線８ａに接続（この実施形態１では同軸線
の芯線にピンが接触するようになっている（図１（ｃ）
参照））する構成となっている。

【００４７】各ＲＦ信号用プローブ２に対してＧＮＤ用
プローブ４がそのＲＦ信号用プローブ２の両脇にそれぞ
れ配置されている。すなわち、図１（ａ）に示すよう
に、左右にそれぞれ配置されたＲＦ信号用プローブ２の
前後両側にそれぞれＧＮＤ用プローブ４が配置されてい
る。各ＧＮＤ用プローブ４は、スリーブ４ａと、該スリ
ーブ４ａに抜け止め状態で上方へ突出するように、かつ
内部のばねで弾性付勢されるように装着された可動ピン
４ｂとで構成している。そして、有底孔５の上端部に開
口する状態で平面視矩形状の比較的浅い掘り込み１０を
金属ブロック１に形成している。この掘り込み１０は、
各有底孔５においてＲＦ信号用プローブ２が有る側とは
反対側に形成されているのであって、各掘り込み１０に
は、弾性付勢手段としてのＵ字状バネ１１が装着されて
いる。このＵ字状バネ１１は、その装着された状態にお
いて、ＧＮＤ用プローブ４をＲＦ信号用プローブ２に向
かって弾性付勢して有底孔５の内壁に押し付けるもので
ある。この押し付けによって、ＧＮＤ用プローブ４は金
属ブロック１と確実に接触している。特に、Ｕ字状バネ
１１はＧＮＤ用プローブ４の被検体７に臨む面近くに位
置しているから、ＧＮＤ用プローブ４がＵ字状バネ１１
に押圧されたとき、ＧＮＤ用プローブ４は、その上端部
で有底孔５に特に強く押圧されることになる。したがっ
て、このＵ字バネ１１を用いてＧＮＤ用プローブ４を金
属ブロック１の被検体７に臨む面近くに位置する箇所で
ＧＮＤ用プローブ４と金属ブロック１とをＲＦ信号用プ
ローブ２の横側において接続する接続構造が構成されて
いる。これにより、検査時に被検体７のＧＮＤ用電極を
通してＧＮＤ用プローブ４に流れた帰還電流は、その金
属ブロック１の被検体７に臨む上面近くからＲＦ信号用
プローブ２の横側に沿って流れていくことになる。

【００４８】また、図中Ｃは、このブロック体Ｂの上面
から信号用プローブやＧＮＤ用プローブ及びＵ字状バネ
１１が飛び出さないように規制するための押え板であ
り、端子間結合を抑制するためにテフロン（登録商標）
等の低誘電率材料からなる。なお、押え板は各プローブ
が飛び出さないように規制できるだけの強度と厚みを有
していればよく、組み付けやすいという点からある程度
の透明度を有していることが好ましい。さらにこの押え
板Ｃ上には、被検体７を検査時に案内していく透明樹脂
製の案内体１２を設けている。この案内体１２は、検査
時において、被検体７の外部電極位置が各プローブに接
触できるように案内していくものである。さらに、図
中、Ｋは、測定器のポートからの同軸ケーブル（図１及
び図２においては図示せず）を接続するためのコネクタ
部であって、この各コネクタ部Ｋに接続された同軸線が
前記信号線８を構成するものである。なお、ＲＦ信号用
プローブ２のスリーブ２ａの上部と押え板Ｃとの干渉を
避けるため、金属ブロック１、もしくは押え板にスリー
ブの上部の大きさに準じた切欠き溝を形成しても良い。

【００４９】そして、この信号線８は、保持部材１３に
よって保持された状態で金属ブロック１に取り付けてい
る。詳述すると、保持部材１３は、金属板で構成されて
いるのであって、その中央部に信号線８が挿通嵌合され
る貫通孔が形成されている。その信号線８の先端部は、
保持部材１３の貫通孔に挿通した状態で所定長さ分突出
させ、その状態での半田付けにより保持部材１３と一体
化している。一方、ＲＦ信号用プローブ２を装着してい
る金属ブロック１の貫通孔３は、ＲＦ信号用プローブ２
を装着している箇所より下方の部分の内径を前記絶縁チ
ューブ６の外径よりも大に設定しているとともに、信号
線８の外径よりも小に設定していて、その貫通孔３にお
いて内径が変わる箇所に段差部Ｄが形成されている。さ
らに、信号線８の芯線を成す内部導体８ａと外部導体８
ｂとの間の絶縁体８ｃと、前記絶縁チューブ６とによっ
て、信号線８の内部導体８ａは、金属ブロック１に接触
しないよう絶縁状態になっている。

