JP2003248030A

JP2003248030A - 検査装置

Info

Publication number: JP2003248030A
Application number: JP2002047883A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Fujimoto; 力藤本
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-02-25
Filing date: 2002-02-25
Publication date: 2003-09-05

Abstract

(57)【要約】【課題】金属ブロックを外部導体として測定用プローブ
と同軸構造を構成して、被検体との電極に測定用プロー
ブが接触できるようにした検査装置において、被検体の
電極と接触させる箇所での特性低下を極力抑制できるよ
うにする。【解決手段】外部導体とする金属ブロック１と、該金属
ブロック１の貫通孔３に挿入された少なくとも一つの測
定用プローブ２とによって同軸構造を構成し、前記測定
用プローブ２の一方端に被検体７に対する接触部を設
け、他方端側に測定系の信号線８と接続する接続部を設
けるとともに、金属ブロック１の被検体７側に臨む面Ｍ
と被検体７の電極の被接触面とがほぼ面一となる位置
で、前記測定用プローブ２の接触部と被検体７の電極と
を接触させて測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主に高周波信号を
扱う電子部品や回路の特性検査や測定などに供される検
査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の検査装置にあっては、被
検体を測定器の信号線に接続させる端子ブロックとし
て、例えば特開２００１−９９８８９号公報に開示され
ているように、金属ブロックの一面側で、被検体の各電
極端子とそれぞれに対応する部分に可動ピンの先端部が
突出可能に、ＲＦ信号用プローブ、電源用プローブ、お
よびＧＮＤ（接地）用プローブが金属ブロックの穿設孔
に挿入されて設けられたものが知られている。

【０００３】ＲＦ用信号プローブの外周には、たとえば
テフロン（登録商標）製チューブなどの絶縁物が被覆さ
れている。そして、ＲＦ信号用プローブ、および金属ブ
ロックは、それぞれ、内部導体、および外部導体とする
同軸構造となっている。

【０００４】電源用プローブも、ＲＦ信号プローブと同
様に絶縁物が被覆された状態で金属ブロックに設置され
ている。

【０００５】このＲＦ信号用プローブ、電源用プロー
ブ、および接地用プローブは取り替え交換可能なように
金属ブロックの孔に挿入されたものであるから、例えば
図６に示すように、その孔から抜け出ないよう絶縁板か
らなる押え板Ｃによって規制している。なお、その押え
板Ｃから被検体７の電極に対する可動ピンが突出可能
に、各プローブの位置に対応して押え板Ｃにプローブ
２，４の可動ピン径よりも大きくスリーブ径よりも小さ
い貫通孔が穿設されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように従来の検査
装置においては、各プローブの抜け出しや脱落を防止す
るため、押え板Ｃを配置していた。これにより、押え板
Ｃの厚み分各プローブピンの先端部が金属ブロック１の
被検体７側に臨む面Ｍから突出してしまう。この突出部
分があるため、この押え板Ｃを誘電体としてプローブピ
ン同士の間で結合容量が生じ、ポート間の隔離性（isol
ation）を劣化させていた。

【０００７】また、従来の検査装置においては、押え板
を用いる構造上、金属ブロックの被検体側に臨む面から
突出している部分で生じていた寄生成分（ポート間の結
合容量以外にＧＮＤプローブとの間のshunt-C、ＲＦ／
ＧＮＤプローブ先端部に生じるseries-L）による信号ロ
スが生じ、インピーダンス整合などにおいて特性低下を
招いていた。

【０００８】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
であって、金属ブロックを外部導体として測定用プロー
ブと同軸構造を構成して、被検体との電極に測定用プロ
ーブが接触できるようにした検査装置において、被検体
の電極と接触させる箇所での特性低下を極力抑制できる
ようにすることを解決課題としている。さらに、そのよ
うな課題に加えて、測定用プローブの金属ブロックから
の抜け出しの阻止も図れるようにする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
検査装置は、外部導体とする金属ブロックと、該金属ブ
ロックの貫通孔に挿入された少なくとも一つの測定用プ
ローブとによって同軸構造を構成し、前記測定用プロー
ブの一方端に被検体に対する接触部を設け、他方端側に
測定系の信号線と接続する接続部を設けるとともに、前
記金属ブロックの前記被検体側に臨む面と前記被検体の
電極の被接触面とがほぼ面一となる位置で、前記測定用
プローブの接触部と前記被検体の電極とを接触させて測
定することを特徴とする。

【００１０】本発明の請求項１に係る検査装置によれ
ば、従来押え板の厚み分だけ金属ブロックの被検体側の
面から突出していた測定用プローブがその面とほぼ面一
となる位置において接触させているから、従来その突出
部のため生じていた寄生成分（容量結合や、突出部のイ
ンダクタンス成分）が無くなり、その寄生成分による信
号の損失を抑制できる。よって、測定精度を高めること
ができる。

【００１１】本発明の請求項２に係る検査装置は、請求
項１に記載の検査装置において、前記測定用プローブ
は、前記貫通孔に挿入された状態で該貫通孔または該貫
通孔近傍部位との互いの嵌め合い構造により前記貫通孔
から抜け止めされていることを特徴とする。

【００１２】本発明の請求項２に係る検査装置によれ
ば、測定プローブを貫通孔または該貫通孔近傍部位と嵌
め合うことで貫通孔から抜け止めされているから、抜け
止めを行う特別な部材、たとえば押え板が不要となっ
て、部品点数を低減できるとともに、押え板を設けてい
た従来のように測定用プローブがその押え板の厚み分金
属ブロックより突出してしまうことも解消でき、その突
出部分による信号損失も回避できる。

【００１３】本発明の請求項３に係る検査装置は、請求
項１または２に記載の検査装置において、前記同軸構造
を構成する測定用プローブは、絶縁チューブに抜け止め
状態で挿入されて組み付けられるとともに、該測定用プ
ローブと該絶縁チューブとを組み付けたものは、前記貫
通孔または該貫通孔近傍部位との互いの嵌め合い構造に
より前記貫通孔から抜け止めされていることを特徴とす
る。

【００１４】本発明の請求項３に係る検査装置によれ
ば、測定用プローブと絶縁チューブとを組み付けた状態
にして貫通孔に装着できるとともに、その装着した状態
でその組み付けたものは貫通孔または該貫通孔近傍部位
と嵌め合う構造によって、その組み付けたものが貫通孔
から抜け出ないよう阻止されることになり、ひいては測
定用プローブそのものの貫通孔からの抜け出しが阻止さ
れる。

【００１５】本発明の請求項４に係る検査装置は、請求
項１から３のいずれかに記載の検査装置において、前記
被検体のＧＮＤ用電極と接触するＧＮＤ用プローブを前
記金属ブロックの貫通孔に挿入して備えるとともに、該
ＧＮＤ用プローブは、前記金属ブロックに押し付ける押
し付け手段により抜け止めしていることを特徴とする。

【００１６】本発明の請求項４に係る検査装置によれ
ば、金属ブロックを外部導体として、同軸構造を成す測
定用プローブとは別に、ＧＮＤ用プローブが押し付け手
段による押し付けにより金属ブロックに抜け止めされて
設けられているから、従来のようにこのＧＮＤ用プロー
ブを抜け止めする押え板を設けなくても良い。したがっ
て、押え板を設けなくて良い分、ＧＮＤ用プローブも測
定時には被検体のＧＮＤ用電極と接触させるときに金属
ブロックの被検体側に臨む面と面一となる位置までもっ
てくることができる。

【００１７】本発明の請求項５に係る検査装置は、請求
項１に記載の検査装置において、前記同軸構造を構成す
る測定用プローブの一方端部に形成された孔に前記信号
線の芯線が圧入された状態で、前記測定用プローブを前
記信号線に保持することで、前記測定プローブの前記貫
通孔からの抜け止め構造とするとともに、該測定用プロ
ーブと前記貫通孔の内周面との間を、空気絶縁層として
いることを特徴とする。

【００１８】本発明の請求項５に係る検査装置によれ
ば、測定用プローブは貫通孔に挿入された状態で信号線
の芯線に圧入することで保持された状態となっており、
押え板のような抜け止め手段を設けなくて済む。その保
持状態で測定用プローブと貫通孔の内周面との間に空気
絶縁層を設けることで、その測定用プローブと金属ブロ
ックとの間の寄生容量の発生を抑制できる。また、空気
絶縁層は絶縁チューブより誘電が小さいため、上記寄生
容量の発生を抑制するために必要な空気絶縁層の厚みが
絶縁チューブの厚みより小さい。したがって、空気絶縁
層を用いて同軸構造を構成する場合には、貫通孔の径に
対して、より大きい径のプローブを用いることができ
る。一方、プローブの径に対して、より小さい径の貫通
孔を採用することができる。すなわち、プローブ間隔を
小さくすることができる。

【００１９】本発明の請求項６に係る検査装置は、請求
項５に記載の検査装置において、前記測定用プローブに
絶縁材からなる保持板を圧入外嵌するとともに、該保持
板、前記測定用プローブおよび前記金属ブロックとによ
り所望の線路インピーダンスを得るように前記保持板の
外形寸法が設定され、前記金属ブロックには、前記保持
板を埋設するための掘り込みを形成していることを特徴
とする。

【００２０】本発明の請求項６に係る検査装置によれ
ば、保持板を利用して測定用プローブの姿勢を金属ブロ
ックとの間で絶縁状態となる一定姿勢に安定的に保持で
きるとともに、保持板は金属ブロックに形成された掘り
込みに埋設されるから、その保持状態で保持板が金属ブ
ロックより突出しないようにできる。

【００２１】本発明の請求項７に係る検査装置は、請求
項６に記載の検査装置において、前記保持板の形状と、
該保持板を埋設する埋設部の孔の形状とをほぼ同じにし
ていることを特徴とする。

【００２２】本発明の請求項７に係る検査装置によれ
ば、保持板の形状と、該保持板を埋設する埋設部の孔の
形状とをほぼ同じにしていることで、横方向での測定用
プローブの位置ずれが規制され、測定用プローブを常に
一定姿勢に安定的に保持できる。

【００２３】本発明の請求項８に係る検査装置は、請求
項５に記載の検査装置において、前記測定用プローブに
絶縁材からなる保持板を圧入外嵌するとともに、該保持
板、前記測定用プローブおよび前記金属ブロックにより
所望の線路インピーダンスを得るように前記保持板の外
形寸法が設定され、前記保持板を前記金属ブロックの貫
通孔に内接させていることを特徴とする。

【００２４】本発明の請求項８に係る検査装置によれ
ば、保持板を利用して測定用プローブの姿勢を金属ブロ
ックとの間で絶縁状態となる一定姿勢に安定的に保持で
きるとともに、保持板は貫通孔に内接させているから、
その保持状態で保持板が金属ブロックより突出しないよ
うにできる。

【００２５】本発明の請求項９に係る検査装置は、請求
項６から８のいずれかに記載の検査装置において、前記
保持板には少なくとも１つ以上の切欠き孔を有すること
を特徴とする。

【００２６】本発明の請求項９に係る検査装置によれ
ば、保持板に有する切欠き孔によって、保持板の誘電率
を極力小さくできる。

【００２７】本発明の請求項１０に係る検査装置は、請
求項７または８に記載の検査装置において、円板状に構
成した前記保持板の外周部を周方向複数箇所で扇状に切
り欠いている切欠き部を有することを特徴とする。

【００２８】本発明の請求項１０に係る検査装置によれ
ば、扇状に切り欠いている切欠き部を有することによっ
て、保持板の誘電率を極力小さくできる。

【００２９】本発明の請求項１１に係る検査装置は、請
求項６から１０のいずれかに記載の検査装置において、
前記保持板の表面に前記切欠き孔または前記切欠き部を
覆うように薄膜フィルムを貼着していることを特徴とす
る。

【００３０】本発明の請求項１１に係る検査装置によれ
ば、この薄膜フィルムの貼着によって、薄膜フィルムは
貫通孔内への塵埃などの異物侵入を阻止するものとなっ
ている。また、薄膜フィルムであるから、それを設けた
ことによる誘電率の変化もきわめて小さいものとなって
いて、測定への影響はほとんどない。

【００３１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面に示す
実施形態に基づいて説明する。

【００３２】（実施形態１）図１から図４は、実施形態
１を示すものであって、図１は、本発明に係る検査装置
の端子ブロックの要部を示し、その（ａ）は、平面図、
その（ｂ）は、側面図、その（ｃ）は、（ａ）における
Ａ−Ａ線縦断面図（被検体を各プローブに接触させる前
の状態を示している）、図２は、図１（ａ）における要
部拡大図、図３は、検査装置の測定系の接続状態を示す
概略説明図、図４は、図１（ｃ）のものにおいて、被検
体を各プローブに接触させた状態を示す縦断面図であ
る。