【００５０】信号線８の金属ブロック１への取り付け
は、信号線８の先端部を貫通孔３に下方側から圧入しな
がら、金属ブロック１に保持部材１３を螺子１４で締結
することによって行われる。なお、保持部材１３からの
信号線８の突出量は、貫通孔３の下端から前記段差部Ｄ
位置までの長さよりも若干長く設定している。このた
め、信号線８の先端の外部導体８ｂは、貫通孔３の段差
部Ｄに強く接触することになる。もちろん、このとき信
号線８の内部導体８ａは、ＲＦ信号用プローブ４の下側
の可動ピンと接触することになる。

【００５１】これにより、ＲＦ信号用プローブ２を中心
導体とし、金属ブロック１を外部導体とする同軸構造が
形成されている。ここで、任意の特性インピーダンスを
形成するように絶縁チューブ６の誘電率およびその径を
選定し、所望のインピーダンスマッチングをとることが
好ましい。なお、同軸構造のインピーダンスＺ₀は以下
の式によって求められ、これをもとにインピーダンスマ
ッチングが得られる。

【００５２】

【数１】例えば、信号線に５０Ωの同軸線（φ２．２ｍｍ）、絶
縁チューブにテフロン（登録商標）チューブ（ε_r＝
２．１）を用い、プローブがφ０．５ｍｍであった場
合、Ｚ₀＝５０，ａ＝０．２５となるので、信号用プロ
ーブを挿入する部分の内径（テフロンチューブの外径）
は、１．６８ｍｍとなる。このとき、信号線の外径
（２．２ｍｍ）＞信号用プローブを挿入する部分の内径
（１．６８ｍｍ）となり、請求項１５の構成を満たしつ
つインピーダンスマッチングがとれていることがわか
る。

【００５３】また、絶縁チューブを用いない場合、空気
層（ε_r＝１．０）が絶縁チューブの代わりとなる。そ
の他が上記と同じ条件の場合、信号用プローブを挿入す
る部分の内径は、１．１５ｍｍとなり、上記と信号用プ
ローブを挿入する部分の内径をより小さくできることが
わかる。なお、信号用プローブを挿入する部分の内径を
上記と同じ１．６８ｍｍとしたときには、信号用プロー
ブ径が０．７３ｍｍとなり、細径のプローブを用いなく
てもよくなることがわかる。

【００５４】この実施形態１により、金属ブロック１の
被検体７となる上面近傍箇所でＧＮＤ用プローブ４を確
実に金属ブロック１に接触させることになるから、帰還
電流が金属ブロック１の被検体７と接する面側の上部で
ＲＦ信号用プローブ２の近傍を通るようになり、ＲＦ信
号用プローブ２とＧＮＤ用プローブ４との間の寄生容量
の発生やインダクタンス成分の発生を抑制するなどし
て、同軸構造の特性インピーダンスを所望の値にでき
る。

【００５５】また、帰還電流が同軸線の外部導体に流れ
る際、同軸線の外部導体は上記実施形態で示される段差
部に圧接されることにより、ＲＦプローブ部で構成され
た同軸構造を崩すことなく、その近傍で同軸線の外部導
体に流れることで接合部における不整合を極力抑制でき
る。

【００５６】さらに、同軸線の挿入部に段差を設け同軸
線を当て止めすることで、組み立てを容易にするととも
に、その組み立て精度を向上できる。

【００５７】さらに、ＧＮＤ用プローブ４と金属ブロッ
ク１の接合面が固定されることにより従来技術のような
特性のばらつきが比較的生じにくくなっている。

【００５８】この実施形態１の変形例として、図５
（ａ），（ｂ）および図６（ａ），（ｂ）に示すよう
に、金属ブロック１にＧＮＤ用プローブ４を押え付ける
弾性付勢手段としてボールプランジャ１４などを用いて
も良い。この場合、金属ブロック１に横向きに穿設した
螺子孔１５に螺子式のボールプランジャ１４を螺着して
いくことでＧＮＤ用プローブ４を有底孔５の内周面に押
し付けることになる。ボールプランジャ１４を螺着して
いく螺子孔１５としては、図５に示すように有底孔５に
開口するところまでで止まるように穿設したものでも良
いとともに、図６に示すように有底孔５に開口しさらに
この有底孔５を貫いて図示しないＲＦ信号用プローブ側
にまで穿設されるものでも良い。この図６のものの場
合、ＧＮＤ用プローブ４からの帰還電流は金属ブロック
１の上面近傍で金属ブロック１に流れていき、さらにＲ
Ｆ信号用プローブ近くに沿って流れていきやすくなって
いる。