【００３３】図３に示すように、当該実施形態に係る検
査装置では、測定器の測定信号ポートからのＲＦ信号が
同軸ケーブルおよび測定治具である端子ブロックＴを介
して被検体７に入力されるとともに、被検体７からの出
力信号が端子ブロックＴおよび別の同軸ケーブルを介し
て測定器の入力ポートに入力されるようになっている。
そして、端子ブロックＴでは、後述するように同軸構造
を成す一対のＲＦ信号用プローブ２，２が被検体７の信
号用端子に接触できるように構成している。なお、図３
では、後述するＧＮＤ用プローブの図示を省略してい
る。

【００３４】図１（ａ），（ｂ），（ｃ）、図２および
図４に、その端子ブロックＴを示している。この端子ブ
ロックＴは、導電性材料（例えば真鍮）で構成された金
属ブロック１に、測定用プローブの一種をなす一対のＲ
Ｆ信号用プローブ２をそれぞれ埋設する貫通孔３、およ
び、測定用プローブの一種をなす４つのＧＮＤ用プロー
ブ４をそれぞれ埋設する有底孔５を形成している。そし
て、ＲＦ信号用プローブ２を中心導体とし、金属ブロッ
ク１を外部導体とする同軸構造が形成され、かつ任意の
特性インピーダンスを形成するように絶縁チューブ６の
誘電率およびその径が選択されている。

【００３５】詳述すると、各ＲＦ信号用プローブ２は、
貫通孔３に対して装着されたテフロン（登録商標）製チ
ューブなどの樹脂材からなる絶縁チューブ６内に挿入さ
れた状態で設けられている。そして、ＲＦ信号用プロー
ブ２は、スリーブ２ａと、このスリーブ２ａに出退自在
に、かつ抜け止め状態で外方へ突出する側に内部のばね
で弾性付勢された一対の可動ピン２ｂ，２ｃとで構成さ
れている。

【００３６】したがって、ＲＦ信号用プローブ２の一端
の可動ピン２ｂは金属ブロック１から突出し、例えばＤ
ＵＴ（device under test）などの被検体７の電極７ａ
を接触させることができるようになっている。ＲＦ信号
用プローブ２の他端の可動ピン２ｃは測定機器に接続さ
れる信号線８の芯線８ａに接続（この実施形態１では同
軸線の芯線にピンが接触するようになっている（図１
（ｃ）参照））する構成となっている。

【００３７】各ＲＦ信号用プローブ２に対してＧＮＤ用
プローブ４がそのＲＦ信号用プローブ２の両脇にそれぞ
れ配置されている。すなわち、図１（ａ）に示すよう
に、左右にそれぞれ配置されたＲＦ信号用プローブ２の
前後両側にそれぞれＧＮＤ用プローブ４が配置されてい
る。各ＧＮＤ用プローブ４は、スリーブ４ａと、該スリ
ーブ４ａに抜け止め状態で上方へ突出するように、かつ
内部のばねで弾性付勢されるように装着された可動ピン
４ｂとで構成している。そして、有底孔５の上端部に開
口する状態で平面視矩形状の比較的浅い掘り込み１０を
金属ブロック１に形成している。この掘り込み１０は、
各有底孔５においてＲＦ信号用プローブ２が有る側とは
反対側に形成されているのであって、各掘り込み１０に
は、弾性付勢手段としてのＵ字状バネ１１が装着され、
このＵ字状バネ１１が掘り込み１０から飛び出さないよ
うネジ３０によって止め付けられている。このＵ字状バ
ネ１１は、その装着された状態において、ＧＮＤ用プロ
ーブ４をＲＦ信号用プローブ２に向かって弾性付勢して
有底孔５の内壁に押し付けるものである。この押し付け
によって、ＧＮＤ用プローブ４は金属ブロック１と確実
に接触している。特に、Ｕ字状バネ１１はＧＮＤ用プロ
ーブ４の被検体７側に臨む金属ブロック１における面Ｍ
近くに位置しているから、ＧＮＤ用プローブ４がＵ字状
バネ１１に押圧されたとき、ＧＮＤ用プローブ４は、そ
の上端部で有底孔５に特に強く押圧されることになる。
したがって、ＧＮＤ用プローブ４を金属ブロック１の被
検体７に臨む面近くに位置する箇所で、このＵ字バネ１
１を用いてＧＮＤ用プローブ４と金属ブロック１とをＲ
Ｆ信号用プローブ２の横側において接続する接続構造が
構成されている。これにより、検査時に被検体７のＧＮ
Ｄ用電極を通してＧＮＤ用プローブ４に流れた帰還電流
は、その金属ブロック１の被検体７に臨む上面Ｍ近くか
らＲＦ信号用プローブ２の横側に沿って流れていくこと
になる。また、Ｕ字状バネ１１による押圧によって各Ｇ
ＮＤ用プローブ４は、金属ブロック１に強く接触した状
態が維持されるから、そのＧＮＤ用プローブ４が金属ブ
ロック１から抜け出したりすることはなく、このＵ字状
バネ１１が抜け出し防止を行う手段にも兼用されてい
る。

【００３８】また、図中、１２は、被検体７を検査時に
案内していく透明樹脂製の案内体である。この案内体１
２は、検査時において、被検体７の外部電極位置が各プ
ローブに接触できるように案内していくものである。さ
らに、図中、Ｋは、測定器のポートからの同軸ケーブル
（図１及び図２においては図示せず）を接続するための
コネクタ部であって、この各コネクタ部Ｋに接続された
同軸線が前記信号線８を構成するものである。なお、Ｒ
Ｆ信号用プローブ２のスリーブ２ａの上部と、被検体７
の電極との干渉を避けるため、図５に示すように、金属
ブロック１にスリーブ２ａの上部の大きさに準じた比較
的浅い平面視矩形状の切欠き溝２０を形成しても良い。