【００５９】（実施形態２）次に実施形態２について、
図７に基づいて説明する。上記実施形態１と同様の構造
については説明を省略するとともに、同一符号を付す。
図７（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、図７（ｂ）
は、図７（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図である。なお、ＲＦ
信号用プローブ２の同軸構造については実施形態１と同
様である。

【００６０】端子ブロックＴを構成する金属ブロック１
のＧＮＤ用プローブ４を埋設する孔１６は、被検体７と
接する面の反対側から該ＧＮＤ用プローブ４のスリーブ
外径と同じか若干大きな径で上下に貫通する孔として形
成されており、被検体７と接する面の近傍で、ＧＮＤ用
プローブ４の先端の可動ピンの径と同じか若干大きな径
で形成されている。この場合、ＧＮＤ用プローブ４のス
リーブ４ａの外径の方が先端の可動ピン４ｂの外径より
も大きく設定している。

【００６１】すなわち、上記孔１６は、例えば下方側か
らドリルにより穿設したものであって、ドリルが完全に
貫通するように孔形成するのでなく、ドリル先端の先す
ぼまり部の途中まで貫通させたものに加工してあり、こ
れにより、孔１６の上端近くではその内周面が少し先す
ぼまりのテーパ面を構成している。

【００６２】したがって、ＧＮＤ用プローブ４を、可動
ピン４ｂが孔１６より突出する状態で、かつスリーブ４
ａが前記テーパ面に当たるように当該孔１６に挿入し、
ＧＮＤ用プローブ４を被検体７と接触する面の反対側か
らコイルバネ１７により被検体７側に向かって押え付け
ることにより、前記孔１６のテーパ部分にＧＮＤ用プロ
ーブ４のスリーブ４ａが規制されるとともに、その箇所
に強く接触することになる。よって、その接触箇所にお
いて、当該ＧＮＤ用プローブが金属ブロック１に対し被
検体側と接触する面の近傍で確実に接触を得ることがで
きる。このＧＮＤ用プローブ４の金属ブロック１に対す
る接触構造となっている。なお、このコイルバネ１６は
ＧＮＤ用プローブ４の可動ピンを弾性付勢するバネ力よ
りも十分に強く設定しておき、被検体を押し当てたとき
においてもプローブを金属ブロックに押え付けるように
なっている。

【００６３】この実施形態２の構成により、金属ブロッ
ク１の被検体７側の面上部でＧＮＤ用プローブ４を確実
に金属ブロック１に接触させることになるから、帰還電
流が金属ブロック１の被検体７と接する面側の上部でＲ
Ｆ信号用プローブ２の近傍を通るようになり、ＲＦ信号
用プローブ２とＧＮＤ用プローブ４との間の寄生容量の
発生やインダクタンス成分の発生を抑制するなどして、
同軸構造の特性インピーダンスを所望の値にできる。

【００６４】（実施形態３）次に、実施形態３を図８に
基づいて説明する。上記実施形態１と同様の構造につい
ては説明を省略するとともに、同一符号を付す。図８
（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、図８（ｂ）は、
図８（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図、図８（ｃ）は、ＧＮＤ
用プローブなどを示す拡大縦断面図である。なお、ＲＦ
信号用プローブ２の同軸構造については実施形態１と同
様である。

【００６５】ＲＦ信号用プローブ２の同軸構造は実施形
態１と同じである。

【００６６】ＧＮＤ用プローブ４における先端ピン部側
のスリーブの端部に径方向に突出した突出部としての鍔
状部１８を設けた構成にしている。これを、端子ブロッ
クＴを構成する金属ブロック１のＧＮＤ用プローブ４を
挿入する有底孔１９に挿入する。この有底孔１９は、ス
リーブの下部の径よりも同じか大きく、スリーブの上部
の径よりも小さく形成されている。また、鍔状部１８の
厚み分の凹み部分２０を有底孔１９の上端の開口部に形
成している。この凹み部分２０は鍔状部１８が嵌り込む
大きさに設定している。そして、押え板Ｃによって、Ｒ
Ｆ信号用プローブ２とともに、ＧＮＤ用プローブ４は抜
け止めされている。

【００６７】これにより、ＧＮＤ用プローブ４はスリー
ブ４ａの鍔状部１８と押え板Ｃにより、金属ブロック１
の上面側で保持される。そして、被検体７の電極を当該
プローブ４に押し当てた際、当該プローブ４はスリーブ
４ａの鍔状部１８によって金属ブロック１の被検体側上
面部に押圧されることになり、ＧＮＤ用プローブ４と金
属ブロック１との被検体７側に望む面部近傍で確実に接
触できることになる。この場合、鍔状部１８と金属ブロ
ック１とが接触する構成が接触構造となっている。