【００３９】そして、この信号線８は、保持部材１３に
よって保持されている。そしてその保持部材１３は金属
ブロック１にネジ１４により取り付けられている。詳述
すると、保持部材１３は、金属板で構成されているので
あって、その中央部に信号線８が挿通嵌合される貫通孔
が形成されている。その信号線８の先端部は、保持部材
１３の貫通孔に挿通した状態で所定長さ分突出させ、そ
の状態での半田付けにより保持部材１３と一体化してい
る。一方、ＲＦ信号用プローブ２を装着している金属ブ
ロック１の貫通孔３は、ＲＦ信号用プローブ２を装着し
ている箇所より下方の部分の内径を前記絶縁チューブ６
の外径よりも大に設定しているとともに、信号線８の外
径よりも小に設定していて、その貫通孔３において内径
が変わる箇所に段差部Ｄが形成されている。さらに、信
号線８の芯線を成す内部導体８ａと外部導体８ｂとの間
の絶縁体８ｃと、前記絶縁チューブ６とによって、信号
線８の内部導体８ａは、金属ブロック１に接触しないよ
う絶縁状態になっている。

【００４０】信号線８の金属ブロック１への取り付け
は、信号線８の先端部を貫通孔３に下方側から圧入しな
がら、金属ブロック１に保持部材１３をネジ１４で締結
することによって行われる。このとき、保持部材１３か
らの信号線８の突出量を、貫通孔３の下端から前記段差
部Ｄ位置までの長さよりも幾分大に設定していること
で、信号線８の先端の外部導体８ｂは、貫通孔３の段差
部Ｄに強く接触することになる。もちろん、このとき信
号線８の内部導体８ａは、ＲＦ信号用プローブ４の下側
の可動ピンと接触することになる。

【００４１】一方、ＲＦ信号用プローブ２，２も、ＧＮ
Ｄ用プローブ４と同様、貫通孔３からの抜け出しが阻止
されるように抜け出し防止構造となっている。詳述する
と、図２に示すように、貫通孔３は被検体７側に臨む面
Ｍ側の先端部分において、貫通孔３の内径が先端側ほど
小さくなるようにすぼまっている。これは、例えばドリ
ルで貫通孔３を穿設する際に、金属ブロック１の下方側
から穿設していき、ドリルの先端部のテーパ部分が貫通
する手前までの穿設で止めておくことで形成できる。

【００４２】絶縁チューブ６に対してＲＦ信号用プロー
ブ２のスリーブ２ａの嵌合は、圧入によってなされてい
る。スリーブ２ａの下端部には外径側に突出するフラン
ジ２ｄを設けている。そして、絶縁チューブ６における
ＲＦ信号用プローブ２を挿入する貫通孔の下端部には、
フランジ２ｄを嵌合させる段部を形成している。

【００４３】したがって、絶縁チューブ６にＲＦ信号用
プローブ２を挿入することで組み付けたものを金属ブロ
ック１の下方から貫通孔３に挿入していき、貫通孔３の
先すぼまり部分で絶縁チューブ６が位置規制されて抜け
止めされる。ＲＦ信号用プローブ２もフランジ２ｄが絶
縁チューブ６に接当規制され抜け止めされる。その状態
で信号線８の先端部が貫通孔３に圧入され、前記段部Ｄ
で位置規制される。その状態で、信号線８の内部導体８
ａとＲＦ信号用プローブ２の可動ピンとは、信号伝達が
なされるように接触することになる。信号線８の外部導
体８ｂは、前記段部Ｄに強く接触することで金属ブロッ
ク１からの帰還電流が伝わるようになっている。

【００４４】そして、例えばＤＵＴなどの被検体７をこ
の端子ブロックＴのＲＦ信号用プローブ２およびＧＮＤ
用プローブ４により測定検査する場合には、前記案内体
１２で被検体７が案内されるように金属ブロック１の測
定を行う面Ｍ側に治具などを用いて近接させていく。そ
のとき、被検体７の各端子と対応する各プローブ２，４
の可動ピン２ｂ，４ｂとが接触し、さらに可動ピン２
ｂ，４ｂを押し下げることになる。被検体７が金属ブロ
ック１の面Ｍに当接して位置規制されたところで測定を
行う。そのとき、図４に示すように、金属ブロック１の
被検体７側に臨む面と被検体７の端子のＲＦ信号用プロ
ーブ２およびＧＮＤ用プローブ４との接触面とがほぼ面
一となる位置でＲＦ信号用プローブ２、ＧＮＤ用プロー
ブ４の可動ピン２ｂ，４ｂに被検体７の対応する各端子
を接触させることになるから、可動ピン２ｂ，４ｂが金
属ブロックの１の被検体７側に臨む面Ｍより突出しない
状態で測定することになる。したがって、その突出があ
る場合に可動ピン２ｂ，４ｂのその突出部分同士間に生
じる結合容量などが解消でき、測定用のＲＦ信号で損失
が生じたりするのを抑制できる。

【００４５】また、ＲＦ信号用プローブ２は、上記のよ
うに抜け止め構造によって金属ブロック１の貫通孔３か
ら抜け止めされているが、その交換を行う場合は、信号
線８を金属ブロック１から取り外して、金属ブロック１
の下方側からのＲＦ信号用プローブ２および絶縁チュー
ブ６の脱着を行う。したがって、このような嵌め合わせ
構造となっていることからその交換作業も簡易な作業と
なっている。

【００４６】（実施形態２）次に実施形態２について、
図７に基づいて説明する。上記実施形態１と同様の構造
については説明を省略するとともに、同一符号を付す。
図７（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、図７（ｂ）
は、図７（ａ）のＢ−Ｂ線縦断面図、図７（ｃ）は、図
７（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図である。

【００４７】端子ブロックＴを構成する金属ブロック１
のＧＮＤ用プローブ４を埋設する貫通孔１６は、被検体
７と接する面の反対側から該ＧＮＤ用プローブ４のスリ
ーブ外径と同じか若干大きな径で上下に貫通する孔とし
て形成されており、被検体７と接する面の近傍で、ＧＮ
Ｄ用プローブ４の先端の可動ピンの径と同じか若干大き
な径で形成されている。この場合、ＧＮＤ用プローブ４
のスリーブ４ａの外径の方が先端の可動ピン４ｂの外径
よりも大きく設定している。

【００４８】すなわち、上記孔１６は、例えば下方側か
らドリルにより穿設したものであって、ドリルが完全に
貫通するように孔形成するのでなく、ドリル先端の先す
ぼまり部の途中まで貫通させたものに加工してあり、こ
れにより、孔１６の上端近くではその内周面が少し先す
ぼまりのテーパ面を構成している。

【００４９】したがって、ＧＮＤ用プローブ４は、可動
ピン４ｂが孔１６より突出する状態で、かつスリーブ４
ａが前記テーパ面に当たるように当該孔１６に挿入され
る。そして、ＧＮＤ用プローブ４は、被検体７と接触す
る面の反対側からコイルバネ１７により被検体７側に向
かって押え付けられる。これにより、前記孔１６のテー
パ部分にＧＮＤ用プローブ４のスリーブ４ａが規制され
るとともに、その箇所に強く接触することになる。よっ
て、その接触箇所において、当該ＧＮＤ用プローブが金
属ブロック１に対し被検体側と接触する面Ｍの近傍で確
実に接触を得ることができるとともに、ＧＮＤ用プロー
ブ４が貫通孔１６から抜けでない抜け止め構造となって
いる。コイルバネ１７は、信号線８を金属ブロック１に
取り付けるための保持部材１３によって下側への抜け出
しおよび位置規制がなされている。なお、このコイルバ
ネ１７はＧＮＤ用プローブ４の可動ピンを弾性付勢する
バネ力よりも十分に強く設定しておき、被検体を押し当
てたときにおいてもプローブを金属ブロックに押え付け
るようになっている。さらに、図７に示すように、各Ｇ
ＮＤ用プローブ４を挿入する貫通孔１６に一部つながる
状態で水平方向に沿って帰還電流制御穴２１を穿設して
いる。この帰還電流制御穴２１は、ＲＦ信号用プローブ
２とＧＮＤ用プローブ４の間に設けられているものであ
って、測定時のＧＮＤ用プローブ４を通って流れる帰還
電流がＲＦ信号用プローブ２の外周近傍に沿って流れて
いき易くするために形成されている。

【００５０】次に、ＲＦ信号用プローブ２の抜け止め構
造について説明する。図８に示すように、信号線８にお
いて芯線となる内部導体８ａを外部導体８ｂおよび絶縁
層８ｃの先端より予め所定長さ分突出させておき、その
突出部分にＲＦ信号用プローブ２のスリーブ２ａの下部
を圧入外嵌する。すなわち、ＲＦ信号用プローブ２のス
リーブ２ａの下端部内径は、内部導体８ａの外径よりも
幾分小さく設定されているので、これによりスリーブ２
ａの下部を内部導体８ａに外嵌するときには圧入状態と
なる。なお、圧入し易くするため、そのスリーブ２ａの
下端部にはスリットＳを形成している。さらに、絶縁チ
ューブ６がスリーブ２ａに圧入されて金属ブロック１の
貫通孔３に絶縁チューブ６およびＲＦ信号用プローブ２
が内嵌されて装着される。

【００５１】上記実施形態２の構成において、ＲＦ信号
用プローブ２は信号線８の内部導体８ａに圧入されてい
ることで貫通孔３から抜け出ないようになっているとと
もに、ＧＮＤ用プローブ４は先すぼまりの貫通孔１６に
よって同じく抜け出ないようになっている。

【００５２】そして、例えばＤＵＴなどの被検体７をこ
の端子ブロックＴのＲＦ信号用プローブ２およびＧＮＤ
用プローブ４により測定検査する場合には、前記案内体
１２で被検体７が案内されるように金属ブロック１の測
定を行う面Ｍ側に治具などを用いて近接させていく。そ
のとき、被検体７の各端子と対応する各プローブ２，４
の可動ピン２ｂ，４ｂとが接触し、さらに可動ピン２
ｂ，４ｂを押し下げることになる。被検体７が金属ブロ
ック１の面Ｍに当接して位置規制されたところで測定を
行う。そのとき、金属ブロック１の被検体７側に臨む面
と被検体７の端子のＲＦ信号用プローブ２およびＧＮＤ
用プローブ４との接触面とがほぼ面一となる位置でＲＦ
信号用プローブ２、ＧＮＤ用プローブ４の可動ピン２
ｂ，４ｂに被検体７の対応する各端子を接触させること
になるから、可動ピン２ｂ，４ｂが金属ブロックの１の
被検体７側に臨む面Ｍより突出しない状態で測定するこ
とになる。

【００５３】（実施形態３）次に、実施形態３を図９に
基づいて説明する。上記実施形態１と同様の構造につい
ては説明を省略するとともに、同一符号を付す。図９
（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、図９（ｂ）は、
図９（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図である。

【００５４】ＧＮＤ用プローブについてはその構造や抜
け止め構造は実施形態２と同様の構造である。

【００５５】次に、ＲＦ信号用プローブ２の抜け止め構
造について説明する。図８に示すように、信号線８にお
いて芯線となる内部導体８ａを外部導体８ｂおよび絶縁
層８ｃの先端より予め所定長さ分突出させておき、その
突出部分にＲＦ信号用プローブ２のスリーブ２ａの下部
を圧入外嵌する。すなわち、ＲＦ信号用プローブ２のス
リーブ２ａの下端部内径は、内部導体８ａの外径よりも
幾分小さく設定されているので、これによりスリーブ２
ａの下部を内部導体８ａに外嵌するときには圧入状態と
なる。なお、圧入し易くするため、そのスリーブ２ａの
下端部にはスリットＳを形成している。このＲＦ信号用
プローブ２とＲＦ信号用プローブ２が挿入されている貫
通孔３と間には実施形態１，２のような絶縁チューブを
介在させず、単に空気層の絶縁層、すなわち空気絶縁層
２２を設けている。

【００５６】これにより、ＲＦ信号用プローブ２は、信
号線８の内部導体８ａによって保持されるとともに、こ
のＲＦ信号用接触子２と貫通孔３との間には空気絶縁層
２２が設けられているから、絶縁チューブが不要となっ
ている。

【００５７】また、空気の誘電率はきわめて小さいこと
（ε_r≒１）から、これに伴い同軸部の外部導体の内径
を細くすることも可能となり、よって、被検体７の端子
ピッチの狭ピッチ化にも対応できる。

【００５８】どの程度、狭ピッチ化が可能か、以下に説
明する。まず、同軸線の線路インピーダンスＺ₀の算出
は下記式で与えられる。

【００５９】

【数１】ここで、ε_rは、同軸線の絶縁体の比誘電率、ａは、芯
線部の外径、ｂは、外部導体の内径である。この線路イ
ンピーダンスＺ₀、ＲＦ信号用プローブの外径ａを同じ
として、絶縁体としてテフロン（登録商標）製チューブ
（ε_r≒２．１）から空気層とすると、外部導体の外径
はその比率として１／√２．１＝０．６９と小さくする
ことができる。また、絶縁チューブを用いている場合に
は、その絶縁チューブの誘電正接による損失なども生じ
ていたが、空気層を絶縁層とすることで、その誘電正接
を小さくできる。