【００６８】（実施形態４）次に、実施形態４を図９に
基づいて説明する。上記実施形態１と同様の構造につい
ては説明を省略するとともに、同一符号を付す。図９
（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、図９（ｂ）は、
図９（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図、図９（ｃ）は、ＧＮＤ
用プローブなどを示す拡大縦断面図である。なお、ＲＦ
信号用プローブ２の同軸構造については実施形態１と同
様である。

【００６９】ＧＮＤ用プローブ４のスリーブ４ａにおい
てその上部部分４ｄの外径がスリーブ４ａの下部の外径
よりも大きくなっている。これを、端子ブロックＴの金
属ブロック１のＧＮＤ用プローブ用埋設孔２１に挿入す
る。このとき、この埋設孔２１の内径は、スリーブ４ａ
の下部の外径よりも大きく、スリーブ４ａの上部部分４
ｄの径と同じか僅かに小さく形成されている。すなわ
ち、この上部部分４ｄが太径部分となっている。スリー
ブ４ａの上部部分４ｄと埋設孔２１の互いの嵌合径寸法
を上記のように設定しているため、この埋設孔２１にＧ
ＮＤ用プローブ４を挿入する際、圧入することになる。
そして、その圧入部分によって金属ブロック１の被検体
７側である上面部でＧＮＤ用プローブ４と金属ブロック
１との確実に接触を得ることができる。また、ＧＮＤ用
プローブ４の先端部にバネ性を持たせることにより、圧
入を容易にするとともに被検体７側である上面部で確実
に接触を得ることができる。その圧入構造が接触構造と
なる。

【００７０】（実施形態５）次に、実施形態５を図１０
に基づいて説明する。上記実施形態１と同様の構造につ
いては説明を省略するとともに、同一符号を付す。図１
０（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、図１０（ｂ）
は、図１０（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図である。なお、Ｒ
Ｆ信号用プローブ２の同軸構造については実施形態１と
同様である。

【００７１】被検体７のＧＮＤ端子が当たる部分の金属
ブロック１上に予め互いに同一高さの３個の固定ピンと
しての突起２２を形成しているとともに、他の一つのＧ
ＮＤ用プローブ（図１０（ａ）において右上側に位置す
るもの）４は、上記実施形態１〜４に示したような可動
ピン４ｂを備えるプローブ構成となっている。各突起２
２は金属ブロック１の切削加工時に削り出して形成した
ものである。ＧＮＤ用プローブを成すＧＮＤ用端子とし
てこの突起２２を、それに被検体７のＧＮＤ電極を押し
当てる。これにより、ＧＮＤ電極を流れる帰還電流は金
属ブロック１の被検体側上面部から確実に流すことがで
きる。この突起２２が金属ブロック１と一体となってい
ることで接触構造となっている。

【００７２】なお、この突起２２は最大３個までであ
り、かつ３箇所の場合は固定突起の配置が千鳥配置、す
なわち平面上においてそれぞれが一直線状に並ばないよ
うに仮想的な三角形の頂点にそれぞれの突起が位置する
ように配置する（図１０（ａ）参照）ことにより被検体
７のＧＮＤ電極の高さのバラツキに関係なく、確実に接
触を得ることができる。

【００７３】なお、突起２２を２個設けている場合や、
１個設けている場合、突起２２でない他のＧＮＤ用プロ
ーブ４は上方に弾性付勢された可動ピンを接触子とする
ことで、各ＧＮＤ用プローブ４が被検体の端子部に安定
的に接触させることができる。

【００７４】また、この固定ピンを成す突起２２の摩耗
などの消耗対策として、図１１に示すように、金属ブロ
ック１の上面部のＧＮＤ用プローブを設ける箇所にネジ
２３を螺着締結し、そのネジ２３の頭部分がＧＮＤ用プ
ローブ４として機能するものでも良い。この場合、被検
体７のＧＮＤ端子との接触の繰り返しに伴い摩耗しても
ネジを新たなものと簡易に交換することができるとと
もに、接触位置高さの微調整も可能となる。

【００７５】（実施形態６）次に、実施形態６について
図１２，１３，１４に基づいて説明する。この実施形態
６はＵ字状バネ１１を用いて接触構造とする実施形態１
の変形例に相当するものであって、実施形態１と同様の
構造についてはその説明を省略するとともに、同一符号
を付す。図１２（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、
図１２（ｂ）は、図１２（ａ）の金属ブロック１部分に
関するＢ−Ｂ線縦断面図、図１２（ｃ）は、図１２
（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図、図１３は、帰還電流制御孔
が無い場合の帰還電流の経路イメージを示す端子ブロッ
クの縦断面図、図１４は、帰還電流制御孔が有る場合の
帰還電流の経路イメージを示す端子ブロックの縦断面図
である。

【００７６】端子ブロックＴを構成する金属ブロック１
の被検体７側上面部近傍のＲＦ信号用プローブ埋設用孔
３とＧＮＤ用プローブ埋設用孔５の間に切欠き孔として
の帰還電流制御用孔２４を形成する。この帰還電流制御
用孔２４は、金属ブロック１の側面から有底孔として上
面に沿って各ＧＮＤ用プローブ４に対応して穿設された
ものである。また、この帰還電流制御孔２４がＧＮＤ用
プローブ埋設用孔５に一部重なるように穿設すること
で、ＧＮＤ用プローブ４のスリーブ４ａの上部と下部と
で金属ブロック１に確実に接触するようにしている。

【００７７】また、実施形態１で説明したように、ボー
ルプランジャを設けた場合、ボールプランジャの取り付
け孔を延長して、ＧＮＤ用プローブ埋設孔の壁面に孔を
空けることで上記構成と同様の効果を得ることができ
る。

【００７８】この場合、帰還電流制御孔２４により帰還
電流が金属ブロック１上面部から同軸を構成するＲＦ信
号用プローブ２の近傍を流れるようになり、電極ピッチ
の広い場合においても実施形態１と同様の効果を得るこ
とができる。すなわち、図１３に破線で帰還電流の経路
をイメージとして示すように、帰還電流制御孔２４が形
成されていないものでは、金属ブロック１において電流
の流れる経路がＲＦ信号用プローブ２に近い箇所でなく
てもよいことから、特に電極ピッチが広い場合、同軸構
造が崩れるおそれがあるのに対し、図１４に破線で帰還
電流の経路をイメージとして示すように、帰還電流制御
孔２４が形成されているものでは、金属ブロック１にお
いて電流の流れる経路がＲＦ信号用プローブ２に近い箇
所に規制されるので、同軸構造として信号伝達に関して
良好なものとなる。

【００７９】さらに、ＧＮＤ用プローブに幾分曲がりが
あった場合でも、帰還電流制御孔２４をＧＮＤ用プロー
ブ埋設用孔５に一部重なるようにすることで、その曲が
り分が帰還電流制御孔２４に逃げるようにできて、金属
ブロック１上面部で確実性の高く接触が得られるように
なり、その上面部での接触信頼性が向上する。

【００８０】なお、上記各実施形態は、本発明の一例で
あって、これらの具体的構造に限定されるものでなく、
各種別実施例や変形例が考えられる。

【００８１】

【発明の効果】本発明の請求項１に係る発明によれば、
金属ブロックにおける前記被検体に臨む面の近傍に、Ｇ
ＮＤ用プローブと金属ブロックとを接続する接続構造を
設けていることで、被検体からの帰還電流は比較的短い
経路で信号用プローブと同軸構造を成す金属ブロックに
確実に流れるようになるから、同軸構造箇所の先端部に
おいて寄生容量やインダクタンス成分の発生が抑制さ
れ、その結果、特性インピーダンスを一定に調整できる
とともに、被検体を測定した際の特性値の大きなばらつ
きも解消できることになって、高精度の測定を行える。

【００８２】本発明の請求項２に係る発明によれば、金
属ブロックに形成された孔に挿入されたＧＮＤ用プロー
ブが弾性付勢手段によって信号用プローブ側に向かって
押し付けられているから、このＧＮＤ用プローブは孔に
おける信号用プローブ側の壁に比較的強く接触して、金
属ブロックに対して確実性高く接続された状態となり、
その接触箇所を通してＧＮＤ用プローブから帰還電流が
信号用プローブに沿って流れることで、簡易に測定精度
を向上できる。

【００８３】本発明の請求項３に係る発明によれば、Ｇ
ＮＤ用プローブは被検体側の孔径の小さい部分とそれよ
り孔径の大きな部分との間に構成される段差部分に当接
するので、その当接箇所を通してＧＮＤ用プローブから
金属ブロックに帰還電流が流れるものとなるとともに、
その組み立てを容易にし、かつ組み立て精度を向上させ
ることができる。

【００８４】本発明の請求項４に係る発明によれば、検
査時に被検体の電極がＧＮＤ用プローブに押し付けられ
る際のその押圧力によってＧＮＤ用プローブのスリーブ
が金属ブロックに押し付けられ、その押し付けによりＧ
ＮＤ用プローブの突出部と金属ブロックとが強く接触す
ることになって、その接触箇所を通してＧＮＤ用プロー
ブから金属ブロックに帰還電流が流れることで、測定精
度度を向上できるとともに、ＧＮＤ用プローブを金属ブ
ロックに強く接触させるための特別な付勢部材が不要と
なる分簡易な構造になる。