【００６０】（実施形態４）次に、実施形態４を図１
０、図１１に基づいて説明する。上記実施形態１と同様
の構造については説明を省略するとともに、同一符号を
付す。図１０（ａ）は、端子ブロックを示す平面図、図
１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ−Ａ線縦断面図、図９
（ｃ）は、ＧＮＤ用プローブなどを示す拡大縦断面図、
図１１は、要部の拡大縦断面図である。なお、ＲＦ信号
用プローブ２の同軸構造については実施形態３と同様で
ある。

【００６１】信号線８の内部導体８ａに外嵌されること
によってＲＦ信号用接触子２は貫通孔３に挿入された状
態で保持固定され、そのＲＦ信号用接触子２と貫通孔３
との間には空気絶縁層２２が設けられている。さらに、
ＲＦ信号用接触子２を保持するために、円板状の絶縁材
からなる保持板２３をＲＦ信号用プローブ２のスリーブ
５ａ上端部に外嵌圧入している。また、図１１に示すよ
うに、この保持板２３とほぼ同径寸法で該保持板２３を
載置できる平面視円形の浅い掘り込み２４を金属ブロッ
ク１の貫通孔３の上端部に形成している。

【００６２】従って、ＲＦ信号用プローブ２は信号線８
の内部導体８ａに圧入されて保持されるとともに、保持
板２３によってＲＦ信号用プローブ２の上部が横振れし
ないよう貫通孔３に対して安定的に保持される。また、
この保持部材２３で貫通孔３が覆われているので、異物
が貫通孔３に侵入するのがこの保持部材２３で防止され
る。

【００６３】（実施形態５）次に、実施形態５を図１
０、図１２乃至図１５に基づいて説明する。上記実施形
態４と同様の構造については説明を省略するとともに、
同一符号を付す。図１０（ａ）は、端子ブロックを示す
平面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＡ−Ａ線縦断
面図、図１２は、保持部材の平面図、図１３は、保持部
材の別の設置構造を示す要部の拡大縦断面図、図１４
は、保持部材の別の形態を示す平面図、図１５は、保持
板に薄膜フィルムを貼着する様子を示す側面図である。

【００６４】図８に示すように、信号線８の内部導体８
ａにＲＦ信号用プローブ２のスリーブ２ａの下端部が圧
入外嵌されている。図１３に示すように、このＲＦ信号
用プローブ２の高さ方向中間部、円板状の絶縁材からな
る保持板２５を外嵌している。この保持板２５は、貫通
孔３の上端縁よりも幾分下方の位置に内嵌される状態で
ＲＦ信号用プローブ２を保持している。そして、その保
持板２５の外径と貫通孔３の内径とをほぼ同じに設定し
ているので、保持板２５はその外縁が貫通孔３の内周面
に内嵌された、すなわち内接された状態となっている。
これにより、ＲＦ信号用接触子２はその保持板２５によ
って横振れなく貫通孔３に保持される。したがって、そ
の保持された状態で、ＲＦ信号用プローブ２と貫通孔３
との間に空気絶縁層２２が設けられることになる。

【００６５】さらに、保持板２５には、図１２に示すよ
うに、ＲＦ信号用プローブ２へ外嵌するための嵌合孔２
６とは別に複数個の切欠き孔２７を穿設している。各切
欠き孔２７は、図１２に示すものの場合、保持板２５の
中心点に対して点対称位置に配置されている。なお、こ
の切欠き孔２７は少なくとも１個以上形成されていれば
良いのであって、その個数は限定されるものではない。
また、このような切欠き孔２７のない構成の保持板２５
でも良い。

【００６６】このように切欠き孔２７を形成しているこ
とにより、この保持板２５の見かけの誘電率は小さく抑
えられることになるので、空気絶縁層２２のみの場合と
ほぼ同様の効果が得られる。

【００６７】また、保持板２５は、図１４に示すよう
に、その外周部に扇状の切欠き部２８を複数箇所形成
し、残った放射状のスポーク状部分ＳＰの先端が貫通孔
３の内周面に当接されて横振れの規制ができるようにし
ても良い。

【００６８】上記のように保持板２５に切欠き孔２７や
切欠き部２８を形成することで、保持板２５の見かけの
誘電率が小さく抑えられるとともに、所望のインピーダ
ンスになるように保持板２５の外径を調整する必要がな
くなる。したがって、このように切欠き孔２７や切欠き
部２８を設けた場合、保持板２５の外径を貫通孔３の内
径に合わせ、保持板２５を貫通孔３の内周面に当接させ
る形で設けることができる。この場合、金属ブロック１
に掘り込み２４を形成しなくてよい分、金属ブロック１
の加工が容易になる。

【００６９】また、保持板２５は、保持強度を維持しつ
つ極力薄くすることにより、ＲＦ信号用プローブ２と貫
通孔３との間のみかけの誘電率を小さくすることが図れ
る。

【００７０】さらに、図１５に示すように、切欠き孔２
７や切欠き部２８を形成した保持板２５の上面に薄膜フ
ィルム２９を貼着して、その切欠き孔２７や切欠き部２
８を覆った状態に構成しても良い。このように薄膜フィ
ルム２９を貼着することで、ＲＦ信号用プローブ２を保
持する状態で貫通孔３に保持板２５を装着したときに、
例えば測定時に各プローブ２，４と被検体７の端子との
接触で生じる摩耗粉が貫通孔３内に侵入するのを防止す
ることができる。

【００７１】なお、上記各実施形態は、本発明の一例で
あって、これらの具体的構造に限定されるものでなく、
各種別実施例や変形例が考えられる。

【００７２】（１）上記実施形態１の一変形例を、図１
６（ａ），（ｂ）に示している。これは、ＲＦ信号用プ
ローブ２を絶縁チューブ６に挿入して組み付けたもの
を、金属ブロック１の貫通孔３に挿入して装着したもの
であって、貫通孔３の信号線８が圧入されてその外部導
体８ｃが当接して規制される段部Ｄと、この段部Ｄより
も小径で絶縁チューブ６が装着される箇所の孔内径より
も大となる第２段部Ｄ２を形成している。この第２段部
Ｄ２の内周径と同じ外径のフランジ６ａを絶縁チューブ
６に形成している。また、実施形態１と同様、ＲＦ信号
用プローブ２のスリーブ２ａの下端に径方向に突出する
フランジ２ｆを設けているとともに、このフランジ２ｆ
が嵌合する凹入部６ｂを絶縁チューブ６の下端部に形成
している。これにより、ＲＦ信号用プローブ２が絶縁チ
ューブ６に挿入された状態では、フランジ２ｆが凹入部
６ｂに嵌め込まれる。また、絶縁チューブ６のフランジ
６ａが第２段部Ｄ２に嵌め込まれる。したがって、絶縁
チューブ６は第２段部Ｄ２によって規制されて貫通孔３
からの飛び出しや抜け出しは無いと共に、フランジ２ｆ
が凹入部６ｂに嵌め込まれていることで、ＲＦ信号用プ
ローブ２の絶縁チューブ６からの抜け出し、ひいては貫
通孔３からの抜け出しが阻止されている。