【００８５】本発明の請求項５に係る発明によれば、Ｇ
ＮＤ用プローブのスリーブの太径部分が金属ブロックの
ＧＮＤ用プローブの孔に圧入されているから、その圧入
箇所を通してＧＮＤ用プローブから金属ブロックに帰還
電流が流れることで、測定精度度を向上できるととも
に、ＧＮＤ用プローブを金属ブロックに強く接触させる
ための特別な付勢部材が不要となる分簡易な構造にな
る。

【００８６】本発明の請求項６に係る発明によれば、Ｇ
ＮＤ用プローブの孔における被検体と接触する側寄り部
分を通してＧＮＤ用プローブから金属ブロックに帰還電
流が流れることになるから、信号用プローブに近接した
位置で該信号用プローブの横側部分の金属ブロックを通
って被検体近くから帰還電流が流れることになって、寄
生容量などの悪影響が生じにくいとともに、ＧＮＤ用プ
ローブのスリーブの孔への圧入範囲のほぼ全体を太径部
分に構成するよりも圧入作業がし易く、その作業性を向
上できる。

【００８７】本発明の請求項７に係る発明によれば、検
査時にはＧＮＤ用プローブは被検体との接触が弾性的に
なされるとともに、信号用プローブなどと被検体の電極
との接触とＧＮＤ用プローブと被検体の電極との接触と
がタイミング的にずれていても、そのずれ分を吸収し
て、信号用プローブと共にＧＮＤ用プローブも被検体の
電極に確実に接触させることができ、また、接触時の衝
撃も吸収でき、安定した高精度の測定ができる。

【００８８】本発明の請求項８に係る発明によれば、複
数個あるＧＮＤ用プローブの一部が可動ピンでなく固定
ピンとなっているので、その固定ピンにおいては被検体
からの帰還信号がただちに金属ブロックに伝わることに
なり、可動ピンを用いたプローブに比較して接触箇所を
少なくできる分、信号伝達での損失などを少なくでき
る。

【００８９】本発明の請求項９に係る発明によれば、長
期使用に伴い固定ピンが摩耗等した場合でも、螺子止め
されている部分を交換することで固定ピンを良好な状態
に維持できる。

【００９０】本発明の請求項１０に係る発明によれば、
固定ピンが金属ブロックと一体となったものであるの
で、その固定ピン構造はきわめて簡易なものとなり、安
価に構成できる。

【００９１】本発明の請求項１１に係る発明によれば、
固定ピン自体は被検体の電極との接触で被検体と遠近方
向での移動がまったくないものであるから、３個の固定
ピンのみをこのように配置することによって、被検体を
検査のためにＧＮＤ用プローブに接触させるとき、３個
の固定ピンすべてに接触することになり、例えば１個、
２個の固定ピンしか設けていない場合は、接触が１点ま
たは２点のみであるので被検体の姿勢が不安定となり易
く、検査結果が安定しないという問題があるが、請求項
１１に係る発明では、３点ともに被検体の電極に同時接
触した状態となるとともに、傾きが生じないようにで
き、精度の良い測定ができる。

【００９２】本発明の請求項１２に係る発明によれば、
切欠き孔を形成することによって、ＧＮＤ用プローブか
ら金属ブロックへ流れる帰還電流が信号用プローブの近
傍を流れることになるので、信号の劣化が少なく、同軸
ケーブルに近い状態で帰還電流の流れる経路にできるの
で、精度の良い測定ができる。

【００９３】本発明の請求項１３に係る発明によれば、
信号線の外部導体外径よりもわずかに小さく信号線取り
付け孔の内径を設定しているから、その信号線取り付け
孔に圧入される信号線の外部導体と金属ブロックとの密
着性が高いものとなり、金属ブロックを通してその信号
線の外部導体に帰還信号が円滑に伝達されることとな
り、不整合を極力小さくできる。

【００９４】本発明の請求項１４に係る発明によれば、
保持部材を金属ブロックに保持固定することにより信号
線と金属ブロック間の導通が得られるから、信号線と金
属ブロックとを電気的に導通を得るための接続作業は簡
易なものとなり、作業性を向上できる。

【００９５】本発明の請求項１５に係る発明によれば、
信号線を金属ブロックに形成した貫通孔に差し込み装着
した際に、その信号線の先端は絶縁チューブによって位
置規制されることになり、その位置規制された状態で信
号線は金属ブロックに保持されることになって、その組
み付け精度を向上できるとともに、組み付け作業が簡易
になる。