【００７３】（２）実施形態１では、金属ブロック１に
おける貫通孔３の先端部３ａが先すぼまりのテーパとな
り、さらに絶縁チューブ６とＲＦ信号用プローブ２とが
互いに嵌め合う形態のものを示したが、図１７（ａ），
（ｂ）に示すように、絶縁チューブ６とＲＦ信号用プロ
ーブとが互いに噛み合う構造がなく、絶縁チューブ６中
に単にＲＦ信号用プローブ２を挿入した構成でも良い。
この場合、絶縁チューブ６の上端側がさきすぼまり形状
となっていて、貫通孔３からの抜け出しが阻止された絶
縁チューブ６によってＲＦ信号用プローブ２のスリーブ
２aの抜け出しは阻止されるが、可動ピン２ｂの上方へ
の突出は許されている。また、貫通孔３に圧入される信
号線８により下方からＲＦ信号用プローブ２が押圧され
ることになる。

【００７４】（３）実施形態５の一変形例を図１８に示
している。金属ブロック１を、下部側金属ブロック１ａ
に、上部側金属ブロック１ｂを重ねて互いに固定したも
のとし、両金属ブロック１ａに連通する貫通孔３を形成
している。下部側金属ブロック１ａの貫通孔３上端部
に、円板状の保持部材２５を載置可能な大径凹部３１を
形成している。図示しない信号線の芯線に圧入嵌合され
たＲＦ信号用プローブ２のスリーブ２ａに保持部材２５
を圧入外嵌した状態で前記大径凹部３１に載置する。そ
の大径凹部３１に載置された保持部材２５を下部側金属
ブロック１ａとともに上下に挟むように上部側金属ブロ
ック１ｂを積載し、ボルトなどにより、上部側金属ブロ
ック１ｂと下部側金属ブロック１ａとを固定する。これ
により、保持部材２５は貫通孔３から抜け出ないように
なっているとともに、ＲＦ信号用プローブ２を一定姿勢
に保持することになる。

【００７５】（４）上記実施形態４では、円板状の保持
板を示したが、特に円板状に限定されるものでなく、例
えば平面視矩形状の保持板などその形状は適宜設定でき
る。また、保持板を埋設する掘り込みの形状も平面視で
保持板と同じ形状に設定していることにより、保持板の
横方向、つまり板面に沿う方向での位置規制がなされ、
プローブの適正姿勢での保持がなされることになる。

【００７６】

【発明の効果】本発明の請求項１に係る発明によれば、
従来押え板の厚み分だけ金属ブロックの被検体側の面か
ら突出していた測定用プローブがその面とほぼ面一とな
る位置において接触させているから、従来その突出部の
ため生じていた寄生成分（容量結合や、突出部のインダ
クタンス成分）が無くなり、その寄生成分による信号の
損失を抑制できる。よって、測定精度を高めることがで
きる。

【００７７】本発明の請求項２に係る発明によれば、測
定プローブを貫通孔または該貫通孔近傍部位と嵌め合う
ことで貫通孔から抜け止めされているから、抜け止めを
行う特別な部材、たとえば押え板が不要となって、部品
点数を低減できるとともに、押え板を設けていた従来の
ように測定用プローブがその押え板の厚み分金属ブロッ
クより突出してしまうことも解消でき、その突出部分に
よる信号損失も回避できる。

【００７８】本発明の請求項３に係る発明によれば、測
定用プローブと絶縁チューブとを組み付けた状態にして
貫通孔に装着できるとともに、その装着した状態でその
組み付けたものは貫通孔または該貫通孔近傍部位と嵌め
合う構造によって、その組み付けたものが貫通孔から抜
け出ないよう阻止されることになり、ひいては測定用プ
ローブそのものの貫通孔からの抜け出しが阻止されるか
ら、その抜け出し防止の構造を簡単なものにできるとと
もに、組み付け作業も簡易になる。

【００７９】本発明の請求項４に係る発明によれば、金
属ブロックを外部導体として、同軸構造を成す測定用プ
ローブとは別に、ＧＮＤ用プローブが押し付け手段によ
る押し付けにより金属ブロックに抜け止めされて設けら
れているから、従来のようにこのＧＮＤ用プローブを抜
け止めする押え板を設けなくても良い。

【００８０】本発明の請求項５に係る発明によれば、測
定用プローブは貫通孔に挿入された状態で信号線の芯線
に圧入することで保持された状態となっており、押え板
のような抜け止め手段を設けなくて済む。その保持状態
で測定用プローブと貫通孔の内周面との間に空気絶縁層
を設けることで、その測定用プローブと金属ブロックと
の間の寄生容量の発生を抑制できる。また、空気絶縁層
は絶縁チューブより誘電が小さいため、上記寄生容量の
発生を抑制するために必要な空気絶縁層の厚みが絶縁チ
ューブの厚みより小さい。したがって、空気絶縁層を用
いて同軸構造を構成する場合には、貫通孔の径に対し
て、より大きい径のプローブを用いることができる。一
方、プローブの径に対して、より小さい径の貫通孔を採
用することができる。すなわち、プローブ間隔を小さく
でき、狭ピッチ化への対応を図れる。

【００８１】本発明の請求項６に係る発明によれば、保
持板を利用して測定用プローブの姿勢を金属ブロックと
の間で絶縁状態となる一定姿勢に安定的に保持できると
ともに、保持板は金属ブロックに形成された掘り込みに
埋設されるから、その保持状態で保持板が金属ブロック
より突出しないようにでき、測定用プローブを安定的に
保持できる。

【００８２】本発明の請求項７に係る発明によれば、保
持板の形状と、該保持板を埋設する埋設部の孔の形状と
をほぼ同じにしていることいることで、横方向での測定
用プローブの位置ずれが規制され、測定用プローブを常
に一定姿勢に安定的に保持でき、安定した測定ができ
る。