【００９６】本発明の請求項１６に係る発明によれば、
保持部材を金属ブロックに保持固定することによって、
信号線の先端が取り付け孔内の段差部分に圧接すること
で金属ブロックと信号線の外部導体との接続、および、
信号用プローブと信号線の内部導体との接続が確実にな
されるとともに、その組み付け精度を向上できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態１に係る端子ブロックを示す平面図
（ａ）、側面図（ｂ）、および、平面図（ａ）のＡ−Ａ
線断面図（ｃ）

【図２】同、被検体と各プローブとの接触している様
子を示す拡大断面図

【図３】検査装置の概略を示す説明図

【図４】図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図

【図５】実施形態１の変形例の弾性付勢手段としてボ
ールプランジャなどを示す平面図（ａ）、および、縦断
面図（ｂ）

【図６】実施形態１の変形例の弾性付勢手段としてボ
ールプランジャなどを示す平面図（ａ）、および、縦断
面図（ｂ）

【図７】実施形態２に係る端子ブロックを示す平面図
（ａ）、および、平面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｂ）

【図８】実施形態３に係る端子ブロックを示す平面図
（ａ）、平面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｂ）、およ
び、要部拡大縦断面図（ｃ）

【図９】実施形態４に係る端子ブロックを示す平面図
（ａ）、平面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｂ）、およ
び、要部拡大縦断面図（ｃ）

【図１０】実施形態５に係る端子ブロックを示す平面
図（ａ）、および、平面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図
（ｂ）

【図１１】実施形態５の変形例を示す要部拡大縦断面
図

【図１２】実施形態６に係る端子ブロックを示す平面
図（ａ）、平面図（ａ）の金属ブロック１部分に関する
Ｂ−Ｂ線縦断面図、および、平面図（ａ）のＡ−Ａ線縦
断面図（ｃ）

【図１３】帰還電流制御孔が無い場合の帰還電流の経
路イメージを示す端子ブロックの縦断面図

【図１４】帰還電流制御孔が有る場合の帰還電流の経
路イメージを示す端子ブロックの縦断面図

【図１５】従来の端子ブロックを示す平面図（ａ）、
側面図（ｂ）、および、平面図（ａ）のＡ−Ａ線断面図
（ｃ）

【符号の説明】

１金属ブロック２ＲＦ信号用プローブ（信号用プローブ）４ＧＮＤ用プローブ４ｄ太径部分５孔６絶縁チューブ７被検体８信号線１８鍔状部（突出部）２２突起（固定ピン）Ｄ段差部