【００８３】本発明の請求項８に係る発明によれば、保
持板を利用して測定用プローブの姿勢を金属ブロックと
の間で絶縁状態となる一定姿勢に安定的に保持できると
ともに、保持板は貫通孔に内接させているから、その保
持状態で保持板が金属ブロックより突出しないようにで
きる。

【００８４】本発明の請求項９に係る発明によれば、保
持板に有する切欠き孔によって、保持板の誘電率を極力
小さくできるので、測定精度を向上できる。

【００８５】本発明の請求項１０に係る発明によれば、
扇状に切り欠いている切欠き部を有することによって、
保持板の誘電率を極力小さくできるので、測定精度を向
上できる。

【００８６】本発明の請求項１１に係る発明によれば、
この薄膜フィルムの貼着によって、薄膜フィルムは貫通
孔内への塵埃などの異物侵入を阻止するものとなってい
るから、異物侵入による測定精度の低下を抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態１に係る端子ブロックの平面図
（ａ）、側面図（ｂ）、（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）

【図２】実施形態１の同軸部を構成する測定用プロー
ブなどを示す縦断面図

【図３】検査装置の概略を示す説明図

【図４】実施形態１の端子ブロックにおいて被検体の
電極と各プローブとが接触している状態を示す縦断面図

【図５】金属ブロックの上面に切欠き溝を形成したも
のを示す平面図

【図６】従来の検査装置の端子ブロックを示す縦断面
図

【図７】実施形態２に係る端子ブロックの平面図
（ａ）、側面図（ｂ）、（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）

【図８】実施形態２〜５のＲＦ信号用プローブを信号
線の芯線に圧入する様子を示す側面図

【図９】実施形態３に係る端子ブロックの平面図
（ａ）、（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｂ）

【図１０】実施形態４に係る端子ブロックの平面図
（ａ）、（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｂ）

【図１１】図１０（ｂ）の保持板などを示す拡大縦断
面図

【図１２】保持板の平面図

【図１３】保持板の装着の別形態を示す拡大縦断面図

【図１４】保持板の変形例を示す平面図

【図１５】保持板に薄膜フィルムを貼着する様子を示
す側面図

【図１６】実施形態１の変形例を示すＲＦ信号用プロ
ーブなどの縦断面図（ａ）、要部の拡大縦断面図（ｂ）

【図１７】実施形態１の変形例を示すＲＦ信号用プロ
ーブなどの縦断面図（ａ）、要部の拡大縦断面図（ｂ）

【図１８】実施形態５の変形例を示す要部の拡大縦断
面図

【符号の説明】

１金属ブロック２ＲＦ信号用プローブ（測定用プローブ）３貫通孔４ＧＮＤ用プローブ６絶縁チューブ７被検体８信号線Ｍ面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外部導体とする金属ブロックと、該金属
ブロックの貫通孔に挿入された少なくとも一つの測定用
プローブとによって同軸構造を構成し、前記測定用プロ
ーブの一方端に被検体に対する接触部を設け、他方端側
に測定系の信号線と接続する接続部を設けるとともに、
前記金属ブロックの前記被検体側に臨む面と前記被検体
の電極の被接触面とがほぼ面一となる位置で、前記測定
用プローブの接触部と前記被検体の電極とを接触させて
測定することを特徴とする検査装置。
【請求項２】請求項１に記載の検査装置において、前記測定用プローブは、前記貫通孔に挿入された状態で
該貫通孔または該貫通孔近傍部位との互いの嵌め合い構
造により前記貫通孔から抜け止めされていることを特徴
とする検査装置。
【請求項３】請求項１または２に記載の検査装置にお
いて、前記同軸構造を構成する測定用プローブは、絶縁チュー
ブに抜け止め状態で挿入されて組み付けられるととも
に、該測定用プローブと該絶縁チューブとを組み付けた
ものは、前記貫通孔または該貫通孔近傍部位との互いの
嵌め合い構造により前記貫通孔から抜け止めされている
ことを特徴とする検査装置。
【請求項４】請求項１から３のいずれかに記載の検査
装置において、前記被検体のＧＮＤ用電極と接触するＧＮＤ用プローブ
を前記金属ブロックの貫通孔に挿入して備えるととも
に、該ＧＮＤ用プローブは、前記金属ブロックに押し付
ける押し付け手段により抜け止めしていることをことを
特徴とする検査装置。
【請求項５】請求項１に記載の検査装置において、前記同軸構造を構成する測定用プローブの一方端部に形
成された孔に前記信号線の芯線が圧入された状態で、前
記測定用プローブを前記信号線に保持することで、前記
測定プローブの前記貫通孔からの抜け止め構造とすると
ともに、該測定用プローブと前記貫通孔の内周面との間
を、空気絶縁層としていることを特徴とする検査装置。
【請求項６】請求項５に記載の検査装置において、前記測定用プローブに絶縁材からなる保持板を圧入外嵌
するとともに、該保持板、前記測定用プローブおよび前
記金属ブロックとにより所望の線路インピーダンスを得
るように前記保持板の外形寸法が設定され、前記金属ブ
ロックには、前記保持板を埋設するための掘り込みを形
成していることを特徴とする検査装置。
【請求項７】請求項６に記載の検査装置において、前記保持板の形状と、該保持板を埋設する埋設部の孔の
形状とをほぼ同じにしていることを特徴とする検査装
置。
【請求項８】請求項５に記載の検査装置において、前記測定用プローブに絶縁材からなる保持板を圧入外嵌
するとともに、該保持板、前記測定用プローブおよび前
記金属ブロックにより所望の線路インピーダンスを得る
ように前記保持板の外形寸法が設定され、前記保持板を
前記金属ブロックの貫通孔に内接させていることを特徴
とする検査装置。
【請求項９】請求項６から８のいずれかに記載の検査
装置において、前記保持板には少なくとも１つ以上の切欠き孔を有する
ことを特徴とする検査装置。
【請求項１０】請求項７または８に記載の検査装置に
おいて、円板状に構成した前記保持板の外周部を周方向複数箇所
で扇状に切り欠いている切欠き部を有することを特徴す
る検査装置。
【請求項１１】請求項６から１０のいずれかに記載の
検査装置において、前記保持板の表面に前記切欠き孔または前記切欠き部を
覆うように薄膜フィルムを貼着していることを特徴とす
る検査装置。