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Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属ブロックと、該金属ブロックに形成
された貫通孔に装着された絶縁チューブと、該絶縁チュ
ーブに挿入される信号用プローブとによって同軸構造を
構成し、前記信号用プローブの一方端側に被検体に対す
る接触部を設け、他方端側に測定系の信号線と電気的に
接続する接続部を設けるとともに、前記被検体と接触す
るＧＮＤ用プローブを前記金属ブロックに設けている高
周波製品の検査装置において、前記金属ブロックにおける前記被検体に臨む面の近傍
に、前記ＧＮＤ用プローブと金属ブロックとを接続する
接続構造を設けていることを特徴とする高周波製品の検
査装置。
【請求項２】請求項１に記載の高周波製品の検査装置
において、前記ＧＮＤ用プローブは、前記金属ブロックに形成され
た孔に挿入されるとともに、前記被検体に臨む面側にお
いて、前記信号用プローブ側に向かって弾性付勢手段に
よって前記金属ブロックに押し付けられていることを特
徴とする高周波製品の検査装置。
【請求項３】請求項２に記載の高周波製品の検査装置
において、前記金属ブロックの前記ＧＮＤ用プローブを挿入する孔
に孔径の異なる段差構造を設けるとともに、該段差構造
は前記被検体側の孔径を小さくし、前記ＧＮＤ用プロー
ブを被検体側とは反対側から挿入し、前記被検体側の孔
径を小さくした部分において前記ＧＮＤ用プローブが位
置規制されて固定され、前記被検体に臨む側とは反対側
から前記ＧＮＤ用プローブを金属ブロックに押し付けて
いることを特徴とする高周波製品の検査装置。
【請求項４】請求項２に記載の高周波製品の検査装置
において、前記ＧＮＤ用プローブは被検体に対する接触部と該接触
部を支持するスリーブとからなり、前記スリーブにおけ
る前記被検体を臨む面側の端部に前記スリーブの径方向
に突出する突起を設けるとともに、前記突起を前記被検
体を望む面側から前記金属ブロックに押し付けた状態で
保持することで、前記ＧＮＤ用プローブと前記金属ブロ
ックとを電気的に接続する接続構造とすることを特徴と
する高周波製品の検査装置。
【請求項５】請求項２に記載の高周波製品の検査装置
において、前記ＧＮＤ用プローブは被検体に対する接触部と該接触
部を支持するスリーブとからなり、前記スリーブに、前
記金属ブロックに形成されたＧＮＤ用プローブ挿入用の
孔の孔径よりも大きい外径の太径部分を設けるととも
に、前記ＧＮＤ用プローブを前記孔に圧入し、前記ＧＮ
Ｄ用プローブと前記金属ブロックとを電気的に接続する
接続構造とすることを特徴とする高周波製品の検査装
置。
【請求項６】請求項５に記載の高周波製品の検査装置
において、前記ＧＮＤ用プローブの前記太径部分を、前記被検体を
臨む面側に設けていることを特徴とする高周波製品の検
査装置。
【請求項７】請求項１から６のいずれかに記載の高周
波製品の検査装置において、前記ＧＮＤ用プローブの前記被検体に対する接触部は、
前記被検体側に向けて弾性付勢されるとともに、前記被
検体との関係において遠近方向で可動に構成しているこ
とを特徴とする高周波製品の検査装置。
【請求項８】請求項１から７のいずれかに記載の高周
波製品の検査装置において、前記ＧＮＤ用プローブを複数個備えるとともに、該ＧＮ
Ｄ用プローブの一部が前記金属ブロックと一体の固定ピ
ンであることを特徴とする高周波製品の検査装置。
【請求項９】請求項８に記載の高周波製品の検査装置
において、前記ＧＮＤ用プローブのうち固定ピンは、前記金属ブロ
ックに螺子止めされていることを特徴とする高周波製品
の検査装置。
【請求項１０】請求項８に記載の高周波製品の検査装
置において、前記ＧＮＤ用プローブのうち固定ピンは、前記金属ブロ
ックに一体形成されていることを特徴とする高周波製品
の検査装置。
【請求項１１】請求項８から１０のいずれかに記載の
高周波製品の検査装置において、前記ＧＮＤ用プローブの固定ピンを、仮想的な三角形の
頂点上にそれぞれ位置するように３個のみ配置している
ことを特徴とする高周波製品の検査装置。
【請求項１２】請求項１から１１のいずれかに記載の
高周波製品の検査装置において、前記信号用プローブを装着する前記孔と、該孔に隣接す
る前記ＧＮＤ用プローブを装着する前記孔との間に、前
記ＧＮＤ用プローブからの帰還電流が前記孔の近傍を流
れるようにする切欠き孔を形成していることを特徴とす
る高周波製品の検査装置。
【請求項１３】請求項１から１２のいずれかに記載の
高周波製品の検査装置において、前記金属ブロックと前記信号線との取り付け部におい
て、前記金属ブロックに設けられた信号線取り付け孔の
内径を前記信号線の外部導体外径よりもわずかに小さく
設定し、この取り付け孔に前記信号線を圧入しているこ
とを特徴とする高周波製品の検査装置。
【請求項１４】請求項１から１３のいずれかに記載の
高周波製品の検査装置において、前記金属ブロックと前記信号線との取り付け部は、前記
信号線を保持する部材を設け、この保持部材に前記信号
線を固定し、前記金属ブロックに設けられた前記信号線
取り付け孔に前記信号線を挿入するとともに、前記保持
部材により信号線を前記金属ブロックに保持固定して、
前記信号線と前記金属ブロック間の導通を得るように構
成していることを特徴とする高周波製品の検査装置。
【請求項１５】請求項１から１４のいずれかに記載の
高周波製品の検査装置において、前記信号用プローブ、及び、前記信号線を挿入するため
の前記貫通孔において、前記信号用プローブを挿入する
部分の内径が前記信号線の外部導体外径よりも小さくな
るように、前記貫通孔内に段差を設けていることを特徴
とする高周波製品の検査装置。
【請求項１６】請求項１５に記載の高周波製品の検査
装置において、前記金属ブロックに設けられた貫通孔のうち、前記信号
線側の開口部から前記段差までで構成される信号線取り
付け孔の孔深さより若干長くなるように、前記信号線を
突出させて保持部材を前記信号線に固定し、この信号線
の突出部分を前記信号線取り付け孔に挿入するように前
記保持部材を前記金属ブロックに固定することにより、
前記信号線の外部導体を前記段差に圧接させて前記金属
ブロックと前記信号線の外部導体との導通が得られるよ
うにしていることを特徴とする高周波製品の検査装置。